本发明公开了一种碱性蚀刻液再生及其铜回收方法，包括以下步骤：(1)蚀刻废液产生；(2)电解：电解蚀刻废液，获得阴极铜板，再生液流回循环冷凝槽；(3)再生液收集与调配：调配后形成的蚀刻再生液回流至蚀刻生产线中使用，同时执行步骤(4)；(4)酸洗：将阴极铜板移至酸性中和槽中，酸性溶液将阴极铜板表面液体中和掉；(5)一道水洗：将阴极铜板移至一道水洗槽中，清水将阴极铜板表面液体清洗掉；(6)抗氧化：将阴极铜板移至抗氧化槽中，抗氧化剂溶液对阴极铜板表面进行抗氧化处理，在其表面附着抗氧化层，移出，将铜从阴极板上拆下。
本发明提供的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法，可实现蚀刻废液完全循环再生、及高纯度铜高效回收。

方红珍 赵寿波

深圳市铿东科技有限公司

518000 广东省深圳市宝安区福永街道怀德社区第三工业区A3栋206

本发明公开了一种碱性蚀刻液再生及其铜回收方法，包括以下步骤：(1)蚀刻废液产生；(2)电解：电解蚀刻废液，获得阴极铜板，再生液流回循环冷凝槽；(3)再生液收集与调配：调配后形成的蚀刻再生液回流至蚀刻生产线中使用，同时执行步骤(4)；(4)酸洗：将阴极铜板移至酸性中和槽中，酸性溶液将阴极铜板表面液体中和掉；(5)一道水洗：将阴极铜板移至一道水洗槽中，清水将阴极铜板表面液体清洗掉；(6)抗氧化：将阴极铜板移至抗氧化槽中，抗氧化剂溶液对阴极铜板表面进行抗氧化处理，在其表面附着抗氧化层，移出，将铜从阴极板上拆下。
本发明提供的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法，可实现蚀刻废液完全循环再生、及高纯度铜高效回收。