本申请涉及悬浮封闭孔阵列微纳加工领域，具体而言，涉及一种悬浮封闭孔阵列结构及其制备方法、应用以及制备装置。
该方法包括将多个呈阵列排布的导管伸入液态的树脂材料中并吹入气体或气体与粉末状固体颗粒物的混合物，使树脂材料中形成多个呈阵列排布的有填充介质的封闭孔，然后将树脂材料逐渐固化，使树脂材料内部具有封闭孔阵列。
该方法相对于现有技术中常规的物理/化学刻蚀方法等方法，极大地降低了工艺难度，并且不需要使用其他的试剂，不会造成二次污染。
该装置能够制备具有悬浮封闭孔阵列结构的材料，能实现规则有序、封闭孔阵列排列形状多样、孔径孔隙可控、封闭孔内气体气压和孔内介质可控、多层堆叠、工艺简单。

林胜钊 张家铭

香港中文大学(深圳)

518100 广东省深圳市龙岗区龙城街道龙翔大道2001号

本申请涉及悬浮封闭孔阵列微纳加工领域，具体而言，涉及一种悬浮封闭孔阵列结构及其制备方法、应用以及制备装置。
该方法包括将多个呈阵列排布的导管伸入液态的树脂材料中并吹入气体或气体与粉末状固体颗粒物的混合物，使树脂材料中形成多个呈阵列排布的有填充介质的封闭孔，然后将树脂材料逐渐固化，使树脂材料内部具有封闭孔阵列。
该方法相对于现有技术中常规的物理/化学刻蚀方法等方法，极大地降低了工艺难度，并且不需要使用其他的试剂，不会造成二次污染。
该装置能够制备具有悬浮封闭孔阵列结构的材料，能实现规则有序、封闭孔阵列排列形状多样、孔径孔隙可控、封闭孔内气体气压和孔内介质可控、多层堆叠、工艺简单。