1.本实用新型涉及氢气纯化装置，属于气体纯化装置技术领域。


背景技术：

2.随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。目前的氢气纯化技术多采用前端催化后端干燥吸附的技术，前端催化工艺可使杂质反应生成二氧化碳和水，后端深度吸附工艺吸附脱除二氧化碳和水等杂质。此技术虽然在一定程度上脱除杂质烃类、一氧化碳、二氧化碳和水，但脱除深度已经不能满足生产使用需求，为此针对上述问题，设计一种氢气纯化装置很有必要。


技术实现要素：

3.本实用新型针对上述背景技术所提及的技术问题，而采用以下技术方案来实现：
4.氢气纯化装置，包括罐体，所述罐体的内部设有纯化罐，所述罐体的内部还设有换热器，所述纯化罐的底部通过第一导管与换热器相连通，且所述第一导管的一端与第一气动隔膜阀相连通，所述第一气动隔膜阀的另一端连通有进气管，所述纯化罐的顶部连通有第二导管，所述第二导管与换热器相连通，并所述第二导管的一端连通有第三气动隔膜阀。
5.作为优选实例，所述罐体包括内筒和外壳，所述内筒套设在外壳内，所述外壳与内筒二者之间设有空隙，所述内筒的外侧壁上连通有第三导管，所述第三导管的一端贯穿空隙和外壳，并连通有第一手动阀，器贯穿空隙和外壳的第三导管的端部分别连通有两个第四导管，其中一个所述第四导管上安装有第二手动阀，另一个所述第四导管上安装有液位表，两个所述第四导管的另一端共同连通有第五导管，且所述第五导管上连通有第三手动阀，所述第五导管的一端端部贯穿外壳和空隙，并与内筒的内底部相连通。
6.需要说明的是，依次打开第一手动阀门、第二手动阀、第三手动阀、使得位于纯化罐内部的原料气进过第三导管、两个第四导管和第五导管再回到纯化罐的底部，并通过液位表进行观察纯化罐内部的液位情况。
7.另外还需说明的是，纯化罐的侧壁还分别设有两个测温点，以便知晓纯化罐内部的温度情况。
8.作为优选实例，所述换热器的结构为套管式换热器，所述第一导管套接在套管式换热器的外层，所述第二导管套接在套管式换热器的内层。
9.作为优选实例，位于罐体外部的第二导管还连通有分管，所述分管上还连通有第四手动阀。
10.还需要说明的是，打开第四手动阀，净化后的气体可经过分管进行下一步操作。
11.本实用新型的有益效果是：本装置主要通过纯化罐、换热器、第一导管、第一气动隔膜阀、第三手动阀、液位表、分管、第四手动阀、第二导管、第三气动隔膜阀、内筒、外壳、第三导管、第一手动阀、第四导管、第二手动阀、第五导管来提升氢气的纯化效果，使得氢气的
纯度达到99.99%。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构示意图；
13.图中：罐体1、纯化罐2、换热器3、第一导管4、第一气动隔膜阀5、第三手动阀6、液位表7、分管8、第四手动阀9、第二导管10、第三气动隔膜阀11、内筒12、外壳13、第三导管14、第一手动阀15、第四导管16、第二手动阀17、第五导管18。
具体实施方式
14.为了对本实用新型的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
15.如图1所示，氢气纯化装置，包括罐体1，罐体1的内部设有纯化罐2，罐体1的内部还设有换热器3，纯化罐2的底部通过第一导管4与换热器3相连通，且第一导管4的一端与第一气动隔膜阀5相连通，第一气动隔膜阀5的另一端连通有进气管，纯化罐2的顶部连通有第二导管10，第二导管10与换热器3相连通，并第二导管10的一端连通有第三气动隔膜阀11。
16.罐体1包括内筒12和外壳13，内筒12套设在外壳13内，外壳13与内筒12二者之间设有空隙，内筒12的外侧壁上连通有第三导管14，第三导管14的一端贯穿空隙和外壳13，并连通有第一手动阀15，器贯穿空隙和外壳13的第三导管14的端部分别连通有两个第四导管16，其中一个第四导管16上安装有第二手动阀17，另一个第四导管16上安装有液位表7，两个第四导管16的另一端共同连通有第五导管18，且第五导管18上连通有第三手动阀6，第五导管18的一端端部贯穿外壳13和空隙，并与内筒12的内底部相连通。
17.换热器3的结构为套管式换热器，第一导管4套接在套管式换热器的外层，第二导管10套接在套管式换热器的内层。
18.位于罐体1外部的第二导管10还连通有分管8，分管8上还连通有第四手动阀9。
19.工作原理：首先打开第一气动隔膜阀5，使得需要进化的气体（称为原料气）经过第一导管4进入罐体1的内部（需要说明的是，第一导管4的端部贯穿罐体1上的盖板进入罐体1的内部），然后经过换热器3换热，使得原料气通过纯化罐2的底部进入纯化罐2的内部进行纯化作业，此时然后打开第三气动隔膜阀11，使得纯化后的气体（称为净化气）经过第二导管10从罐体1的内部并经过换热器3换热后出去（需要说明的是，第二导管10的端部贯穿罐体1上的盖板进入罐体1的内部）。
20.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.氢气纯化装置，包括罐体（1），所述罐体（1）的内部设有纯化罐（2），其特征在于，所述罐体（1）的内部还设有换热器（3），所述纯化罐（2）的底部通过第一导管（4）与换热器（3）相连通，且所述第一导管（4）的一端与第一气动隔膜阀（5）相连通，所述第一气动隔膜阀（5）的另一端连通有进气管，所述纯化罐（2）的顶部连通有第二导管（10），所述第二导管（10）与换热器（3）相连通，并所述第二导管（10）的一端连通有第三气动隔膜阀（11）。2.根据权利要求1所述的氢气纯化装置，其特征在于： 所述罐体（1）包括内筒（12）和外壳（13），所述内筒（12）套设在外壳（13）内，所述外壳（13）与内筒（12）二者之间设有空隙，所述内筒（12）的外侧壁上连通有第三导管（14），所述第三导管（14）的一端贯穿空隙和外壳（13），并连通有第一手动阀（15），器贯穿空隙和外壳（13）的第三导管（14）的端部分别连通有两个第四导管（16），其中一个所述第四导管（16）上安装有第二手动阀（17），另一个所述第四导管（16）上安装有液位表（7），两个所述第四导管（16）的另一端共同连通有第五导管（18），且所述第五导管（18）上连通有第三手动阀（6），所述第五导管（18）的一端端部贯穿外壳（13）和空隙，并与内筒（12）的内底部相连通。3.根据权利要求1所述的氢气纯化装置，其特征在于：所述换热器（3）的结构为套管式换热器，所述第一导管（4）套接在套管式换热器的外层，所述第二导管（10）套接在套管式换热器的内层。4.根据权利要求1所述的氢气纯化装置，其特征在于：位于罐体（1）外部的第二导管（10）还连通有分管（8），所述分管（8）上还连通有第四手动阀（9）。

技术总结
本实用新型公开了氢气纯化装置，属于气体纯化装置技术领域。它包括罐体，所述罐体的内部设有纯化罐，所述罐体的内部还设有换热器，所述纯化罐的底部通过第一导管与换热器相连通，且所述第一导管的一端与第一气动隔膜阀相连通，所述第一气动隔膜阀的另一端连通有进气管，所述纯化罐的顶部连通有第二导管，所述第二导管与换热器相连通，并所述第二导管的一端连通有第三气动隔膜阀。本装置主要通过纯化罐、换热器、第一导管、第一气动隔膜阀、第三手动阀、液位表、分管、第四手动阀、第二导管、第三气动隔膜阀、内筒、外壳、第三导管、第一手动阀、第四导管、第二手动阀、第五导管来提升氢气的纯化效果，使得氢气的纯度达到99.99%。使得氢气的纯度达到99.99%。使得氢气的纯度达到99.99%。


技术研发人员：江晓松
受保护的技术使用者：上海先普气体技术有限公司
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2022/1/18