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专利摘要

本发明公开了一种TGG晶体生长方法,包括如下步骤:对Tb4O7以及Ga2O3原料进行加热处理;对加热处理后的Tb4O7以及Ga2O3原料进行球磨处理;对球磨处理之后的Tb4O7以及Ga2O3原料进行过筛后放入坩埚,并将盛有原料的坩埚放入晶体生长炉;对坩埚进行加热;在Tb4O7以及Ga2O3原料熔化之后,调整熔融料温度至高于TGG晶体熔化温度5‑10℃;调整籽晶杆以使得籽晶杆顶端的籽晶与熔融料液面接触,在籽晶与熔融料液面接触时,籽晶杆保持第一转速;调整籽晶杆以使得籽晶杆顶端的籽晶沉入熔融料液面之下,在籽晶沉入熔融料液面之下的过程中,籽晶杆保持第二转速;调整籽晶杆转速以使得籽晶杆保持第三转速以便进行引晶;及当晶种直径扩张至10‑15mm之后,提拉籽晶杆,并调整籽晶杆转速至第四转速。

专利状态

基础信息

专利号
CN201910687762.6
申请日
2019-07-29
公开日
2019-09-27
公开号
CN110284193A
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

马孙明 郭玉勇 彭方

申请人

安徽晶宸科技有限公司

申请人地址

231200 安徽省合肥市肥西县桃花工业园工投立恒工业广场A17栋

专利摘要

本发明公开了一种TGG晶体生长方法,包括如下步骤:对Tb4O7以及Ga2O3原料进行加热处理;对加热处理后的Tb4O7以及Ga2O3原料进行球磨处理;对球磨处理之后的Tb4O7以及Ga2O3原料进行过筛后放入坩埚,并将盛有原料的坩埚放入晶体生长炉;对坩埚进行加热;在Tb4O7以及Ga2O3原料熔化之后,调整熔融料温度至高于TGG晶体熔化温度5‑10℃;调整籽晶杆以使得籽晶杆顶端的籽晶与熔融料液面接触,在籽晶与熔融料液面接触时,籽晶杆保持第一转速;调整籽晶杆以使得籽晶杆顶端的籽晶沉入熔融料液面之下,在籽晶沉入熔融料液面之下的过程中,籽晶杆保持第二转速;调整籽晶杆转速以使得籽晶杆保持第三转速以便进行引晶;及当晶种直径扩张至10‑15mm之后,提拉籽晶杆,并调整籽晶杆转速至第四转速。

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