1.本实用新型涉及薄膜电容器加工设备技术领域，具体涉及一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置。
背景技术：
2.薄膜电容器是使用塑料薄膜作为电介质，通常的薄膜电容器其制法是将铝等金属箔当成电极和塑料薄膜重叠后卷绕在一起制成，但是金属箔的较厚，影响电容器的体积，不利于电容器的小型化，因此金属化薄膜得到了不断地发展，金属化薄膜厚度极薄，并且金属分布均匀，有一定的自愈能力，金属化薄膜一般是在真空条件下，将金属蒸镀在薄膜基材的表面制成的。
3.现有的薄膜蒸镀设备在蒸镀时蒸镀原料的受热较不均匀，并且原料成分的分布不够均匀，蒸镀时的金属粒子冷却的效率较低，影响了蒸镀材料的附着率与利用率，同时需要频繁的进行蒸镀材料的添加，薄膜的安装也较为复杂，影响了薄膜蒸镀的加工效率为此，我们提出了一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置。
技术实现要素：
4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置，克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，旨在解决现有薄膜蒸镀设备对蒸镀材料的加热不够均匀，蒸镀时金属粒子的冷却效果较差，附着率较低，蒸镀材料的添加和薄膜的安装较为复杂，加工效率较低的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
8.一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置，包括内部中空的机箱和机箱下端安装的多个支撑腿，所述机箱顶壁两侧竖直安装有机架，机架的上端水平架设有顶板，机箱的内腔中贯穿机箱的底壁设有蒸镀机构，机箱内腔中贯穿机箱的后壁设有冷却机构，机箱内腔中还设有送料机构；
9.所述蒸镀机构包括设置在机箱内底壁上呈圆柱形的盛放皿，盛放皿的环形侧壁上套设有加热线圈，所述盛放皿的环形侧壁一侧上端连接有下料口的出料端，下料口向斜上方延伸贯通连接有储料箱且下料口中设有下料阀，储料箱固定安装在机箱的内侧壁上，储料箱的一侧侧壁上贯通插设有送料漏斗，且送料漏斗中设有送料阀，送料漏斗向外侧延伸贯通机箱的侧壁并延伸至机箱外腔，机箱对应盛放皿上方位置的内腔中水平设有定位板，定位板对应盛放皿的上方位置开设有开口且开口中设有卡接槽，卡接槽上放置有固定框，固定框下端固定有待蒸镀的薄膜，机箱的底壁上贯通设有出气管，出气管向下侧延伸并贯通连接在真空泵的抽吸端上，真空泵通过电机支架固定安装在支撑腿的侧壁上，所述机箱的一侧侧壁上贯通设有进气管，且进气管中设有进气阀；
10.所述冷却机构包括定位板内设置的冷却水管ii，冷却水管ii的进水端和出水端分别贯通机箱的后壁并贯通连接有冷却水箱，冷却水箱固定安装在机箱的后壁上，冷却水箱内底壁上设有水泵且冷却水管ii的进水端贯通连接在水泵的输出端上。
11.优选的，所述盛放皿的内腔中转动安装有搅拌棒，搅拌棒的中心连接有转动轴，转动轴向下延伸贯穿机箱的底壁连接在伺服电机的输出端上，伺服电机通过电机支架固定安装在支撑腿的侧壁上，所述转动轴上转动套设有密封圈，密封圈固定安装在机箱和盛放皿的底壁上。
12.优选的，所述定位板对应盛放皿上方位置的底壁上设有引流罩，且引流罩的尺寸大于固定框的尺寸，引流罩的内侧壁上设有电磁线圈。
13.优选的，所述送料机构包括机箱顶壁上开设的放料开口中滑动连接的电磁铁，且电磁铁设有与固定框相匹配的固定卡槽，电磁铁顶壁固定连接在伸降气缸的伸缩端上，伸降气缸竖直固定安装在顶板的底壁上，机箱对应放料开口位置的内顶壁上对称滑动安装有密封门，且密封门的相对一侧设有相互卡接的密封卡扣，两个密封门的底壁上分别连接有滑动板，滑动板均向前后两侧延伸并分别通过滑动座滑动连接有电动滑轨，电动滑轨分别固定安装在机箱的前后两侧内壁上。
14.更优选的，所述电磁铁的顶壁上竖直固定安装有导柱，导柱通过分别缓冲弹簧滑动连接有导套，导套均竖直固定安装在顶板的底壁上。
15.更优选的，两个所述滑动板的底壁上对应固定框的位置对称滑动设有多个压紧块，压紧块的相背离一侧均固定连接有滑柱，滑柱分别滑动连接有滑套，滑套均水平固定安装在滑动板的底壁上，且滑套和滑柱均通过伸缩杆弹簧相连接。
16.优选的，两个所述密封门的内部均设有冷却水管i，且冷却水管i在密封门内弯曲延伸，冷却水管i的进水端和出水端分别通过软管贯通冷却水箱的侧壁贯通连接在水泵的出水端上。
17.(三)有益效果
18.本实用新型实施例提供了一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置，具备以下有益效果：
19.1、本实用新型中，通过将蒸镀的原料经过送料漏斗送入储料箱中，并经过下料口送入盛放皿中，方便原料的及时补充，避免填料频繁影响真空效果，同时配合伺服电机带动搅拌棒对盛放皿中的原料进行搅拌，保证原料的成分分布均匀，也保证受热均匀，提高薄膜蒸镀的质量。
20.2、本实用新型中，通过冷却水管ii和冷却水管i对蒸镀的薄膜a进行冷却，并且使用弯曲的冷却水管i增加散热面积，保证冷却效果，保持薄膜a的温度，提高蒸镀材料的附着率与利用率，提高薄膜蒸镀的效率。
21.3、本实用新型中，通过电磁铁拿取固定框，并配合伸降气缸方便固定框的放置，避免进入机箱内腔中对固定框进行安装，提高了薄膜a的安放效率，同时配合电动滑轨协同滑动板带动压紧块对固定框进行压紧固定，协同伸缩杆弹簧进行缓冲，保证压紧效果的同时避免刚性碰撞影响部件的使用寿命，保证固定框的位置固定，提高蒸镀的分布均匀性，保证蒸镀质量
附图说明
22.下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
23.图1为本实用新型外观示意图；
24.图2为本实用新型正面示意图；
25.图3为本实用新型俯视图；
26.图4为本实用新型中a部分示意图。
27.图中：机箱1、支撑腿2、机架3、顶板4、蒸镀机构5、盛放皿51、加热线圈52、搅拌棒53、转动轴54、密封圈55、伺服电机56、电机支架57、下料口58、下料阀59、储料箱510、送料阀511、送料漏斗512、定位板513、卡接槽514、固定框515、进气管516、真空泵517、电磁线圈518、引流罩519、送料机构6、电磁铁61、伸降气缸62、导套63、导柱64、放料开口65、密封卡扣66、密封门67、滑动板68、电动滑轨69、压紧块610、滑柱611、伸缩杆弹簧612、滑套613、冷却机构7、冷却水管i71、水泵72、冷却水管ii73、冷却水箱74、薄膜a。
具体实施方式
28.下面结合附图1-4和实施例对本实用新型进一步说明：
29.一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置，包括内部中空的机箱1和机箱1下端安装的多个支撑腿2，所述机箱1顶壁两侧竖直安装有机架3，机架3的上端水平架设有顶板4，机箱1的内腔中贯穿机箱1的底壁设有蒸镀机构5，机箱1内腔中贯穿机箱1的后壁设有冷却机构7，机箱1内腔中还设有送料机构6；
30.本实施例中，如图1-4所示，所述蒸镀机构5包括设置在机箱1内底壁上呈圆柱形的盛放皿51，盛放皿51的环形侧壁上套设有加热线圈52，所述盛放皿51的环形侧壁一侧上端连接有下料口58的出料端，下料口58向斜上方延伸贯通连接有储料箱510且下料口58中设有下料阀59，储料箱510固定安装在机箱1的内侧壁上，储料箱510的一侧侧壁上贯通插设有送料漏斗512，且送料漏斗512中设有送料阀511，送料漏斗512向外侧延伸贯通机箱1的侧壁并延伸至机箱1外腔，机箱1对应盛放皿51上方位置的内腔中水平设有定位板513，定位板513对应盛放皿51的上方位置开设有开口且开口中设有卡接槽514，卡接槽514上放置有固定框515，固定框515下端固定有待蒸镀的薄膜a，机箱1的底壁上贯通设有出气管，出气管向下侧延伸并贯通连接在真空泵517的抽吸端上，真空泵517通过电机支架57固定安装在支撑腿2的侧壁上，所述机箱1的一侧侧壁上贯通设有进气管516，且进气管中设有进气阀，操作人员将蒸镀的原料经过送料漏斗512送入储料箱510中，并通过下料口58送入盛放皿51中，方便原料的及时补充，避免填料频繁影响真空效果，保证蒸镀的质量，待蒸镀的薄膜a安放在固定框515内，并将固定框放置在卡接槽514中，启动真空泵517将机箱1内腔中抽吸为真空状态，通过加热线圈52的涡流效应对盛放皿51中的原料进行加热，蒸发的原料对薄膜a进行蒸镀；
31.本实施例中，如图2-4所示，所述冷却机构7包括定位板513内设置的冷却水管ii73，冷却水管ii73的进水端和出水端分别贯通机箱1的后壁并贯通连接有冷却水箱74，冷却水箱74固定安装在机箱1的后壁上，冷却水箱74内底壁上设有水泵72且冷却水管ii73的进水端贯通连接在水泵72的输出端上，通过冷却水管ii73对蒸镀的薄膜a进行冷却，保持薄
膜a的温度，提高蒸镀材料的附着率与利用率，提高薄膜蒸镀的效率。
32.本实施例中，如图2所示，所述盛放皿51的内腔中转动安装有搅拌棒53，搅拌棒53的中心连接有转动轴54，转动轴54向下延伸贯穿机箱1的底壁连接在伺服电机56的输出端上，伺服电机56通过电机支架57固定安装在支撑腿2的侧壁上，所述转动轴54上转动套设有密封圈55，密封圈55固定安装在机箱1和盛放皿51的底壁上，通过伺服电机56带动搅拌棒53对盛放皿51中的原料进行搅拌，保证原料的成分分布均匀，也保证受热均匀，提高薄膜蒸镀的质量。
33.本实施例中，如图2所示，所述定位板513对应盛放皿51上方位置的底壁上设有引流罩519，且引流罩519的尺寸大于固定框515的尺寸，引流罩519的内侧壁上设有电磁线圈518，对蒸发的蒸镀原料进行引流，并通过电磁线圈518保证蒸发原料粒子的温度，也保证蒸镀的沉积均匀，提高蒸镀质量。
34.本实施例中，如图2-4所示，所述送料机构6包括机箱1顶壁上开设的放料开口65中滑动连接的电磁铁61，且电磁铁61设有与固定框515相匹配的固定卡槽，电磁铁61顶壁固定连接在伸降气缸62的伸缩端上，伸降气缸62竖直固定安装在顶板4的底壁上，机箱1对应放料开口65位置的内顶壁上对称滑动安装有密封门67，且密封门67的相对一侧设有相互卡接的密封卡扣66，两个密封门67的底壁上分别连接有滑动板68，滑动板68均向前后两侧延伸并分别通过滑动座滑动连接有电动滑轨69，电动滑轨69分别固定安装在机箱1的前后两侧内壁上，通过电磁铁61拿取固定框515，并配合伸降气缸62方便固定框515的放置，避免进入机箱1内腔中对固定框515进行安装，提高了薄膜a的安放效率，同时通过密封门67对放料开口65进行密封，保证蒸镀的真空环境，保证薄膜蒸镀的质量。
35.本实施例中，如图1和2所示，所述电磁铁61的顶壁上竖直固定安装有导柱64，导柱64通过分别缓冲弹簧滑动连接有导套63，导套63均竖直固定安装在顶板4的底壁上，提高固定框515升降时的稳定性。
36.本实施例中，如图2-4所示，两个所述滑动板68的底壁上对应固定框515的位置对称滑动设有多个压紧块610，压紧块610的相背离一侧均固定连接有滑柱611，滑柱611分别滑动连接有滑套613，滑套613均水平固定安装在滑动板68的底壁上，且滑套613和滑柱611均通过伸缩杆弹簧612相连接，通过电动滑轨69协同滑动板68带动压紧块610对固定框515进行压紧固定，并配合伸缩杆弹簧612进行缓冲，保证压紧效果的同时避免刚性碰撞影响部件的使用寿命，保证固定框515的位置固定，提高蒸镀的分布均匀性，保证蒸镀质量。
37.本实施例中，如图2和3所示，两个所述密封门67的内部均设有冷却水管i71，且冷却水管i71在密封门67内弯曲延伸，冷却水管i71的进水端和出水端分别通过软管贯通冷却水箱74的侧壁贯通连接在水泵72的出水端上，通过冷却水管i71中的冷却水循环保证薄膜a的温度，同时配合弯曲的冷却水管i71增加散热面积，保证冷却效果，提高蒸镀材料的附着率与利用率，提高薄膜蒸镀的质量。
38.根据本实用新型上述实施例的一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置，操作人员将蒸镀的原料经过送料漏斗512送入储料箱510中，并通过下料口58送入盛放皿51中，方便原料的及时补充，避免填料频繁影响真空效果，待蒸镀的薄膜a安放在固定框515内，并将固定框放置在卡接槽514中，启动真空泵517将机箱1内腔中抽吸为真空状态，通过加热线圈52的涡流效应对盛放皿51中的原料进行加热，蒸发的原料对薄膜a进行蒸镀，保证蒸镀的质量，
通过冷却水管ii73和冷却水管i71对蒸镀的薄膜a进行冷却，保持薄膜a的温度，提高蒸镀材料的附着率与利用率，提高薄膜蒸镀的效率，通过电磁铁61拿取固定框515，并配合伸降气缸62方便固定框515的放置，避免进入机箱1内腔中对固定框515进行安装，提高了薄膜a的安放效率，通过密封门67对放料开口65进行密封，同时配合伸缩杆弹簧612进行缓冲，保证压紧效果的同时避免刚性碰撞影响部件的使用寿命，保证固定框515的位置固定，提高蒸镀的分布均匀性，保证蒸镀质量。
39.本实用新型的实施例公布的是较佳的实施例，但并不局限于此，本领域的普通技术人员，极易根据上述实施例，领会本实用新型的精神，并做出不同的引申和变化，但只要不脱离本实用新型的精神，都在本实用新型的保护范围内。