一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法，制造工艺是在基底上制备一个网格凹槽的光刻胶模具，在光刻胶模具上刮涂碳纳米管及聚乙烯醇，加热定型制备出凹槽内有网格型结构的光刻胶模具；再将光刻胶模具置于可溶解光刻胶的溶液中，牺牲光刻胶模具获得无基底的网格型结构，在网格型结构上镀金，获得网格型传感结构；网格型传感结构的声波检测方法是先营造磁场环境，将网格型传感结构置于磁场环境中，磁场环境的磁感线方向与网格型传感结构网格方形的一条边接近平行，沿着不平行磁感线方向的网格型传感结构网格方形的另一条边引出导线形成闭合回路，获得感应电流信号；本发明制造工艺简单，能检测空气介质微弱声波传递。

陈小明 李颖杰 邵金友 田洪淼 李祥明 王春慧

西安交通大学

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法，制造工艺是在基底上制备一个网格凹槽的光刻胶模具，在光刻胶模具上刮涂碳纳米管及聚乙烯醇，加热定型制备出凹槽内有网格型结构的光刻胶模具；再将光刻胶模具置于可溶解光刻胶的溶液中，牺牲光刻胶模具获得无基底的网格型结构，在网格型结构上镀金，获得网格型传感结构；网格型传感结构的声波检测方法是先营造磁场环境，将网格型传感结构置于磁场环境中，磁场环境的磁感线方向与网格型传感结构网格方形的一条边接近平行，沿着不平行磁感线方向的网格型传感结构网格方形的另一条边引出导线形成闭合回路，获得感应电流信号；本发明制造工艺简单，能检测空气介质微弱声波传递。