本发明公开了一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，属于镀膜机领域，一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，包括靶材，所述靶材的后侧表面固定安装有第一盖板，所述靶材的前侧表面固定安装有第二盖板，所述第二盖板的后侧表面中间位置固定安装有冷却管，所述冷却管的外表面后端设有连通孔，所述冷却管的外表面中间位置固定连接有磁铁环，所述冷却管的外表面两端均固定粘连有密封支撑板，所述密封支撑板的外表面滑动连接于靶材的内侧表面两端，所述密封支撑板的内部表面固定镶嵌有连接管，所述第二盖板的内部中心处固定连接有连接座，所述连接座的内部设有内管，这样能够大大提高使用的便利性和稳定性，保证安全高效。

张俊

贵州商学院

550014 贵州省贵阳市白云区麦架镇二十六大道1号

本发明公开了一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，属于镀膜机领域，一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，包括靶材，所述靶材的后侧表面固定安装有第一盖板，所述靶材的前侧表面固定安装有第二盖板，所述第二盖板的后侧表面中间位置固定安装有冷却管，所述冷却管的外表面后端设有连通孔，所述冷却管的外表面中间位置固定连接有磁铁环，所述冷却管的外表面两端均固定粘连有密封支撑板，所述密封支撑板的外表面滑动连接于靶材的内侧表面两端，所述密封支撑板的内部表面固定镶嵌有连接管，所述第二盖板的内部中心处固定连接有连接座，所述连接座的内部设有内管，这样能够大大提高使用的便利性和稳定性，保证安全高效。