本申请提供了一种微机电系统压力传感器，该微机电系统压力传感器包括第一电容，第一电容包括：相对设置的第一电极和第二电极，第一电极具有感测区域；过滤部，设置在感测区域的与空气连通的一侧。
通过在感测区域上设置过滤部能够提高微机电系统压力传感器的可靠性。

刘迪 李刚 胡维

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室

本申请提供了一种微机电系统压力传感器，该微机电系统压力传感器包括第一电容，第一电容包括：相对设置的第一电极和第二电极，第一电极具有感测区域；过滤部，设置在感测区域的与空气连通的一侧。
通过在感测区域上设置过滤部能够提高微机电系统压力传感器的可靠性。