本发明提供一种传输装置、传输方法和张网装置。
其中，所述传输装置用于输送掩模版，所述掩模版装载在托盘中。
所述传输装置包括版库单元、传输单元、检测单元和预补偿单元。
所述版库单元用于提供托盘，所述传输单元用于将所述托盘从所述版库单元取出，并将所述托盘中的掩模版传输到所述预补偿单元，所述检测单元用于检测并获取所述掩模版在Rz方向上的偏移量，所述预补偿单元用于根据所述掩模版在Rz方向上的偏移量调整所述掩模版的位置以对所述掩模版在Rz方向上的偏移量进行补偿。
本发明中的传输装置、传输方法和张网装置可对所述掩模版在Rz方向上的偏移量进行补偿，可提高掩模版在Rz方向上位置准确度，改善张网精度。

吴福龙 黄元昊

上海微电子装备(集团)股份有限公司

201203 上海市浦东新区张东路1525号

本发明提供一种传输装置、传输方法和张网装置。
其中，所述传输装置用于输送掩模版，所述掩模版装载在托盘中。
所述传输装置包括版库单元、传输单元、检测单元和预补偿单元。
所述版库单元用于提供托盘，所述传输单元用于将所述托盘从所述版库单元取出，并将所述托盘中的掩模版传输到所述预补偿单元，所述检测单元用于检测并获取所述掩模版在Rz方向上的偏移量，所述预补偿单元用于根据所述掩模版在Rz方向上的偏移量调整所述掩模版的位置以对所述掩模版在Rz方向上的偏移量进行补偿。
本发明中的传输装置、传输方法和张网装置可对所述掩模版在Rz方向上的偏移量进行补偿，可提高掩模版在Rz方向上位置准确度，改善张网精度。