本发明提供了一种碳化硅抛光液及其应用，属于碳化硅抛光液领域。
本发明提供了一种碳化硅抛光液，使用非水溶剂，利用非水溶剂代替水，避免了抛光液中各组分的反应活化能、配位性能和氧化还原电位等特性都受制于水性溶液的束缚的问题，本发明提供的碳化硅抛光液具有良好的金刚石悬浮性，能够提高抛光效率，且无挥发性问题，易于长期储存，是理想的半导体化合物晶圆制造亚纳米级光洁度的抛光液。

胡静泉 刘和欣

宁波日晟新材料有限公司

315410 浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村

本发明提供了一种碳化硅抛光液及其应用，属于碳化硅抛光液领域。
本发明提供了一种碳化硅抛光液，使用非水溶剂，利用非水溶剂代替水，避免了抛光液中各组分的反应活化能、配位性能和氧化还原电位等特性都受制于水性溶液的束缚的问题，本发明提供的碳化硅抛光液具有良好的金刚石悬浮性，能够提高抛光效率，且无挥发性问题，易于长期储存，是理想的半导体化合物晶圆制造亚纳米级光洁度的抛光液。