本发明公开了一种磁控溅射镀膜机的旋转靶,属于镀膜机领域,一种磁控溅射镀膜机的旋转靶,包括靶材,所述靶材的后侧表面固定安装有第一盖板,所述靶材的前侧表面固定安装有第二盖板,所述第二盖板的后侧表面中间位置固定安装有冷却管,所述冷却管的外表面后端设有连通孔,所述冷却管的外表面中间位置固定连接有磁铁环,所述冷却管的外表面两端均固定粘连有密封支撑板,所述密封支撑板的外表面滑动连接于靶材的内侧表面两端,所述密封支撑板的内部表面固定镶嵌有连接管,所述第二盖板的内部中心处固定连接有连接座,所述连接座的内部设有内管,这样能够大大提高使用的便利性和稳定性,保证安全高效。
张俊
贵州商学院
550014 贵州省贵阳市白云区麦架镇二十六大道1号
本发明公开了一种磁控溅射镀膜机的旋转靶,属于镀膜机领域,一种磁控溅射镀膜机的旋转靶,包括靶材,所述靶材的后侧表面固定安装有第一盖板,所述靶材的前侧表面固定安装有第二盖板,所述第二盖板的后侧表面中间位置固定安装有冷却管,所述冷却管的外表面后端设有连通孔,所述冷却管的外表面中间位置固定连接有磁铁环,所述冷却管的外表面两端均固定粘连有密封支撑板,所述密封支撑板的外表面滑动连接于靶材的内侧表面两端,所述密封支撑板的内部表面固定镶嵌有连接管,所述第二盖板的内部中心处固定连接有连接座,所述连接座的内部设有内管,这样能够大大提高使用的便利性和稳定性,保证安全高效。