1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种防止偏移的真空镀膜机用水平输送装置。
背景技术：
2.真空镀膜机是一种在真空环境中通过蒸发、磁控溅射、分子束外延等方式将靶材沉积在基片上的镀膜设备，该技术镀膜特点是膜层致密、厚度均匀。而若要到达上述功能效果，对温度以及真空度有着较高要求的同时还需要确保取送料过程产品不会发生偏转，而现有的真空镀膜机大多为单腔室结构，这种结构在取送料过程中，无法保证产品在镀膜过程中不会发生偏转，进而无法保证镀膜效率。
技术实现要素：
3.本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种防止偏移的真空镀膜机用水平输送装置，解决了现有技术中存在的真空镀膜机输送产品镀膜时，产品发生偏转进而影响产品镀膜效率的问题。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是，一种防止偏移的真空镀膜机用水平输送装置，包括底板和输送板，所述输送板位于底板的上方，所述底板一端两侧对称设有第一支撑座和第二支撑座分别支撑输送板一端的两侧，所述输送板的横切面为倒u型，且倒u型结构的两侧设有滑动凸条，所述第一支撑座和第二支撑座上均设有导向轴承组，所述导向轴承组构成滑槽与输送板的两侧设有的滑动凸条相适配；所述底板上设有凹槽，所述输送板的另一端固接有轴承支撑板，所述轴承支撑板底端设有第二导向轴承，所述第二导向轴承与凹槽相适配，第二导向轴承在底板上凹槽内做往复移动，所述输送板的下方设置有转轴，所述的输送板的底部固接有齿条，所述转轴上固定设置有与所述齿条相啮合的齿轮，所述转轴依次连接行星减速机和伺服电机，通过伺服电机驱动，转轴带动齿轮齿条从而带动输送板往复移动。
5.优选的，所述第一支撑座和第二支撑座上分别设有第一轴承座和第二轴承座，所述转轴的两端分别与第一轴承座和第二轴承座转动连接。
6.优选的，所述底板上设置有减速机安装板，所述减速机安装板位于所述第一支撑座或第二支撑座的一侧，所述行星减速机和伺服电机安装于减速机安装板上。
7.优选的，所述第一支撑座和第二支撑座分别通过第一支撑板和第二支撑板与底板固定。
8.优选的，所述导向轴承组上下各设置四个导向轴承。
9.优选的，所述输送板远离所述第一支撑座和第二支撑座一端的滑动凸条上固定有相对称的缓冲固定块，所述缓冲固定块与支撑座之间设有聚氨酯缓冲块。
10.优选的，所述输送板表面前端设置有凹槽，所述输送板表面另一端采用镂空结构，能够使得承载基片的治具限制在凹槽内。
11.优选的，所述轴承支撑板上设置有腰型孔，便于调节第二导向轴承与底板上凹槽的距离。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、本实用新型通过伺服电机驱动转轴带动齿轮与齿条机构动作，输送板在对称分布的导向轴承组间移动，并带动承载着一定数量基片进入反应腔，输送板侧翼与上下成对分布的导向轴承紧密接触构成滑动连接，限制输送板在的偏移，保障了输送的稳定性；
14.2、本实用新型通过轴承支撑板安装的导向轴承在底板凹槽内滚动，可以承受一部分输送板和治具的重力，防止输送板发生偏移，从而保障了镀膜效率。
附图说明
15.图1为本实施例一整体立体结构示意图；
16.图2为图1所示结构的侧视图；
17.图3为图1所示支撑座组件的立体结构示意图；
18.图4为图1所示输送板的立体结构示意图。
19.图中：1、底板；2、第一支撑板；3、第一支撑座；4、第一轴承座；5、导向轴承组；6、第一导向轴承；7、输送板；8、第二支撑座；9、转轴；10、联轴器；11、减速机安装板；12、行星减速机；13、伺服电机；14、轴承支撑板；15、第二导向轴承；16、缓冲固定块；17、聚氨酯缓冲块；18、第二轴承座；19、压盖；20、第二支撑板；21、齿条；22、齿轮。
具体实施方式
20.下面将结合附图和实施例，对本实用新型做进一步说明。
21.请参阅图1-4，本实施例包括底板1、设置在所述底板1上的第一支撑座3、第二支撑座8和减速机安装板11，所述第一支撑座3和第二支撑座8分别通过第一支撑板2和第二支撑板20对称设置在底板1的一端，第一支撑座3和第二支撑座8上设置有相对应的第一轴承座4和第二轴承座18，第一轴承座4和第二轴承座18通过螺钉与压盖19固定连接，所述减速机安装板11固定设置在第一支撑座3或第二支撑座8的一侧，其中，减速机安装板11位于所述第一支撑座3或第二支撑座8的一侧固定设置有行星减速机12和伺服电机13，所述行星减速机12与伺服电机13安装于同一端，减速机安装11朝向第一支撑座3或第二支撑座8的侧面上固定设置有转轴9，所述转轴9的一端穿过减速机安装板11与行星减速机12固定连接，且转轴9的两端分别与第一轴承座4和第二轴承座18转动连接，转轴9通过联轴器10与行星减速机12的输出轴连接；第一支撑座3和第二支撑座8之间设置有输送板7，所述输送板7朝向底板1方向的一面中部设置有齿条21，转轴9上固定设置有与所述齿条21相啮合的齿轮22，且输送板7另一端固定设置有竖直轴承支撑板14，轴承支撑板14底面前端连接有第二导向轴承15；底板1上设置有供第二导向轴承15在底板1上做往复移动横向凹槽。
22.所述底板1上开设有凹槽，且第二导向轴承15与底板1构成嵌套连接，能够使得第二导向轴承15被限制在凹槽中滚动，防止输送板7发生偏移，所述第一支撑座3和第二支撑座8均设有导向轴承组5，所述导向轴承组5上下各四个导向轴承，优选的，所述导向轴承组5中八个导向轴承，其中上面四个导向轴承中的两个相邻的导向轴承与下面四个导向轴承中的两个相邻的导向轴承平行对应，并且第一导向轴承6对称分布在第一支撑座3和第二支撑
座8的侧翼，使得输送板7卡在上下左右对称的十六个导向轴承之间，能够均匀的承受输送板7的重量并限制其上下位置，并且对称分布的第一导向轴承6能够限制输送板7在移动过程中朝着侧向偏移。
23.输送板7前端设置有凹槽，并且后端采用镂空结构，能够使得承载基片的治具限制在凹槽内，并且在节省材料的同时使得输送板7的强度更高，所述轴承支撑板14上设置有腰型孔，便于调节第二导向轴承15与底板1上凹槽的距离，同时输送板7侧边对称固定有缓冲固定块16，所述缓冲固定块16与聚氨酯缓冲块17连接，从而提高了输送板7稳定性。
24.将承载基片的治具放置在输送板7上后，伺服电机13开始转动，通过行星减速机12将扭矩传递给转轴9，带动齿轮22和齿条21啮合传动，输送板7在对称分布的导向轴承组5形成的滑槽内运动，同时对称分布的导向轴承组5承受输送板7以及基片的重量和弯矩，并且第一导向轴承6也与输送板7贴合连接，限制输送板7偏离移动方向，使得基片向指定位置移动而不发生偏移，同时输送板7后端连接的轴承支撑板14下端固定的第二导向轴承15在底板1上的凹槽内滚动，一定程度上起到了防止输送板7发生偏移的作用，并且当输送板7退回时，第二导向轴承15起到承受输送板7重量的作用，使得整个输送和退回的过程平稳而顺畅，当到达指定位置时，输送板7两侧固定的聚氨酯缓冲块17与第一支撑座3发生碰撞，从而起到缓冲作用，进而进一步稳定了输送板7，保障了输送过程的平稳。
25.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型技术方案进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行同等替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神与范围。