本发明提供蚀刻组合物以及利用其的蚀刻方法,本发明的蚀刻组合物包含过氧化氢、助氧化剂、防腐蚀剂和双氧水稳定剂,上述助氧化剂为选自银、铁、铜、镍、锰和铈中的一种以上的离子或者包含这些离子的有机或无机化合物,上述双氧水稳定剂为脂肪族环酮化合物、内酯化合物或它们的混合物。
朴相承 金益儁 金世训
易案爱富科技有限公司
韩国京畿道
本发明提供蚀刻组合物以及利用其的蚀刻方法,本发明的蚀刻组合物包含过氧化氢、助氧化剂、防腐蚀剂和双氧水稳定剂,上述助氧化剂为选自银、铁、铜、镍、锰和铈中的一种以上的离子或者包含这些离子的有机或无机化合物,上述双氧水稳定剂为脂肪族环酮化合物、内酯化合物或它们的混合物。