一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法。
一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火；步骤四，在所述氧化钒缓冲层上再次形成氧化钒薄膜。
上述方法制备过程简单，且容易控制，通过该制备方法所获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好、与聚酰亚胺结合紧密且不易脱落，为柔性氧化钒器件，例如氧化钒太赫兹探测器的制备奠定了基础。

鲁远甫 李锐 李光元 杨春雷 魏广路 佘荣斌

深圳先进技术研究院

518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号

一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法。
一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火；步骤四，在所述氧化钒缓冲层上再次形成氧化钒薄膜。
上述方法制备过程简单，且容易控制，通过该制备方法所获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好、与聚酰亚胺结合紧密且不易脱落，为柔性氧化钒器件，例如氧化钒太赫兹探测器的制备奠定了基础。