离子交换树脂包含交联树脂和与所述树脂的碳共价键合的盐，其中所述盐包含第一非金属阳离子和第一抗衡阴离子，其中所述第一抗衡阴离子包含第二非金属阳离子和硫代硫酸根抗衡阴离子，且其中所述离子交换树脂基本上不含金属。
所述离子交换树脂特别适用于从可用于制造半导体装置的溶液中除去杂质。

A·鲁金科 G·波勒尔斯

罗门哈斯电子材料有限责任公司

美国马萨诸塞州

离子交换树脂包含交联树脂和与所述树脂的碳共价键合的盐，其中所述盐包含第一非金属阳离子和第一抗衡阴离子，其中所述第一抗衡阴离子包含第二非金属阳离子和硫代硫酸根抗衡阴离子，且其中所述离子交换树脂基本上不含金属。
所述离子交换树脂特别适用于从可用于制造半导体装置的溶液中除去杂质。