1.本发明的一个方式涉及晶片交接装置、晶片储存容器以及晶片储存系统。


背景技术：

2.公知有相对于具有多个设置有保持晶片的保持部的环形部的晶片储存容器交接晶片的晶片交接装置。在晶片储存容器中，多个环形部在上下方向上层叠(例如参照专利文献1)。
3.专利文献1：日本专利第4751827号公报
4.在上述专利文献1的装置中，在对于在上下方向上层叠的多个环形部中的任一个交接晶片的情况下，需要使支承环形部的支承片在上下方向上移动，并且需要与针对每个环形部设置于不同位置的被支承部的位置相配合地使该环形部沿周向移动，因此装置的结构变得复杂。若为了使装置的结构变得更简单，而固定设置有支承片的高度位置，则在上下方向上邻接的环形部的被支承部在周向上偏离，因此有无法向多个环形部分别在相同的高度交接晶片的可能性。


技术实现要素：

5.本发明的一个方式的目的在于提供能够向在上下方向上层叠的多个环形部分别在相同的高度交接晶片的晶片交接装置、晶片储存容器以及晶片储存系统。
6.本发明的一个方式的晶片交接装置是相对于具有多个设置有保持晶片的保持部的环形部的晶片储存容器交接晶片的晶片交接装置，其中，晶片储存容器具有第一环形部和第二环形部作为环形部，该第一环形部包括形成于俯视时的第一位置的第一被支承部、以及在比第一被支承部靠上方处保持晶片的作为保持部的第一保持部，该第二环形部包括形成于俯视时的与第一位置不同的第二位置的第二被支承部、以及在比第二被支承部靠上方处保持晶片的作为保持部的第二保持部，在第一环形部和第二环形部在上下方向上交替层叠的状态下，第一环形部中的第一保持部位于比在该第一环形部的上方邻接的第二环形部中的第二被支承部靠上方处，第二环形部中的第二保持部位于比在该第二环形部的上方邻接的第一环形部中的第一被支承部靠上方处，晶片交接装置具备：第一环形机构支承部，其能够支承环形部；第二环形机构支承部，其能够在比由第一环形机构支承部支承的环形部的保持部靠上方的位置处支承在该环形部的上方邻接的其他环形部；升降部，其供晶片储存容器载置，并能够进行升降；以及交接部，其相对于由第一环形机构支承部支承的环形部交接晶片，第一环形机构支承部具有：第一支承片，其被固定上下方向的位置，并在俯视时可动；和第一驱动机构，其驱动第一支承片，第一驱动机构使第一状态、第二状态以及第三状态中的任一个状态选择性地成立，该第一状态使第一支承片进入至在俯视时与第一位置重叠并且与第二位置不重叠的位置，第二状态使第一支承片进入至在俯视时与第二位置重叠并且与第一位置不重叠的位置，第三状态使第一支承片退避至在俯视时与第一位置以及第二位置双方不重叠的位置。
7.在该晶片交接装置中，在对于多个环形部的任一个交接晶片的情况下，都能够通过第一环形机构支承部在相同的高度支承该环形部。因此，对于多个环形部的任一个，交接部都能够在相同的高度交接晶片。即，能够对于在上下方向层叠的多个环形部分别在相同的高度交接晶片。
8.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，第一支承片也可以包括：第一爪部，其在第一状态下在俯视时与第一位置重叠，在第二状态下在俯视时与第一位置不重叠；和第二爪部，其在上下方向上设置于与第一爪部相同的位置，在第一状态下在俯视时与第二位置不重叠，在第二状态下在俯视时与第二位置重叠。这样，针对第一支承片能够构成为包括两个爪部。
9.本发明的一个方式的晶片交接装置的第一爪部和第二爪部也可以一体构成，并且该一体构成的第一爪部和第二爪部也可以被支承为能够以旋转轴为基轴进行旋转。由此，能够省略连杆机构，从而能够使装置的机构变得简单。
10.本发明的一个方式的晶片交接装置的第一爪部和第二爪部也可以独立构成，并且该独立构成的第一爪部和第二爪部也可以分别通过连杆机构而独立地进退。由此，容易避免第一爪部以及第二爪部与其他部件之间的干涉。
11.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第一环形机构支承部具有多个第一支承片和一个第一驱动机构，一个第一驱动机构具有以其驱动力使多个第一支承片连动地移动的机构。在该情况下，能够减少第一驱动机构的搭载数。
12.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第一环形机构支承部具有多个第一支承片和多个第一驱动机构，多个第一驱动机构的每一个驱动多个第一支承片的每一个。在该情况下，能够省略连杆机构，因此能够使该装置的机构变得简单。
13.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第二环形机构支承部具有：第二支承片，其设置于比第一支承片靠上方处，并在俯视时可动；和第二驱动机构，其驱动第二支承片，第二驱动机构在第一状态下，使第二支承片进入至在俯视时与第二位置重叠并且与第一位置不重叠的位置，在第二状态下，使第二支承片进入至在俯视时与第一位置重叠并且与第二位置不重叠的位置，在第三状态下，使第二支承片退避至在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠的位置。在该情况下，通过使第二支承片进退的结构实现利用第二环形机构支承部支承环形部的功能。
14.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第二支承片构成为包括两个爪部，例如在第一状态下在俯视时与第二位置重叠的第三爪部和在第二状态下在俯视时与第一位置重叠的第四爪部，并且也可以构成为在第一状态下，第二支承片在上下方向上设置于与第三爪部相同的位置。
15.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第三爪部和第四爪部一体构成，一体构成的第三爪部和第四爪部被支承为能够以旋转轴为基轴进行旋转。由此，能够使机构变得简单。
16.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第三爪部和第四爪部独立构成，独立构成的第三爪部和第四爪部分别通过连杆机构进行进退。由此，容易避免第三爪部以及第四爪部与其他部件之间的干涉。
17.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第二环形机构支承部具有多个第
二支承片和一个第二驱动机构，一个第二驱动机构具有以其驱动力使多个第二支承片连动地移动的机构。在该情况下，能够节省第二驱动机构的搭载数。
18.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以第二环形机构支承部具有多个第二支承片和多个第二驱动机构，多个第二驱动机构的每一个驱动多个第二支承片的每一个。在该情况下，能够省略连杆机构而简化机构。
19.在本发明的一个方式的晶片交接装置中，也可以具备多个局部开闭模块，该局部开闭模块包括第一环形机构支承部以及第二环形机构支承部，多个局部开闭模块分别包含的各第一环形机构支承部能够支承层叠的多个环形部中的相互不同的任一个环形部。由此，能够在多处位置处交接晶片，并且能够在各个交接位置处在相同的高度交接晶片。
20.本发明的一个方式的晶片储存容器是供上述晶片交接装置交接晶片的晶片储存容器。如上述那样，在通过上述晶片交接装置相对于晶片储存容器交接晶片的情况下，能够相对于在上下方向上层叠的多个环形部分别在相同的高度交接晶片。
21.本发明的一个方式的晶片储存系统具备：上述晶片交接装置；保管机构，其保管晶片储存容器；以及吊车，其在保管机构与晶片交接装置之间使晶片储存容器移动。在该晶片储存系统中，由于具备上述晶片交接装置，所以与上述同样，能够相对于在上下方向上层叠的多个环形部分别在相同的高度交接晶片。
22.根据本发明的一个方式，能够提供能够相对于在上下方向上层叠的多个环形部分别在相同的高度交接晶片的晶片交接装置、晶片储存容器以及晶片储存系统。
附图说明
23.图1是表示实施方式的晶片储存系统的示意侧视图。
24.图2是表示实施方式的晶片储存容器的示意立体图。
25.图3的(a)是表示图2的第一环形机构的俯视图。图3的(b)是表示图2的第二环形机构的俯视图。
26.图4是沿着图3的(a)的iv-iv线的剖视图。
27.图5是表示层叠的多个环形机构的立体图。
28.图6的(a)是表示图2的第一环形机构的侧视图。图6的(b)是表示图2的第二环形机构的侧视图。
29.图7是表示图1的晶片操作机器人的立体图。
30.图8是表示图1的开环机构的示意主视图。
31.图9是表示图8的开环机构的结构的框图。
32.图10是表示图8的开环机构的要部的立体图。
33.图11是表示图8的开环机构的要部的水平剖视图。
34.图12是表示图8的开环机构的要部的水平剖视图。
35.图13是表示中立状态下的图8的第一支承片的俯视图。
36.图14的(a)是表示第一状态下的图8的第一支承片的俯视图。图14的(b)是表示第二状态下的图8的第一支承片的俯视图。
37.图15的(a)是表示中立状态下的图8的第二支承片的俯视图。图14的(b)是表示第一状态下的图8的第二支承片的俯视图。图15的(c)是表示第二状态下的图8的第二支承片
的俯视图。
38.图16是对图1的开环机构的动作例进行说明的主视图。
39.图17是对图1的开环机构的动作例进行说明的立体图。
40.图18是表示变形例的开环机构的要部的立体图。
41.图19的(a)是表示变形例的第一支承片的俯视图。图19的(b)是表示其他变形例的第一支承片的俯视图。
具体实施方式
42.以下，参照附图对各种实施方式详细地进行说明。对于各附图中相同或者相当的部分标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
43.如图1所示，晶片储存系统1具备晶片交接装置100、保管机构(英文：stocker)2、吊车3、支承台(英文：port)4以及系统控制部9。在以下的说明中，“上”这一用语对应于铅垂方向的上方，“下”这一用语对应于铅垂方向的下方。x方向为一个水平方向，y方向为与x方向正交的其他水平方向，z方向为上下方向(铅垂方向)。
44.保管机构2为保管晶片储存容器5的装置。保管机构2具有在x方向以及z方向上排列并供晶片储存容器5载置的多个架子2a。例如在y方向上对置地设置有多列(这里为两列)保管机构2。在图示的例子中，一个保管机构2例如设置于晶片交接装置100的开环机构(英文：ring opener)120的上方。吊车3是搬运晶片储存容器5的搬运装置。吊车3在架子2a与开环机构120之间移交晶片储存容器5。吊车3配置于对置的保管机构2之间的区域。吊车3在沿x方向配置于地面的行走轨道(未图示)上移动。吊车3具有沿z方向延伸的导轨3a和能够沿导轨3a进行升降的货台3b。
45.晶片交接装置100具备晶片操作机器人110以及开环机构120。稍后对晶片操作机器人110以及开环机构120进行叙述。支承台4是在搬运车或者操作人员与晶片储存系统1之间交接foup(前开式统一吊舱(英文：front opening unified pod))8的部分。搬运车沿设置于半导体工厂的天花板的轨道行走，并搬运foup8。搬运车是构成为能够移交foup8的天花板行走式无人搬运车。搬运车例如也称为台车(搬运台车)、天花板行走车(高架搬运车)或者行走车。也能够将操作人员搬运来的foup8向晶片储存系统1搬入、以及使操作人员接受从晶片储存系统1搬出的foup8。foup8通过搬运车或者操作人员的搬运而载置于支承台4上。foup8包括具有开口部的箱状的筐体以及覆盖开口部的盖。盖被设置为能够相对于筐体进行拆下。在foup8中收纳有一个或者多个晶片。
46.控制晶片储存系统1的各种动作的系统控制部9是由cpu(central processing unit)、rom(read only memory)以及ram(random access memory)等构成的电子控制单元。系统控制部9例如也可以构成为实施rom所储存的程序被加载于ram上并由cpu执行的软件控制或者基于电子电路等的组合进行的硬件控制。另外，系统控制部9可以为一个装置，也可以构成为多个装置经由网络或者内联网等通信网络而连接，由此逻辑构建一个系统控制部9。
47.在晶片储存系统1中，对将晶片从保管机构2所收纳的晶片储存容器5向foup8移交的处理进行概述。例如，通过搬运车或者操作人员将foup8载置于支承台4上。吊车3将晶片储存容器5从保管机构2的架子2a向开环机构120移动。开环机构120一方面能够将晶片储存
容器5打开，从晶片储存容器5取出晶片，另一方面将foup8的盖敞开。晶片操作机器人110从晶片储存容器5取出晶片，并将该晶片储存于foup8的内部。在将规定个数的晶片储存于foup8的内部之后，foup8的盖关闭。如以上那样，晶片从晶片储存容器5向foup8的移交结束。此外，晶片从foup8向晶片储存容器5的移交能够通过以相反的步骤实施上述处理而实现。晶片储存系统1能够自动执行晶片从晶片储存容器5以及foup8的移交。
48.接下来，对晶片交接装置100进行详述。
49.向晶片储存容器5交接作为半导体元件的材料的圆板状的晶片的晶片交接装置100具有晶片操作机器人110和开环机构120。
50.[晶片储存容器5]
[0051]
晶片储存容器5是为了晶片交接装置100交接晶片而使用的容器。如图2、图3的(a)以及图3的(b)所示，晶片储存容器5具有多个设置有保持晶片w的保持部6的环形机构(环形部)7。构成载置晶片w的托盘的环形机构7包括多个第一环形机构(第一环形部)10和多个第二环形机构(第二环形部)20，第一环形机构10和第二环形机构20在上下方向上交替层叠。第一环形机构10和第二环形机构20可以相同，在该情况下代替第二环形机构20而以旋转了180
°
(点对象)的状态交替层叠第一环形机构10。环形机构7也称为单元。
[0052]
此外，如图2所示，晶片储存容器5具备以尽可能密封多个环形机构的侧面的方式几乎无间隙地层叠的多个环形机构7、配置于上述多个环形机构的上方的上盖部5a、以及供上述层叠的多个环形机构7载置的底部5d。上盖部5a以及底部5d例如为板状的部件。利用上盖部5a的重量向下方按压层叠的多个环形机构7。
[0053]
如图3的(a)所示，第一环形机构10具有框体11、第一被支承部12、第一保持部13、卡合凸部14以及卡合孔15，例如，框体11在俯视时呈矩形的板框状，并由一对边部11a和与该一对边部11a正交的一对边部11b构成。俯视与从上方或者下方(z方向)观察的视点意思相同。
[0054]
第一被支承部12是被开环机构120支承的部分。第一被支承部12是在一对边部11a彼此的外侧的侧面上以在俯视时向外侧突出(伸出)的方式设置的凸部分。第一被支承部12形成于俯视时的第一位置。具体而言，在一对边部11a彼此的两端部设置有各两个(共计4个)第一被支承部12。各个第一被支承部12中的两个设置于该一对边部11a的一方中的包含其端的区域(角部的区域)，并且各个第一被支承部12设置于该一对边部11a的另一方中的从其端远离规定长度的区域(远离角部的区域)。以下，在俯视时，将第一环形机构10的第一被支承部12的各个位置规定为“第一位置”。
[0055]
如图3的(a)以及图4所示，第一保持部13是第一环形机构的保持部6，以在比第一被支承部12靠上方处保持晶片w的方式设置于与一对边部11b彼此的内侧连接的臂13a的前端。在第一环形机构的一对边部11b彼此的内侧设置有各两个(共计4个)臂13a，该臂13a在俯视时朝向从臂的安装位置朝第一环形机构10的中心的方向并且朝向上方进行延伸，并且该臂的远位端朝向下方弯曲地延伸。以从臂13a的远位端起水平延伸的方式具备第一保持部13，因此晶片w能够以架设于4个第一保持部13上的方式进行载置。
[0056]
如图3的(a)以及图5所示，例如，第一环形机构的卡合凸部14被设置为在框体11的上表面中的成为对角的一对角部上分别向上方突出，卡合孔15被设置为贯通该框体11的角部的卡合凸部14的周边。例如，第一环形机构的卡合凸部14被插入至在上方邻接的第二环
形机构20的卡合孔25，由此形成有将第一环形机构10中的框体11的框内的缘侧与在上方邻接的第二环形机构20中的框体的缘侧连通的通气空间16。
[0057]
如图3的(b)所示，例如，第二环形机构20具有框体21、第二被支承部22、第二保持部23、卡合凸部24以及卡合孔25，该框体21在俯视时具有矩形的板框形状，并由一对边部21a和与该一对边部21a正交的其他一对边部21b构成。
[0058]
开环机构120利用从一对边部21a彼此的外侧的侧面朝向俯视时的外侧延伸的第二被支承部22支承第一环形机构或者第二环形机构。在将第一环形机构10和第二环形机构20层叠的层叠状态(以下，简称为“层叠状态”)下，第二被支承部22形成为配置于俯视时的与第一位置不同的第二位置。具体而言，在一对边部21a彼此的两端部设置有各两个(共计4个)第二被支承部22，一对边部中的一个边部21a的两端的第二被支承部22组分别设置于从相关的端部远离了规定长度的区域(远离角部的区域)，一对边部的另一边部21a的两端的第二被支承部22组分别设置于包含相关的端部的区域(角部的区域)。以下，在俯视时，将第二环形机构20的第二被支承部22的位置规定为“第二位置”。
[0059]
第二保持部23是第二环形机构的多个保持部6，以在比第二被支承部22靠上方处保持晶片w的方式设置于与一对边部21b彼此的内侧连接的臂23a的前端。在第二环形机构的一对边部11b彼此的内侧设置有各两个(共计4个)臂23a，该臂23a在俯视时朝向从臂的安装位置朝第二环形机构20的中心的方向并且朝向上方延伸，并且该臂的远位端朝向下方弯曲地延伸。以从臂23a的远位端起水平延伸的方式具备第二保持部23，因此晶片w能够以架设于4个第二保持部23上的方式进行载置。在层叠状态下，第二保持部23以及臂23a设置于俯视时的与第一保持部13以及臂13a不重叠的位置。
[0060]
如图3的(b)以及图5所示，第二环形机构的卡合凸部24以向上方突出的方式设置于框体21的位于对角的角部组的一对组彼此的角部的上表面。在第二环形机构上层叠了第一环形机构的状态下，卡合凸部24被设置为配置于第一环形机构10的卡合孔15的对应的位置，因此该卡合凸部24被插入至在上方层叠的第一环形机构10的卡合孔15。第二环形机构的卡合孔25是设置于框体21的卡合凸部24的周边的贯通孔。卡合孔25被设置为在第一环形机构上层叠了第二环形机构的状态下配置于第一环形机构10的卡合凸部14的对应的位置，因此向该卡合孔25插入在下方邻接的第一环形机构10的卡合凸部14。在第一环形机构与第二环形机构相互层叠的状态下，分别向各个卡合孔25插入在下方邻接的第一环形机构10的卡合凸部14，向各个卡合孔15插入在下方邻接的第二环形机构20的卡合凸部24。卡合凸部14、24分别与对应的卡合孔15、25卡合，由此第一环形机构10和第二环形机构20被定位而在水平方向上不错位。此外，在第二环形机构20的框体21的框内的缘侧形成有与邻接的第一环形机构10连通的通气空间26。
[0061]
如图3的(a)、图3的(b)以及图6的(a)所示，在层叠状态下，第一环形机构10中的第一保持部13以及臂13a穿过在该第一环形机构10的上方邻接的第二环形机构20的框体21的框内。第一环形机构10中的第一保持部13位于比在该第一环形机构10的上方邻接的第二环形机构20的第二被支承部22靠上方处。如图3的(a)、图3的(b)以及图6的(b)所示，在层叠状态下，第二环形机构20中的第二保持部23以及臂23a穿过在该第二环形机构20的上方邻接的第一环形机构10的框体11的框内，在下方邻接的第二环形机构20中的第二保持部23位于比在该第二环形机构20的上方邻接的第一环形机构10的第一被支承部12靠上方处。
[0062]
如图5所示，在层叠状态下，第一环形机构10以及第二环形机构20以第一被支承部12与第二被支承部22相互不同的方式层叠。在第一被支承部12的下方(第一环形机构10中的第一被支承部12与比该第一环形机构10下移两层的第一环形机构10中的第一被支承部12之间)形成有空间s1。同样，在第二被支承部22的下方(第二环形机构20中的第二被支承部22与比该第二环形机构20下移两层的第二环形机构20中的第二被支承部22之间)形成有空间s2。
[0063]
[晶片操作机器人110]
[0064]
图7的优选实施方式的晶片操作机器人110是向由后述的第一环形机构支承部140、170的第一支承片141、171支承的环形机构7交接晶片w的交接部(参照图15)。该晶片操作机器人110具备两个机械臂111a、111b，该机械臂111a、111b分别具有舀起晶片w进行移交的滑叉112a、112b。晶片操作机器人110配置为邻接于开环机构120和支承台4(参照图1)。例如，交接部包括晶片操作机器人110或者efem(设备前端模块)(英文：equipment front end module))，但并不特别限定于此，能够使用各种公知装置。
[0065]
[开环机构120]
[0066]
晶片储存容器5中的在上下方向上层叠的多个环形机构7由晶片操作机器人110访问，因此开环机构120是用于在上下方向上打开该层叠的多个环形机构7的装置。并且，开环机构也是用于为了将晶片储存容器5中的在上下方向上打开的多个环形机构7相互层叠，而选择性地闭合多个环形机构7之间的装置。
[0067]
如图8以及图9所示，开环机构120具备基座121、升降器122、一对滚珠丝杠123、线性引导机构124、第一局部开闭模块(局部开闭模块)130、第二局部开闭模块(局部开闭模块)160以及控制部125。
[0068]
基座121设置于机台的下部。基座121收纳各种机构。基座121内例如由排气扇维持为负压。升降器122是能够在基座121上进行升降的矩形板状的升降部。在升降器122之上的预先决定的位置，通过吊车3载置有晶片储存容器5。
[0069]
滚珠丝杠123是驱动升降器122的驱动装置。例如，使滚珠丝杠123绕轴心进行旋转的驱动机构位于该滚珠丝杠123的一个近端部(例如靠基座121侧的端部)。在升降器122上一体具备内螺纹部(未图示)，该内螺纹部与滚珠丝杠123螺旋配合。若通过驱动机构旋转驱动滚珠丝杠123，则与该滚珠丝杠123螺旋配合的内螺纹部在上下方向上移动，从而与该内螺纹部一体构成的升降器122在上下方向上移动。在该结构中，无需将用于在上下方向上移动的驱动机构(驱动源)设置于升降器122。代替滚珠丝杠123，也可以使用能够驱动升降器122的其他公知的驱动装置。对升降器122的升降进行引导的线性引导机构124固定于基座121。
[0070]
根据图9～图12的至少任一者所示的结构，第一局部开闭模块130具备能够支承环形机构7的第一环形机构支承部140以及第二环形机构支承部150(参照图9)。第一环形机构支承部140具备在平面机构上可动的多个第一支承片141和驱动多个该第一支承片141的一个第一驱动机构142。第一支承片141是支承第一环形机构10或者第二环形机构20的任一方的部位。第一支承片141被固定上下方向的位置。第一支承片141呈以上下方向为厚度方向的板状。第一支承片141被支承为能够将以上下方向为轴向的旋转轴145作为基轴进行旋转。第一支承片141具有第一爪部141x、第二爪部141y以及基部141z。
[0071]
在基部141z上安装有旋转轴145。第一爪部141x、第二爪部141y以及基部141z一体构成。即，一体构成的第一爪部141x和第二爪部141y被支承为能够以旋转轴145为基轴进行旋转。在俯视时，第一爪部141x以及第二爪部141y被设置为从基部141z突出。例如，在俯视时，第一爪部141x的突出方向与第二爪部141y的突出方向之间的角度为大于等于90
°
的角度。
[0072]
设置有多个第一支承片141，这里，多个第一支承片141配置于包围升降器122的周围(碰到俯视时的4个角部)的4个位置。第一支承片141设置于与载置于升降器122的晶片储存容器5的环形机构7接近的位置。具体而言，第一支承片141在俯视时设置于夹住环形机构7而对置的两对位置且是与环形机构7的4个角部分别接近的位置。
[0073]
第一驱动机构142驱动多个第一支承片141，以使多个第一支承片141同步动作。第一驱动机构142作为以其驱动力使多个第一支承片141连动地移动的机构而具有第一促动器143、4个第一连杆146以及一对第二连杆147。第一促动器143是驱动多个第一支承片141的驱动源。第一促动器143具有杆143a。在第一促动器143中，在俯视时，以其驱动轴为中心而使杆143a的前端部转动。
[0074]
第一连杆146与各第一支承片141连结。第一连杆146呈弯曲板状。第一连杆146包括铅垂部和与铅垂部的下端一体连续的水平部。第一连杆146的铅垂部的上端固定于第一支承片141的基部141z。第一连杆146的水平部被支承为能够以与旋转轴145同轴的旋转轴n为基轴进行旋转。
[0075]
一对第二连杆147呈以上下方向为厚度方向的板状。第二连杆147经由枢轴与两个第一连杆146连结。一对第二连杆147相互具有几何学上对称的构造。一对第二连杆147分别包括相互平行地延伸的平行部和与平行部正交地延伸的连接部。一对第二连杆147的平行部的两端分别经由枢轴与第一连杆146的水平部连结。在俯视时，第二连杆147的平行部以及第一连杆146的水平部构成平行连杆l(参照图12)。一对第二连杆147彼此的连接部相互重叠，杆143a的前端部可滑动地向设置于该连接部的长孔插入。这种一对第二连杆147构成止转轭机构148。
[0076]
这种第一驱动机构142使图15的(a)～图15的(c)中说明的第一状态、第二状态以及中立状态(第三状态)的任一个状态选择性地成立。例如该第三状态如图11以及图13所示那样，通过第一促动器143的杆143a移动，从而第一支承片141配置于在俯视时与第一位置以及第二位置双方不重叠的位置，由此成为退避的中立状态。即，在该中立状态下，第一爪部141x在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠，第二爪部141y在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠。
[0077]
如图14的(a)所示，从中立状态，使第一促动器143向一个旋转方向进行旋转，经由止转轭机构148使第二连杆147在俯视时进行移动。通过平行连杆l的作用使4个第一连杆146以旋转轴n为中心同步旋转。由此，4个第一支承片141以旋转轴145为中心同步旋转45
°
左右。其结果是，形成为使第一支承片141进入至在俯视时与第一位置重叠并且与第二位置不重叠的位置的第一状态。在第一状态下，第一爪部141x在俯视时与第一位置重叠，第二爪部141y在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠。
[0078]
另一方面，如图12以及图14的(b)所示，从中立状态，使第一促动器143向另一个旋转方向旋转，经由止转轭机构148使第二连杆147在俯视时进行移动。通过平行连杆l的作用
使4个第一连杆146以旋转轴n为中心同步旋转。由此，4个第一支承片141以旋转轴145为中心同步旋转45
°
左右。其结果是，形成为使第一支承片141进入至在俯视时与第二位置重叠并且与第一位置不重叠的位置的第二状态。在第二状态下，第二爪部141y在俯视时与第二位置重叠。第一爪部141x在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠。
[0079]
根据图9～图11的至少任一者所示的结构，第二环形机构支承部150在比由第一环形机构支承部140支承的环形机构7的保持部6靠上方的位置处能够支承在该环形机构7的上方邻接的其他环形机构7(参照图16)。第二环形机构支承部150是支承比由第一支承片141支承的环形机构7靠上方的环形机构7的下端部，规定该下端部的上下方向的位置的位置设定部。第二环形机构支承部150形成用于晶片操作机器人110向环形机构7交接晶片w的空间。第二环形机构支承部150在俯视时具有可动的多个第二支承片151和驱动多个第二支承片151的一个第二驱动机构152。
[0080]
第二支承片151是支承第一环形机构10或者第二环形机构20的任一方的部位。第二支承片151设置于比第一支承片141靠上方处，被固定上下方向的位置。第二支承片151呈以上下方向为厚度方向的板状。第二支承片151具有被支承为能够以与旋转轴145同轴的旋转轴155为基轴进行旋转的基部151z。
[0081]
在基部151z上安装有旋转轴155。第三爪部151x、第四爪部151y以及基部151z一体构成。即，一体构成的第三爪部151x和第四爪部151y被支承为能够以旋转轴155为基轴进行旋转。在俯视时，第三爪部151x以及第四爪部151y被设置为从基部151z突出。例如，在俯视时，第三爪部151x的突出方向与第四爪部151y的突出方向之间的角度为大于等于90
°
的角度。设置有多个第二支承片151，这里，多个第二支承片151配置于包围升降器122的周围(碰到俯视时的4个角部)的4个位置。多个第二支承片151的每一个配置于多个第一支承片141的每一个的上方处。
[0082]
根据图9～图11的至少任一者所示的结构，第二驱动机构152驱动多个第二支承片151，以使多个第二支承片151同步动作。第二驱动机构152作为以其驱动力使多个第二支承片151连动地移动的机构而具有第二促动器153、4个第一连杆156以及一对第二连杆157。第二促动器153与第一促动器143同样地构成，具有杆153a。一对第二连杆157构成止转轭机构158。
[0083]
根据这种第二驱动机构152，如图15的(a)所示，在中立状态下，在俯视时与第一位置以及第二位置双方不重叠的位置配置有第二支承片151，从而为退避的状态。在中立状态下，第三爪部151x在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠，第四爪部151y在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠。
[0084]
如图15的(b)所示，在第一状态下，使第二促动器153向一个旋转方向进行旋转，经由止转轭机构158使第二连杆157在水平面上移动。通过平行连杆l的作用使4个第一连杆156以旋转轴n为中心向一个旋转方向同步旋转。由此，4个第二支承片151以旋转轴155为中心向一个旋转方向同步旋转。其结果是，使第二支承片151进入至在俯视时与第二位置重叠并且与第一位置不重叠的位置。在第一状态下，第三爪部151x在俯视时与第二位置重叠，第四爪部151y在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠。在第一局部开闭模块130中第一环形机构支承部140形成为第一状态时第二环形机构支承部150也形成为第一状态，由此都能够保持第一被支承部12以及第二被支承部22相互不同的在上下方向上邻接的环形机构7。
[0085]
另一方面，如图15的(c)所示，在第二状态下，使第二促动器153向另一个旋转方向进行旋转，经由止转轭机构158使第二连杆157在水平面上移动。通过平行连杆l的作用使4个第一连杆156以旋转轴n为中心向另一个旋转方向同步旋转。由此，4个第二支承片151以旋转轴155为中心向另一个旋转方向同步旋转。其结果是，使第二支承片151进入至在俯视时与第一位置重叠并且与第二位置不重叠的位置。在第二状态下，第三爪部151x在俯视时与第一位置以及第二位置不重叠，第四爪部151y在俯视时与第一位置重叠。
[0086]
第二局部开闭模块160由与图9～图11的至少任一者所示的第一局部开闭模块130同样的结构构成。以下，对于第二局部开闭模块160的说明，主要说明与第一局部开闭模块130不同之处，适当地省略与第一局部开闭模块130重复的说明。
[0087]
第二局部开闭模块160构成为包括能够支承环形机构7的第一环形机构支承部170以及第二环形机构支承部180(参照图9)。第一环形机构支承部170支承与第一局部开闭模块130的第一环形机构支承部140所支承的环形机构7不同的环形机构7。第一环形机构支承部140在俯视时具有可动的多个第一支承片171和驱动多个第一支承片171的一个第一驱动机构172。
[0088]
第一支承片171被固定上下方向的位置。第一支承片171被支承为能够以与旋转轴145同轴的旋转轴175为基轴进行旋转。多个第一支承片171的每一个配置于多个第二支承片151的每一个的上方处。第一驱动机构172具有第一促动器173、4个第一连杆176以及一对第二连杆177。第一促动器173具有杆173a。一对第二连杆177构成止转轭机构178。根据这种第一驱动机构172，在中立状态下，在俯视时与第一位置以及第二位置双方不重叠的位置配置有第一支承片171，从而能够为退避的状态。在第一状态下，以在俯视时与第一位置重叠并且与第二位置不重叠的位置配置有第一支承片171的方式使杆173a移动。在第二状态下，以在俯视时与第二位置重叠并且与第一位置不重叠的位置配置有第一支承片171的方式使杆173a移动。
[0089]
第二环形机构支承部180在比由第一环形机构支承部170支承的环形机构7的保持部6靠上方的位置处能够支承在该环形机构7的上方邻接的其他环形机构7(参照图16)。第二环形机构支承部180在俯视时具有可动的多个第二支承片181和驱动多个第二支承片181的一个第二驱动机构182。
[0090]
第二支承片181被固定上下方向的位置。第二支承片181被支承为能够以与旋转轴145同轴的旋转轴185为基轴进行旋转。多个第二支承片181的每一个配置于多个第一支承片171的每一个的上方处。第二驱动机构182具有第二促动器183、4个第一连杆186以及一对第二连杆187。第二促动器183具有杆183a。一对第二连杆187构成止转轭机构188。根据这种第二驱动机构182，在中立状态下，在俯视时与第一位置以及第二位置双方不重叠的位置配置有第二支承片181，从而为退避的状态。在第一状态下，以在俯视时与第二位置重叠并且与第一位置不重叠的位置配置有第二支承片181的方式使杆183a移动。在第二状态下，以在俯视时与第一位置重叠并且与第二位置不重叠的位置配置有第二支承片181的方式使杆183a移动。
[0091]
如图9以及图10所示，控制部125控制开环机构120的各种动作。控制部125为由cpu、rom以及ram等构成的电子控制单元。控制部125例如能够构成为rom所储存的程序被加载于ram上并由cpu执行的软件。控制部125也可以构成为电子电路等的硬件。控制部125可
以由一个装置构成，也可以由多个装置构成。在由多个装置构成的情况下，多个装置经由网络或者内联网等通信网络而连接，由此逻辑构建一个控制部125。也可以上述系统控制部9具有控制部125的至少局部功能。
[0092]
如图16所示，第一支承片141与第二支承片151之间的上下方向的间隔d1为能够利用晶片操作机器人110从由第一支承片141支承的环形机构7交接晶片w的间隔。间隔d1为能够使第二支承片151所支承的环形机构7位于比第一支承片141所支承的环形机构7的保持部6靠上方处的间隔。第二支承片151与第一支承片171之间的上下方向的间隔d2为，对于例如层叠了25个环形机构7的晶片储存容器5，保证利用第一支承片171支承最上方的环形机构7并且利用第一支承片141支承最下方的环形机构7(与23个环形机构7的厚度相对应)的间隔。第一支承片171与第二支承片181之间的上下方向的间隔d3为能够利用晶片操作机器人110从由第一支承片171支承的环形机构7交接晶片w的间隔。间隔d3为能够使第二支承片181所支承的环形机构7位于比第一支承片171所支承的环形机构7的保持部6靠上方处的间隔。
[0093]
如图9以及图10所示，控制部125控制滚珠丝杠123的驱动，由此控制升降器122的升降。另外，控制部125与升降器122的升降相協调地控制促动器143、153、173、183的每一个的动作，由此控制第一支承片141、171以及第二支承片151、181的驱动(相对于第一位置至第二位置的进退)(之后详细叙述)。
[0094]
[晶片交接装置100的动作例]
[0095]
在晶片交接装置100中，对也包括晶片储存容器5所储存的多个晶片w中的所希望的两个晶片w由晶片操作机器人110进行交接动作和取出动作的例子进行说明。
[0096]
在交接动作之前，在该升降器122位于例如比第二支承片181高的位置(至少第二支承片181比最下层的环形机构7高的位置)的状态下将晶片储存容器5载置于升降器122。另外，第一支承片141、171以及第二支承片151、181形成为在俯视时远离第一位置以及第二位置的中立状态。
[0097]
首先，根据来自外部的指示，确定保持作为取出对象的两个晶片w的两个环形机构7(在图示的例子中，为两个第二环形机构20)。例如，决定取出对象的两个第二环形机构20的作为晶片储存容器5层叠的多个环形机构7中的高度位置，并存储各个固定高度位置。
[0098]
接着，晶片操作机器人110的滑叉112a向能够接收由第一支承片141支承的环形机构7的晶片w的该固定高度位置移动。晶片操作机器人110的滑叉112b向能够接收由第一支承片171支承的环形机构7的晶片w的固定高度位置移动。开始升降器122的下降，从而开始晶片储存容器5的下降。
[0099]
在晶片储存容器5下降至第二支承片181能够进入在取出对象的两个第二环形机构中的一个第二环形机构20的上方邻接的第一环形机构10的下方的空间s1(参照图5)的高度时，控制第二促动器183使第二支承片181移动。在第二支承片181进入(或者插入)至空间s1之后，升降器122下降，由此该第二支承片181支承第一环形机构10的第一被支承部12。
[0100]
在晶片储存容器5下降至第一支承片171能够进入取出对象的两个第二环形机构中的该一个第二环形机构20的下方的空间s2(参照图5)的高度时，控制第一促动器173使第一支承片171移动。在第一支承片171进入至空间s2之后，升降器122下降，由此该第一支承片171支承第一环形机构10的第一被支承部12。由此，如图16以及图17所示，一边支承该第
二环形机构20，一边将与其上方的第一环形机构10之间在上下方向上打开，从而使该第二环形机构20的晶片w露出。
[0101]
在晶片储存容器5下降至第二支承片151能够进入在取出对象的两个第二环形机构中的另一方的第二环形机构20的上方邻接的第一环形机构10的下方的空间s1的高度时，控制第二促动器153使第二支承片151移动。在第二支承片151进入至空间s1之后，升降器122下降，由此第二支承片151支承第一环形机构10的第一被支承部12。
[0102]
在晶片储存容器5下降至第一支承片141能够进入取出对象的两个第二环形机构中的该另一方的第二环形机构20的下方的空间s2的高度时，控制第一促动器143使第一支承片141移动。在第一支承片141进入至空间s2之后，升降器122下降，由此第一支承片141支承第一环形机构10的第一被支承部12。由此，如图16以及图17所示，一边支承该第二环形机构20，一边将与其上方的第一环形机构10之间在上下方向上打开，从而使该第二环形机构20的晶片w露出。
[0103]
接着，停止升降器122的下降，停止晶片储存容器5的下降。通过位于固定高度位置的滑叉112a将由第一支承片141支承的第二环形机构20的晶片w舀起并移交。通过位于固定高度位置的滑叉112b将由第一支承片171支承的第二环形机构20的晶片w舀起并移交。通过以上操作，晶片w的交接结束。
[0104]
此外，有时利用第二局部开闭模块160的第一环形机构支承部170支承在由第一局部开闭模块130的第一环形机构支承部140支承的环形机构7的上方邻接的其他环形机构7。在这种情况下，第一局部开闭模块130的第二环形机构支承部150配置于在俯视时与第一位置以及第二位置双方不重叠的位置，因此该第二环形机构支承部150不支承环形机构7。另外，对于晶片w相对于全部环形机构7的交接而言，只要以全部环形机构7为对象实施上述动作即可。
[0105]
以上，在晶片交接装置100中，在对于多个环形机构7的任一个交接晶片w的情况下，都能够通过第一环形机构支承部140在相同的高度支承该环形机构7。因此，相对于多个环形机构7的任一个，晶片操作机器人110都能够在相同的高度交接晶片w。即，能够相对于在上下方向上层叠的多个环形机构7分别在相同的高度交接晶片w。在相对于多个环形机构7分别交接晶片w的情况下，能够抑制改变晶片操作机器人110的高度位置的必要性。
[0106]
本优选实施方式的晶片交接装置100的第一支承片141、171分别包括第一爪部141x以及第二爪部141y，第二支承片151、181分别包括第三爪部151x以及第四爪部151y。
[0107]
在晶片交接装置100中，第一爪部141x和第二爪部141y一体构成。一体构成的第一爪部141x和第二爪部141y被支承为能够以旋转轴145为基轴进行旋转。由此，能够省略连杆机构而简化机构。同样，第三爪部151x和第四爪部151y一体构成。由此，能够省略连杆机构而简化机构。
[0108]
图9所示的优选实施方式的晶片交接装置100的开环机构120在第一局部开闭模块130和第二开闭模块160的每一个分别具有第一驱动机构142、172和第二驱动机构152、182。例如，开环机构120具有连动地通过该第一局部开闭模块130的一个第一驱动机构142的驱动力使多个第一支承片141移动，通过该第二局部开闭模块160的第一驱动机构172的驱动力使多个第一支承片171移动的机构。例如，其他优选实施方式的开环机构并不限定于此，也可以使第一驱动机构142、172为统一的一个驱动机构，通过该统一的驱动机构驱动多个
第一支承片141、171，能够节省所需的第一驱动机构142、172以及传感器。并且，能够期待多个第一支承片141、171的可靠同步。
[0109]
在晶片交接装置100中，第二环形机构支承部150、180具有第二支承片151、181以及第二驱动机构152、182。第二驱动机构152、182在第一状态下使第二支承片151、181进入至在俯视时与第二位置重叠并且与第一位置不重叠的位置。在第二状态下，使第二支承片151、181进入至在俯视时与第一位置重叠并且与第二位置不重叠的位置。在第三状态下，在俯视时与第一位置以及第二位置双方不重叠的位置配置有第二支承片151、181，由此成为退避的状态。在该情况下，能够通过使第二支承片151、181进退的结构实现第二环形机构支承部150、180支承环形机构7的功能。能够通过使第二支承片151、181进退的结构实现形成用于晶片操作机器人110舀起晶片w的空间的功能。
[0110]
在晶片交接装置100中，第二环形机构支承部150、180具有多个第二支承片151、181和一个第二驱动机构152、182。一个第二驱动机构152、182具有以其驱动力使多个第二支承片151、181连动地移动的机构。在该情况下，能够相对于多个第二支承片151、181共用第二驱动机构152、182，从而能够节省第二驱动机构152、182的搭载数以及传感器数。能够将多个第二支承片151、181统一并通过一个驱动源进行驱动。能够期待多个第二支承片151、181的可靠同步。
[0111]
晶片交接装置100具备第一局部开闭模块130和第二局部开闭模块160。这些模块所包含的第一环形机构支承部140、170能够支承层叠的多个环形机构7中的相互不同的任一个。由此，能够在多处位置处交接晶片w，并且能够在各个交接位置处在相同的高度交接晶片w。另外，能够与晶片操作机器人110的臂数相对应地发挥对于多个环形机构7分别在相同的高度交接晶片w这种上述效果。
[0112]
晶片储存容器5是晶片交接装置100交接晶片w的容器。如上述那样，在通过晶片交接装置100相对于晶片储存容器5交接晶片w的情况下，能够对于在上下方向上层叠的多个环形机构7分别在相同的高度交接晶片w。
[0113]
晶片储存系统1具备晶片交接装置100、保管机构2以及吊车3。在晶片储存系统1中也具备上述晶片交接装置100，因此与上述同样，能够对于在上下方向上层叠的多个环形机构7分别在相同的高度交接晶片w。
[0114]
在晶片交接装置100的开环机构120中，能够将层叠的多个环形机构7中的任意一个或者多个位置打开(部分打开)。与将全部环形机构7打开的情况相比，能够实现高节拍化以及低矮化。由于将与晶片操作机器人110的臂数相对应的数量的位置打开，所以能够减小晶片操作机器人110不运转而待机的待机时间。
[0115]
另外，在极少数的晶片w对于进行收纳的foup8的交接中也一样，处理效率不会降低。由此，在晶片w为虚拟晶片的情况下，大多能够实施仅小幅度地插拔多个虚拟晶片，因此其效果显著。虚拟晶片是用于在装置之中进行检查所使用的晶片，是大多在逐渐降低等级的同时重复使用(在晶片储存容器5与foup8之间进行移交)的晶片。
[0116]
另外，如图10所示，与各支承片141、151、171、181连结的第一连杆146、156、176、186的铅垂部形成为嵌套构造。由此，能够抑制收纳空间。促动器143、153、173、183以及第二连杆147、157、177、187以及止转轭机构148、158、178、188能够集中于基座121隔离。由此，能够抑制上述发尘的悬念，进而能够抑制发尘对晶片w的影响。
[0117]
然而，在层叠的多个环形机构7中，其一枚一枚的厚度较薄，因此在上下方向上邻接的环形机构7形成为在俯视时在相同的位置处被支承片支承的结构的情况下，必然不得不减薄由支承片支承的被支承部，从而存在无法获得足够的强度的担忧。另一方面，若加厚由应赋予足够的强度的支承片支承的被支承部，则环形机构7的一枚一枚的厚度变厚，从而产生晶片储存容器5的上下方向的尺寸增大这一新的弊病。在这方面，在晶片储存容器5中，分别具备在俯视时偏离的位置形成的第一被支承部12、第二被支承部22的第一环形机构10、第二环形机构20交替层叠，从而能够在环形机构7的第一被支承部12以及第二被支承部22的正下方形成空间s1、s2(参照图5)。由此，通过利用空间s1、s2，能够使各支承片141、151、171、181容易且可靠地进入两个环形机构7之间。
[0118]
以上，对实施方式进行了说明，但本发明的一个方式并不限定于上述实施方式，能够进行各种变更。
[0119]
在上述实施方式中，通过滚珠丝杠123使升降器122升降，但使升降器122升降的装置并不被特别限定，也可以例如通过带式机构使升降器122升降。在上述实施方式中，第二环形机构支承部150、180能够支承环形机构7即可，也可以为除上述结构以外的公知结构的支承部。
[0120]
在上述实施方式中，一个第一驱动机构142、172驱动多个第一支承片141、171，但并不限定于此。也可以具备多个第一驱动机构，多个第一驱动机构的每一个驱动多个第一支承片的每一个。同样，在上述实施方式中，一个第二驱动机构152、182驱动多个第二支承片151、181，但并不限定于此。也可以具备多个第二驱动机构，多个第二驱动机构的每一个驱动多个第二支承片的每一个。
[0121]
例如图18所示，开环机构120也可以代替第一驱动机构142(参照图9)而具备4个促动器等第一驱动机构144。各第一驱动机构144的驱动轴与各第一支承片141直接连结。开环机构120也可以代替第二驱动机构152(参照图9)而具备4个促动器等第二驱动机构154。各第二驱动机构154的驱动轴与各第二支承片151直接连结。开环机构120也可以代替第一驱动机构172(参照图9)而具备4个促动器等第一驱动机构174。各第一驱动机构174的驱动轴与各第一支承片171直接连结。开环机构120也可以代替第二驱动机构182(参照图9)而具备4个促动器等第二驱动机构184。各第二驱动机构184的驱动轴与各第二支承片181直接连结。
[0122]
由此，能够使四角的第一支承片141不机械连动而通过促动器等控制连动。能够使四角的第一支承片171不机械连动而通过促动器等控制连动。能够使四角的第二支承片151不机械连动而通过促动器等控制连动。能够使四角的第二支承片181不机械连动而通过促动器等控制连动。由此，能够省略连杆机构而简化以及单纯化机构。由于制造多个相同结构，所以能够提高组装性能。
[0123]
在上述实施方式中，晶片操作机器人110具备两个机械臂111a、111b，但臂的数量并不限定于两个，可以为一个，也可以为3个以上。在该情况下，开环机构120开闭层叠的多个环形机构7中的与臂数相对应的数量的位置。即，具备与臂数相对应的数量的局部开闭模块。换言之，具备与局部开闭模块的数量(开闭的位置的数量)相对应的数量的臂数的交接部。
[0124]
在上述实施方式中，第一支承片141、171构成为包括两个爪部，但第一支承片141、
171所包含的爪部也可以为一个。同样，在上述实施方式中，第二支承片151、181构成为包括两个爪部，但第二支承片151、181所包含的爪部也可以为一个。在该情况下，一个爪部以在俯视时与第一位置以及第二位置的任一个重叠的方式移动。
[0125]
在上述实施方式中，第一爪部141x和第二爪部141y一体构成，但这些部件也可以独立构成。例如图19的(a)所示，也可以代替第一支承片141(参照图11)而具备第一支承片149a。第一支承片149a具备能够以轴g1为基轴进行旋转的第一爪部149b、以与第一爪部149b不同的部件设置并能够以轴g2为基轴进行旋转的第二爪部149c、以及将第一爪部149b以及第二爪部149c连结的连杆机构149d。例如图19的(b)所示，也可以代替第一支承片141(参照图11)而具备第一支承片149e。第一支承片149e具备能够以轴g3为基轴进行旋转的第一爪部149f、以与第一爪部149f不同的部件设置并能够以轴g4为基轴进行旋转的第二爪部149g、以及将第一爪部149f以及第二爪部149g连结的连杆机构149h。第一爪部149f和第二爪部149g以其局部相互重叠的方式设置。
[0126]
在该情况下，独立构成的第一爪部149b和第二爪部149c分别通过连杆机构149d进行进退。独立构成的第一爪部149f和第二爪部149g分别通过连杆机构149h进行进退。由此，容易避免第一爪部149b、149f以及第二爪部149c、149g与其他部件之间的干涉。并且这样采用通过连杆机构149d、149h使独立的第一爪部149b、149f和第二爪部149c、149g连动的方式，由此第一爪部149b、149f以及第二爪部149c、149g以更大的半径进入环形机构7的空间s1、s2，因此能够减小用于防止干涉的倒角。
[0127]
在上述实施方式中，第三爪部151x和第四爪部151y一体构成，但与上述第一爪部149b、149f以及第二爪部149c、149g同样，第三爪部和第四爪部也可以独立构成。在该情况下，容易避免第三爪部以及第四爪部与其他部件之间的干涉。能够减小用于防止干涉的倒角。
[0128]
在上述实施方式中，俯视时的第一环形机构10的第一被支承部12的第一位置并不被特别限定，同样，俯视时的第二环形机构20的第二被支承部22的第二位置并不被特别限定。第一位置以及第二位置在俯视时相互不同即可。也可以将上述实施方式以及上述变形例的各结构适当地组合。本发明的一个方式能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变更。
[0129]
附图标记说明：
[0130]1…
晶片储存系统；2
…
保管机构；3
…
吊车；5
…
晶片储存容器；6
…
保持部；7
…
环形机构(环形部)；10
…
第一环形机构(第一环形部)；12
…
第一被支承部；13
…
第一保持部；20
…
第二环形机构(第二环形部)；22
…
第二被支承部；23
…
第二保持部；100
…
晶片交接装置；110
…
晶片操作机器人(交接部)；122
…
升降器(升降部)；130
…
第一局部开闭模块(局部开闭模块)；140、170
…
第一环形机构支承部；141、171
…
第一支承片；141x、149b、149f
…
第一爪部；141y、149c、149g
…
第二爪部；142、172
…
第一驱动机构；143
…
第一促动器；146
…
第一连杆；147
…
第二连杆；148
…
止转轭机构；149d
…
连杆机构；149h
…
连杆机构；150、180
…
第二环形机构支承部；151、181
…
第二支承片；151x
…
第三爪部；151y
…
第四爪部；152、182
…
第二驱动机构；153
…
第二促动器；156
…
第一连杆；157
…
第二连杆；158
…
止转轭机构；160
…
第二局部开闭模块(局部开闭模块)；w
…
晶片。