涂敷装置具有：涂敷头，其具有填充有涂敷液的内部空间和与所述内部空间连续的吐出口；涂敷液供给部，其向所述涂敷头的所述内部空间提供所述涂敷液；涂敷液排出部，其具有与所述内部空间连接的排出流路，将所述内部空间的所述涂敷液经由所述排出流路排出；液体下滴检测部，其检测从所述吐出口下滴的所述涂敷液；以及控制部，所述控制部根据所述液体下滴检测部的输出而对所述涂敷液供给部和所述涂敷液排出部中的至少一方进行控制，由此形成所述涂敷液从所述吐出口下滴的液体下滴状态。

李鹏抟 中谷政次 前田贤司

日本电产株式会社

日本京都府京都市

涂敷装置具有：涂敷头，其具有填充有涂敷液的内部空间和与所述内部空间连续的吐出口；涂敷液供给部，其向所述涂敷头的所述内部空间提供所述涂敷液；涂敷液排出部，其具有与所述内部空间连接的排出流路，将所述内部空间的所述涂敷液经由所述排出流路排出；液体下滴检测部，其检测从所述吐出口下滴的所述涂敷液；以及控制部，所述控制部根据所述液体下滴检测部的输出而对所述涂敷液供给部和所述涂敷液排出部中的至少一方进行控制，由此形成所述涂敷液从所述吐出口下滴的液体下滴状态。