一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统
技术领域
1.本发明属于cvd涂层液体原料罐技术领域，具体为一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统。
背景技术：
2.cvd是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法，尤其是薄膜形成方法，化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行，所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜，可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能，这通过排气管路来实现。但是目前压力保持系统存在一些问题：
3.1、液体原料罐内的压力需要操作人员不断巡检监测机械压力表，增加了操作人员的工作量；
4.2、液体原料罐内的压力需要操作人员人为判断压力值是否低于要求值，存在误判的可能；
5.3、当液体原料罐内的压力低于要求值时，需要操作人员人为打开氮气针型阀门给液体原料罐内冲压，同时操作人员不能离开现场，必须时时刻刻监测压力值，当压力值达到要求后，再手动关闭氮气针型阀门，在此操作过程中，操作人员有时会在打开氮气针型阀门给液体原料罐内冲压的过程中，经常会因为有别的突发事情而忘记监控液体原料罐内的压力值，造成液罐内压力值远远超过压力要求值，超过机械压力表的量程，造成压力表损坏。若操作人员未能及时发现，液体原料罐内的压力还将不断再增加，可能会造成液体原料罐相连的阀门和连接处因为过压而泄漏，损坏和脱落，造成液体原料泄漏，造成人员和设备的双重安全事故。因此，需要设计一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统。
技术实现要素：
6.本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统，解决了背景技术中提到的问题。
7.为了解决上述问题，本发明提供了一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统技术方案：
8.一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统，包括液体原料罐，所述液体原料罐上设置有自动补压口，所述自动补压口上设置有手动补压口，所述液体原料罐上设置有测压口，所述液体原料罐上设置有泄压口，所述液体原料罐上设置有主动排空口，所述液体原料罐上设置有抽空口，所述液体原料罐上设置有液体加注口。
9.作为优选，所述手动补压口的管路上设置有单向阀一，所述手动补压口的管路上设置有针型阀。
10.作为优选，所述自动补压口的管路上设置有单向阀二，所述自动补压口的管路上设置有截止阀。
11.作为优选，所述自动补压口的管路上设置有流量计。
12.作为优选，所述测压口的管路上设置有压力传感器，所述测压口的管路上设置有机械压力表。
13.作为优选，所述泄压口的管路上设置有单向阀三，所述泄压口的管路上设置有安全阀。
14.作为优选，所述主动排空口的管路上设置有单向阀四，所述主动排空口的管路上设置有排空阀。
15.作为优选，所述液体原料罐上设置有液体流出口。
16.本发明的有益效果是：本发明涉及一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统，具有减少工人工作量与保证设备安全特点，在具体的使用中，与传统的用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统相比较而言，本用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统具有以下有益效果：
17.1、本系统在原有的机械压力表的基础上安装有压力传感器，当液体原料罐内的压力小于或高于要求压力值后，会自动触发报警，提醒现场操作人员干预。减少了操作人员的工作量。
18.2、本系统采用高精度的压力传感器，监测数值准确可靠。
19.3、本系统实现在压力值低压要求值后，自动打开相关阀门为液体原料罐补充压力，当补充到一定的符合要求的压力值后，自动关闭相关阀门。整个过程无需人工干涉。大大减少了操作人员的工作量，同时能够时时刻刻确保液体原料罐内的压力值，从而保证液体原料的流量稳定，保证涂层的质量稳定和连续性。也避免了液体原料罐内的压力值过大损坏机械压力表，另外也避免了液体原料罐相连的阀门和连接处因为过压而泄漏，保证了人员和设备的安全。
20.4、本系统安装有排空阀，当液体原料罐内的压力值确实超过要求值后，排空阀会自动打开泄压，当压力值达到要求后，排空阀关闭。
21.5、本系统安装有应急方案，当压力传感器或排空阀发生故障时，机械安全阀自动打开泄压，保证了本系统的安全可靠
22.6、本系统带有自动和手动两种补压方式，给操作人员提供了多种选择方案，提高了工作效率，同时更加人性化。
附图说明：
23.为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
24.图1为本发明的整体系统示意图。
25.图中：1、液体原料罐；2、液体流出口；3、手动补压口；4、单向阀一；5、针型阀；6、自动补压口；7、流量计；8、截止阀；9、单向阀二；10、测压口；11、压力传感器；12、机械压力表；13、泄压口；14、单向阀三；15、安全阀；16、主动排空口；17、单向阀四；18、排空阀；19、抽空口；20、液体加注口。
具体实施方式：
26.如图1所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
27.实施例：
28.一种用于cvd涂层液体原料罐自动压力保持系统，包括液体原料罐1，所述液体原料罐1上设置有自动补压口6，所述自动补压口6上设置有手动补压口 3，所述液体原料罐1上设置有测压口 10，所述液体原料罐1上设置有泄压口 13，所述液体原料罐1上设置有主动排空口 16，所述液体原料罐1上设置有抽空口19，所述液体原料罐1上设置有液体加注口20。
29.其中，所述手动补压口3的管路上设置有单向阀一4，所述手动补压口3的管路上设置有针型阀5，单向阀一4可以避免手动补压口3回流。
30.其中，所述自动补压口6的管路上设置有单向阀二9，所述自动补压口6的管路上设置有截止阀8，截止阀8可以对自动补压口6进行阻断。
31.其中，所述自动补压口6的管路上设置有流量计7，流量计7可以对监控注入流量。
32.其中，所述测压口10的管路上设置有压力传感器11，所述测压口10的管路上设置有机械压力表12，机械压力表12可以显示数值。
33.其中，所述泄压口13的管路上设置有单向阀三14，所述泄压口13的管路上设置有安全阀15，泄压口13可以对液体原料罐1泄压。
34.其中，所述主动排空口16的管路上设置有单向阀四17，所述主动排空口16的管路上设置有排空阀18，单向阀四17可以避免回流。
35.其中，所述液体原料罐1上设置有液体流出口2，液体流出口2可以将液体原料罐1排出。
36.本发明的使用状态为：液体加注口20用于液体原料的加注，液体流出口2用于液体流出到使用端口，为了使液体流量更加稳定和连续，液体原料罐1中除了存放液体原料外，还需要冲注一定的氮气到液体原料罐1内，让液体原料罐1内形成一定正压，抽空口19用于某些情况下，将液体原料罐1内的氮气抽走，或者把液体原料罐1内抽成负压，压力传感器11和机械压力表12用于测量液体原料罐1内的压力，随着液体原料的消耗，液体原料罐1内的压力值会下降，当液体原料罐1内的压力值小于要求值后，压力传感器11监测到后，自动补压口6自动开启，连接在自动补压口6上的流量计7，截止阀8也会自动开启，向罐内冲注氮气，当压力传感器11监测到压力值达到要求值后，系统会自动关闭自动补压口6。当压力传感器11发生意外故障造成液体原料罐1压力超过要求值的一定范围后，主动排空口16的单向阀四17和排空阀18会自动打开，同时系统发出报警提醒操作人员干涉。
37.当主动排空口16的单向阀四17和排空阀18失效后，泄压口13的机械式安全阀15会打开泄压，确保液体原料罐1内的压力值处于安全的范围之内。
38.在自动补压口6的流量计7，截止阀8失效时，操作员还可通过手动补压口3进行补压，即打开针型阀5，让外部氮气进入罐内补充压力。
39.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。