1.本实用新型涉及氢气再生装置，属于气体再生装置技术领域。


背景技术：

2.随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。为此就需要对氢气进行纯化，另外在纯化过程后，由于氢气的性质较为活泼，为此在保存时，需要添加一部分的惰性气体，例如氮气，从而催生出纯化的逆过程，即再生过程，然而，目前的再生过程来说，程序复杂，且氢气的再生效果并不高，严重制约着氢气的纯化再生过程，为此，针对上述情况，设计一种氢气再生装置很有必要。


技术实现要素：

3.本实用新型针对上述背景技术所提及的技术问题，而采用以下技术方案来实现：
4.氢气再生装置，包括罐体，所述罐体的内部设有纯化罐，所述罐体的内部还设有换热器，所述纯化罐的底部通过第一导管与换热器相连通，并伸出罐体，且伸出罐体的第一导管的端部连通有散热器，所述散热器的一端连通有两个支管，其中一个所述支管上分别连通有球阀和安全阀，且安全阀位于所述支管的端部，另一个所述支管上分别连通有第二气动隔膜阀和针阀流量计，所述纯化罐的顶部通过第二导管与换热器相连通，且所述第二导管的一端伸出罐体，并从左到由依次连通有第一气动隔膜阀、加热器、止回阀、压力调节器和第四手动阀。
5.作为优选实例，所述罐体包括内筒和外壳，所述内筒套设在外壳内，所述外壳与内筒二者之间设有空隙，所述内筒的外侧壁上连通有第三导管，所述第三导管的一端贯穿空隙和外壳，并连通有第一手动阀，器贯穿空隙和外壳的第三导管的端部分别连通有两个第四导管，其中一个所述第四导管上安装有第二手动阀，另一个所述第四导管上安装有液位表，两个所述第四导管的另一端共同连通有第五导管，且所述第五导管上连通有第三手动阀，所述第五导管的一端端部贯穿外壳和空隙，并与内筒的内底部相连通。
6.需要说明的是，依次打开第一手动阀门、第二手动阀、第三手动阀、使得位于纯化罐内部的原料气进过第三导管、两个第四导管和第五导管再回到纯化罐的底部，并通过液位表进行观察纯化罐内部的液位情况。
7.另外还需说明的是，纯化罐的侧壁还分别设有两个测温点，以便知晓纯化罐内部的温度情况。
8.作为优选实例，所述换热器的结构为套管式换热器，所述第一导管套接在套管式换热器的外层，所述第二导管套接在套管式换热器的内层。
9.本实用新型的有益效果是：本装置主要通过纯化罐、换热器、第一导管、第一气动隔膜阀、散热器、支管、球阀、安全阀、第二气动隔膜阀、针阀流量计、加热器、止回阀、压力调节器、手动阀、第二导管，来提升氢气的再生效果，并且反应过程简单，易于操作。
附图说明
10.图1为本实用新型的结构示意图；
11.图中：罐体1、纯化罐2、换热器3、第一导管4、第一气动隔膜阀5、散热器6、支管7、球阀8、安全阀9、第二气动隔膜阀10、针阀流量计11、内筒12、外壳13、第三导管14、第一手动阀15、第四导管16、第二手动阀17、第五导管18、第三手动阀19、加热器20、止回阀21、压力调节器22、手动阀23、第二导管24、液位表25。
具体实施方式
12.为了对本实用新型的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
13.如图1所示，氢气再生装置，包括罐体1，罐体1的内部设有纯化罐2，罐体1的内部还设有换热器3，纯化罐2的底部通过第一导管4与换热器3相连通，并伸出罐体1，且伸出罐体1的第一导管4的端部连通有散热器6，散热器6的一端连通有两个支管7，其中一个支管7上分别连通有球阀8和安全阀9，且安全阀9位于支管7的端部，另一个支管7上分别连通有第二气动隔膜阀10和针阀流量计11，纯化罐2的顶部通过第二导管24与换热器3相连通，且第二导管24的一端伸出罐体1，并从左到由依次连通有第一气动隔膜阀5、加热器20、止回阀21、压力调节器22和第四手动阀23。
14.罐体1包括内筒12和外壳13，内筒12套设在外壳13内，外壳13与内筒12二者之间设有空隙，内筒12的外侧壁上连通有第三导管14，第三导管14的一端贯穿空隙和外壳13，并连通有第一手动阀15，器贯穿空隙和外壳13的第三导管14的端部分别连通有两个第四导管16，其中一个第四导管16上安装有第二手动阀17，另一个第四导管16上安装有液位表25，两个第四导管16的另一端共同连通有第五导管18，且第五导管18上连通有第三手动阀19，第五导管18的一端端部贯穿外壳13和空隙，并与内筒12的内底部相连通。
15.换热器3的结构为套管式换热器，第一导管4套接在套管式换热器的外层，第二导管24套接在套管式换热器的内层。
16.工作原理：首先依次打开位于罐体1外部的第一导管4上的第一气动隔膜阀5、加热器20、止回阀2、压力调节器22和第四手动阀23，使得需要再生的气体通过第一导管4进入罐体1的内部，然后经过换热器3进行换热，再最终经过纯化罐2的顶部进入纯化罐2的内部，使其进行再生作业，然后再生所产生的混合气，然后再分别打开球阀8和安全阀9，以及打开第二气动隔膜阀10，并利用针阀流量计11进行记录，使得废气从纯化罐2的底部经过第二导管24、并经散热器6，然后分两路经过支管7进入下一步，从而进行后续气体的处理。
17.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.氢气再生装置，包括罐体（1），所述罐体（1）的内部设有纯化罐（2），其特征在于，所述罐体（1）的内部还设有换热器（3），所述纯化罐（2）的底部通过第一导管（4）与换热器（3）相连通，并伸出罐体（1），且伸出罐体（1）的第一导管（4）的端部连通有散热器（6），所述散热器（6）的一端连通有两个支管（7），其中一个所述支管（7）上分别连通有球阀（8）和安全阀（9），且安全阀（9）位于所述支管（7）的端部，另一个所述支管（7）上分别连通有第二气动隔膜阀（10）和针阀流量计（11），所述纯化罐（2）的顶部通过第二导管（24）与换热器（3）相连通，且所述第二导管（24）的一端伸出罐体（1），并从左到由依次连通有第一气动隔膜阀（5）、加热器（20）、止回阀（21）、压力调节器（22）和第四手动阀（23）。2.根据权利要求1所述的氢气再生装置，其特征在于： 所述罐体（1）包括内筒（12）和外壳（13），所述内筒（12）套设在外壳（13）内，所述外壳（13）与内筒（12）二者之间设有空隙，所述内筒（12）的外侧壁上连通有第三导管（14），所述第三导管（14）的一端贯穿空隙和外壳（13），并连通有第一手动阀（15），器贯穿空隙和外壳（13）的第三导管（14）的端部分别连通有两个第四导管（16），其中一个所述第四导管（16）上安装有第二手动阀（17），另一个所述第四导管（16）上安装有液位表（25），两个所述第四导管（16）的另一端共同连通有第五导管（18），且所述第五导管（18）上连通有第三手动阀（19），所述第五导管（18）的一端端部贯穿外壳（13）和空隙，并与内筒（12）的内底部相连通。3.根据权利要求1所述的氢气再生装置，其特征在于：所述换热器（3）的结构为套管式换热器，所述第一导管（4）套接在套管式换热器的外层，所述第二导管（24）套接在套管式换热器的内层。

技术总结
本实用新型公开了氢气再生装置，属于气体再生装置技术领域。它包括罐体，罐体的内部设有纯化罐，罐体的内部还设有换热器，纯化罐的底部通过第一导管与换热器相连通，并伸出罐体，且伸出罐体的第一导管的端部连通有散热器，散热器的一端连通有两个支管，其中一个支管上分别连通有球阀和安全阀，且安全阀位于支管的端部，另一个支管上分别连通有第二气动隔膜阀和针阀流量计。本装置主要通过纯化罐、换热器、第一导管、第一气动隔膜阀、散热器、支管、球阀、安全阀、第二气动隔膜阀、针阀流量计、加热器、止回阀、压力调节器、手动阀、第二导管，来提升氢气的再生效果，并且反应过程简单，易于操作。操作。操作。


技术研发人员：江晓松
受保护的技术使用者：上海先普气体技术有限公司
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2022/1/18