本发明公开了一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法，所述装置包括高精度移动平台、盛有较高浓度盐溶液的大容器、载物支架平台、盛有较低浓度盐溶液的小容器、高透玻璃、橡胶垫圈、二维材料薄膜芯片、用于通过激光的透镜组、膜片钳电流放大器、电源及置于盐溶液中的Ag/AgCl电极。
本发明还提供了采用所述装置制备纳尺度薄膜孔的方法，该方法能够稳定地在固态薄膜靶材上制备纳尺度微孔，尤其适用于阵列纳米孔结构的制造。

沙菁? 张志诚 陈云飞 傅方舟 孙倩怡 司伟 章寅

东南大学

210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

本发明公开了一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法，所述装置包括高精度移动平台、盛有较高浓度盐溶液的大容器、载物支架平台、盛有较低浓度盐溶液的小容器、高透玻璃、橡胶垫圈、二维材料薄膜芯片、用于通过激光的透镜组、膜片钳电流放大器、电源及置于盐溶液中的Ag/AgCl电极。
本发明还提供了采用所述装置制备纳尺度薄膜孔的方法，该方法能够稳定地在固态薄膜靶材上制备纳尺度微孔，尤其适用于阵列纳米孔结构的制造。