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专利名称
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专利号
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申请日期
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专利状态
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1 | 一种高通量磁控溅射纳米薄膜器件一体化制备装置 | CN201911096819.1 | 2019-11-11 | 有效专利 |
2 | 用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备 | CN201711181073.5 | 2017-11-23 | 有效专利 |
3 | 遮挡盘检测装置、磁控溅射腔室及遮挡盘检测方法 | CN201910917468.X | 2019-09-26 | 有效专利 |
4 | 一种磁控溅射镀膜机的旋转靶 | CN201910770176.8 | 2019-08-20 | 有效专利 |
5 | 一种BGA产品的磁控溅射方法 | CN201910809187.2 | 2019-08-29 | 有效专利 |
6 | 一种BGA电磁屏蔽产品的磁控溅射方法 | CN201911266209.1 | 2019-12-11 | 有效专利 |
7 | 无线充电用合金线制备方法及制备用的多靶磁控溅射装置 | CN201910431279.1 | 2019-05-22 | 审查中-实审 |