本发明涉及材料科学技术领域，且公开了一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，包括以下步骤：步骤一：准备工作：预备透射电子显微镜，以及用于对CVD钻石进行固定的装置，将需要用于注入的氮原子材料放置在透射电子显微镜内，用于预备使用，并启动透射电子显微镜氮原子进行预加工，检验设备是否出现问题，透射电子显微镜对需要注入的氮原子材料进行预加热；步骤二：固定材料的准备工作：对CVD钻石晶片进行加热，并采用氮原子测定专用的高精度机器，对CVD钻石晶片内的氮原子浓度进行测定，单位需要精确到个位。
该提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，解决了氮原子在CVD钻石内部分布不受人工条件控制的问题。

赵芬霞 刘宏明

湖州中芯半导体科技有限公司

313000 浙江省湖州市吴兴区高新区中横港路33号2号厂房5号

本发明涉及材料科学技术领域，且公开了一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，包括以下步骤：步骤一：准备工作：预备透射电子显微镜，以及用于对CVD钻石进行固定的装置，将需要用于注入的氮原子材料放置在透射电子显微镜内，用于预备使用，并启动透射电子显微镜氮原子进行预加工，检验设备是否出现问题，透射电子显微镜对需要注入的氮原子材料进行预加热；步骤二：固定材料的准备工作：对CVD钻石晶片进行加热，并采用氮原子测定专用的高精度机器，对CVD钻石晶片内的氮原子浓度进行测定，单位需要精确到个位。
该提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，解决了氮原子在CVD钻石内部分布不受人工条件控制的问题。