本发明公开了一种用于单晶硅生长炉的坩埚装置，包括石墨主体，所述石墨主体外侧壁设置有若干个环形安装槽，环形安装槽内固定有安装架，安装架上安装有电磁感应加热器；环形安装槽底部设置有若干个卡槽，安装架包括导热基板，导热基板底面固定有与卡槽一一对应的卡销，电磁感应加热器通过第一螺栓固定在导热基板顶面；石墨主体内侧壁设置有若干个第一凹槽，第一凹槽均匀分布在环形安装槽的上边缘和下边缘。
本发明能够改进现有技术的不足，便于电磁感应加热器的拆装，保证了坩埚内温度场的精确控制。

陈亚雄 许颖 关绍辉

深圳市全普科技有限公司

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本发明公开了一种用于单晶硅生长炉的坩埚装置，包括石墨主体，所述石墨主体外侧壁设置有若干个环形安装槽，环形安装槽内固定有安装架，安装架上安装有电磁感应加热器；环形安装槽底部设置有若干个卡槽，安装架包括导热基板，导热基板底面固定有与卡槽一一对应的卡销，电磁感应加热器通过第一螺栓固定在导热基板顶面；石墨主体内侧壁设置有若干个第一凹槽，第一凹槽均匀分布在环形安装槽的上边缘和下边缘。
本发明能够改进现有技术的不足，便于电磁感应加热器的拆装，保证了坩埚内温度场的精确控制。