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一种用于研磨装置的精抛液供给装置的制作方法

时间:2022-02-10 阅读: 作者:专利查询

一种用于研磨装置的精抛液供给装置的制作方法

1.本实用新型涉及研磨技术领域,尤其涉及一种用于研磨装置的精抛液供给装置。


背景技术:

2.随着对超精密工件需求量的增加以及对性能和加工要求的不断提高,科研人员不断探索高效、高质量的新型抛光方法,能够高效去除工件材料、面形适应性好并融入环保理念的柔性抛光技术具有很大的发展潜力,精抛液是对工件进行超精密加工的关键要素之一,精抛液的性能直接影响抛光后表面的质量;
3.由于某些抛光过程中所使用的精抛液中磨料浓度较高,精抛液粘度大,长时间静止会出现沉淀和聚合的现象,不便于输送供给,于是需要对精抛液进行搅拌,防止其沉淀,但现有的输送供给装置中的搅拌装置过于简单,搅拌效果不好,同时功能单一,仅仅能够供给一种浓度的精抛液,无法在使用过程中对精抛液进行浓度的调节,实用性和灵活性低,因此本实用新型提出一种用于研磨装置的精抛液供给装置以解决现有技术中存在的问题。


技术实现要素:

4.针对上述问题,本实用新型提出一种用于研磨装置的精抛液供给装置,该用于研磨装置的精抛液供给装置,通过第一搅拌叶横向转动时带动转动叶片竖向转动,对精抛液进行横向流动的同时又进行竖向流动,对高浓度精抛液搅拌的更彻底。
5.为实现本实用新型的目的,本实用新型通过以下技术方案实现:一种用于研磨装置的精抛液供给装置,包括存储罐、稀释罐和冷凝罐,所述稀释罐位于存储罐和冷凝罐之间,所述存储罐顶部的一侧设有进液口,所述冷凝罐一侧的下方设有出液口,所述存储罐、稀释罐和冷凝罐的底部均设有支撑座;
6.所述存储罐顶部的一端设有加压泵,所述存储罐一侧的下端设有输液管,所述存储罐的内部设有第一搅拌装置,所述存储罐与稀释罐之间设有三通分流阀,所述稀释罐与冷凝罐之间设有三通合流阀,所述输液管与三通分流阀的输入端连通,所述三通分流阀的一个输出端通过管道与稀释罐连通,另一个输出端通过管道与三通合流阀的一个输入端连通。
7.进一步改进在于:所述稀释罐的顶部设有水箱,所述水箱通过输水管与稀释罐连通,所述输水管上设有电磁阀门,所述稀释罐的内部设有第二搅拌装置。
8.进一步改进在于:所述第一搅拌装置包括第一转轴、第一搅拌叶和转动叶片,所述第一转轴位于存储罐的内部,所述第一转轴通过第一电机驱动,所述第一转轴上设有第一搅拌叶,所述第一搅拌叶设有多组,所述第一搅拌叶的两端均转动连接有转动叶片。
9.进一步改进在于:所述稀释罐一侧的下端设有水泵,所述水泵的输入端与稀释罐连通,所述水泵的输出端通过管道与三通合流阀的一个输入端连通。
10.进一步改进在于:所述第二搅拌装置包括第二转轴和第二搅拌叶,所述第二转轴位于稀释罐的内部,所述第二转轴通过第二电机驱动,所述第二转轴上对称有第二搅拌叶,
所述第二搅拌叶设有多组,所述稀释罐下端内壁的一侧设有液位感应器。
11.进一步改进在于:所述冷凝罐的内部设有u形冷凝管,所述u形冷凝管的一端与三通合流阀的输入端连通,另一端与出液口连通。
12.进一步改进在于:所述稀释罐的表面设有透视板,所述透视板的一侧设有液位刻度。
13.本实用新型的有益效果为:本实用新型通过第一搅拌叶横向转动时带动转动叶片竖向转动,使精抛液进行横向流动的同时又进行竖向流动,对高浓度精抛液搅拌的更彻底,搅拌效果更好,能有效的防止高浓度精抛液产生沉淀和聚合,通过稀释罐可以对存储罐内的高浓度精抛液进行稀释使用,同时也可以直接使用高浓度的精抛液,增加了本装置的实用性,通过冷凝罐可以很好的对精抛液进行降温,在抛光时,可以对被抛光工件进行降温,增加抛光精度。
附图说明
14.图1是本实用新型的主视图。
15.图2是本实用新型的剖视图。
16.其中:1、存储罐;2、稀释罐;3、冷凝罐;4、进液口;5、出液口;6、支撑座;7、加压泵;8、输液管;9、三通分流阀;10、三通合流阀;11、水箱;12、输水管;13、电磁阀门;14、第一转轴;15、第一搅拌叶;16、转动叶片;17、水泵;18、第二转轴;19、第二搅拌叶;20、液位感应器;21、u形冷凝管;22、透视板;23、液位刻度。
具体实施方式
17.为了加深对本实用新型的理解,下面将结合实施例对本实用新型做进一步详述,本实施例仅用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型保护范围的限定。
18.根据图1、2所示,本实施例提出了一种用于研磨装置的精抛液供给装置,包括存储罐1、稀释罐2和冷凝罐3,所述稀释罐2位于存储罐1和冷凝罐3之间,所述存储罐1顶部的一侧设有进液口4,通过进液口4向存储罐1加入高浓度精抛液,所述冷凝罐3一侧的下方设有出液口5,所述存储罐1、稀释罐2和冷凝罐3的底部均设有支撑座6;
19.所述存储罐1顶部的一端设有加压泵7,所述存储罐1一侧的下端设有输液管8,所述存储罐1的内部设有第一搅拌装置,所述存储罐1与稀释罐2之间设有三通分流阀9,所述稀释罐2与冷凝罐3之间设有三通合流阀10,所述输液管8与三通分流阀9的输入端连通,所述三通分流阀9的一个输出端通过管道与稀释罐2连通,另一个输出端通过管道与三通合流阀10的一个输入端连通;
20.所述稀释罐2的顶部设有水箱11,所述水箱11通过输水管12与稀释罐2连通,所述输水管12上设有电磁阀门13,所述稀释罐2的内部设有第二搅拌装置,当需使用高浓度精抛液时,三通分流阀9上端的输出端打开,右端的输出端关闭,三通合流阀10上端的输入端打开,下端的输入端关闭,高浓度精抛液进入u形冷凝管21,并从出液口5流出,当需使用低浓度的精抛液时,三通分流阀9右端的输出端打开,上端的输出端关闭,高浓度精抛液进入稀释罐2,当高浓度精抛液加入到一定位置处时,液位感应器20向供给系统输送信号,关闭加压泵7,打开电磁阀门13,水箱11的水进入稀释罐2,通过该稀释处理,可以对存储罐1内的高
浓度精抛液进行稀释使用,同时也可以直接使用高浓度的精抛液,增加了本装置的实用性,能够满足不同的使用需求。
21.所述第一搅拌装置包括第一转轴14、第一搅拌叶15和转动叶片16,所述第一转轴14位于存储罐1的内部,所述第一转轴14通过第一电机驱动,所述第一转轴14上设有第一搅拌叶15,所述第一搅拌叶15设有多组,所述第一搅拌叶15的两端均转动连接有转动叶片16,所述转动叶片16的截面呈曲线结构,启动第一电机后(在本实施例中,第一电机的型号为y90s-2),当第一电机带动第一转轴14转动时,第一搅拌叶15会跟随转轴14发生横向转动进行径向搅拌,同步的,在水流的阻力的带动下,第一搅拌叶15上的转动叶片16会受到水流阻力影响,产生竖向转动,以此实现纵向搅拌,纵向搅拌和径向搅拌同时进行,对高浓度精抛液搅拌的更彻底,搅拌效果更好,能有效的防止高浓度精抛液产生沉淀和聚合。
22.所述稀释罐2一侧的下端设有水泵17,所述水泵17的输入端与稀释罐2连通,所述水泵17的输出端通过管道与三通合流阀10的一个输入端连通。
23.所述第二搅拌装置包括第二转轴18和第二搅拌叶19,所述第二转轴18位于稀释罐2的内部,所述第二转轴18通过第二电机驱动,(在本实施例中,第二电机的型号为y90s-2))所述第二转轴18上对称有第二搅拌叶19,所述第二搅拌叶19设有多组,所述稀释罐2下端内壁的一侧设有液位感应器20,启动第二电机,带动第二转轴18转动,同时第二搅拌叶19转动,对溶液进行搅拌,打开水泵17,同时三通合流阀10上端的输入端关闭,下端的输入端打开,稀释后的精抛液经过u形冷凝管21降温后,从出液口5流出。
24.所述冷凝罐3的内部设有u形冷凝管21,所述u形冷凝管21的一端与三通合流阀10的输入端连通,另一端与出液口5连通。
25.所述稀释罐2的表面设有透视板22,所述透视板22的一侧设有液位刻度23,根据透视板22和液位刻度23,可以观察稀释罐2的液面高度,。
26.该用于研磨装置的精抛液供给装置通过第一搅拌叶15横向转动时水流的阻力带动转动叶片16竖向转动,使精抛液横向流动的同时又进行竖向流动,对高浓度精抛液搅拌的更彻底,搅拌效果更好,能有效的防止高浓度精抛液产生沉淀和聚合,通过稀释罐2可以对存储罐1内的高浓度精抛液进行稀释使用,同时也可以直接使用高浓度的精抛液,增加了本装置的实用性,通过冷凝罐3可以很好的对精抛液进行降温,在抛光时,可以对被抛光工件进行降温,增加抛光精度。
27.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。