本发明提供了一种陶瓷抛光用水基复合型抛光液及其制备方法，该抛光液以质量分数计，由以下组分组成：粒径为80～350nm的氧化铝6～21％、粒径为50～300nm的气相二氧化硅6～18％、分散剂0.9～4.5％、成膜剂0.04～1.8％、缓蚀剂0.08～0.4％、pH值调节剂1.4～3％，余量为水；所述分散剂选自磷酸三锌酯、蔗糖单硬脂酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、异噻唑啉酮、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚和烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或多种。
本发明提供的抛光液在上述含量的组分的协同作用下，使其抛光陶瓷晶片的表观良率和抛光速率均较高。
另外，该抛光液的稳定性强，悬浮性好。

周群飞 陆继果

蓝思科技（长沙）有限公司

410100 湖南省长沙市经济技术开发区漓湘路99号

本发明提供了一种陶瓷抛光用水基复合型抛光液及其制备方法，该抛光液以质量分数计，由以下组分组成：粒径为80～350nm的氧化铝6～21％、粒径为50～300nm的气相二氧化硅6～18％、分散剂0.9～4.5％、成膜剂0.04～1.8％、缓蚀剂0.08～0.4％、pH值调节剂1.4～3％，余量为水；所述分散剂选自磷酸三锌酯、蔗糖单硬脂酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、异噻唑啉酮、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚和烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或多种。
本发明提供的抛光液在上述含量的组分的协同作用下，使其抛光陶瓷晶片的表观良率和抛光速率均较高。
另外，该抛光液的稳定性强，悬浮性好。