本发明公开了一种基于二维材料制备三维结构的方法。
该方法先选取洁净的衬底,并在衬底上制备二维材料;利用光刻技术在步骤1中制备的二维材料上刻蚀图形;对衬底上的二维材料进行固定;利用二维材料转移的方法对二维材料进行局部拾取,之后使其部分脱离衬底,并进行拉伸或者压缩;将处理后的二维材料重新固定在衬底上,拾取臂释放处理后的二维材料,即得二维材料的三维结构的半成品;对半成品进行定形处理,最终得到成品。
本发明结合现有成熟的材料加工技术,形成各种复杂平面图形,且这些平面图形具有很好的灵活性适合用于制备不同的三维结构,成本低廉,方法简单,可大面积、大通量的制备,便于产业化,尤其适合用于制备微米尺寸的结构。
万能 赵小康 徐康 邵志勇
东南大学
210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
本发明公开了一种基于二维材料制备三维结构的方法。
该方法先选取洁净的衬底,并在衬底上制备二维材料;利用光刻技术在步骤1中制备的二维材料上刻蚀图形;对衬底上的二维材料进行固定;利用二维材料转移的方法对二维材料进行局部拾取,之后使其部分脱离衬底,并进行拉伸或者压缩;将处理后的二维材料重新固定在衬底上,拾取臂释放处理后的二维材料,即得二维材料的三维结构的半成品;对半成品进行定形处理,最终得到成品。
本发明结合现有成熟的材料加工技术,形成各种复杂平面图形,且这些平面图形具有很好的灵活性适合用于制备不同的三维结构,成本低廉,方法简单,可大面积、大通量的制备,便于产业化,尤其适合用于制备微米尺寸的结构。