1.本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种半导体用高纯度石英管。


背景技术：

2.扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，扩散炉用石英管设置在扩散炉的腔体内，并通过加热扩散炉来升温，其中石英管的一端设置有多个分别用于通入多种高纯气体的进气口，石英管的另一端设置有用于排出多余气体的排气口。
3.目前，扩散炉内的石英管一般纯度要求较高，其一端用于进气，另一端用于出气，但是在实际的使用过程中，由于通入的气体密度不同，常会发生气体分层现象，气体混合均匀性较差，导致后续与硅片接触时形成差异，影响制备效果，因此，提出一种半导体用高纯度石英管。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中由于通入的气体密度不同，常会发生气体分层现象，气体混合均匀性较差，导致后续与硅片接触时形成差异，影响制备效果的问题，而提出的一种半导体用高纯度石英管。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种半导体用高纯度石英管，包括外管及内管，所述外管的右端开设有圆孔并通过圆孔与内管的外管壁活动连接，所述外管的管壁右侧固定连接有多个进气管，所述外管的内管壁固定连接有两组对称设置的弧形导流块，且两组弧形导流块均相互错开设置，所述内管的左端固定连接有通气管，所述内管的右端固定连接有出气管，所述外管连接有安装机构并通过安装机构与内管连接。
7.优选的，所述安装机构包括安装环、多个安装螺杆及锁紧环，所述安装环位于内管的外侧套设，且安装环固定设置在外管的右端，所述锁紧环位于内管的外管壁右端固定套接，多个所述安装螺杆均位于安装环的右侧壁固定设置，所述锁紧环的侧壁开设有多个与安装螺杆相匹配的安装孔，每个所述安装螺杆的杆壁右端均螺纹连接有锁紧螺母。
8.优选的，所述安装环的右侧壁固定连接有密封垫圈。
9.优选的，所述通气管的内径由左至右依次递减设置。
10.优选的，所述外管的外管壁固定套接有多个方形块，每个所述进气管远离外管的一端均依次贯穿多个方形块的侧壁设置。
11.优选的，所述内管的左端固定连接有多个插接杆，所述外管的左内侧壁固定连接有多个与插接杆相匹配的圆套。
12.优选的，所述外管的外管壁右端固定套接有环形管，所述环形管的内管壁固定连接有多个进水管，每个所述进水管远离环形管的一端均贯穿外管的管壁设置，所述环形管的管壁右侧固定连接有通水管。
13.优选的，所述出气管的管壁下侧固定连接有排水管。
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体用高纯度石英管，具备以下有益效果：
15.1、该半导体用高纯度石英管，通过设有的外管、内管、多个进气管、两组弧形导流块、通气管及出气管的相互配合，可以作为半导体生产用，通过使不同气体提前混合，可以大大提高不同密度的气体的混合均匀性，防止出现分层现象，提高后续与硅片接触扩散制备效果。
16.2、该半导体用高纯度石英管，通过设有的安装机构，可以便于外管与内管拆装，通过设有的密封垫圈，可以确保外管与内管之间的密封性，通过设有的环形管、多个进水管、通水管及排水管的相互配合，可以便于对外管及内管进行清洗，提高清理的便捷性。
17.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型可以大大提高不同密度的气体的混合均匀性，防止出现气体分层现象，同时可以便于对管内进行清洗，提高清理的便捷性。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种半导体用高纯度石英管的结构示意图；
19.图2为图1中a部分的结构放大图；
20.图3为图1中弧形导流块的形状示意图。
21.图中：1外管、2内管、3进气管、4弧形导流块、5通气管、6出气管、7安装环、8安装螺杆、9锁紧环、10锁紧螺母、11密封垫圈、12方形块、13插接杆、14圆套、15环形管、16进水管、17通水管、18排水管。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
23.实施例1参照图1-3所示，一种半导体用高纯度石英管，包括外管1及内管2，外管1的右端开设有圆孔并通过圆孔与内管2的外管壁活动连接，外管1的管壁右侧固定连接有多个进气管3，外管1的内管壁固定连接有两组对称设置的弧形导流块4，且两组弧形导流块4均相互错开设置，内管2的左端固定连接有通气管5，内管2的右端固定连接有出气管6，外管1连接有安装机构并通过安装机构与内管2连接，外管1及内管2均为高纯度的石英管，且多个进气管3、多个弧形导流块4、通气管5及出气管6均为高纯度石英材料制成，此均为现有技术，未作过多赘述；
24.安装机构包括安装环7、多个安装螺杆8及锁紧环9，安装环7位于内管2的外侧套设，且安装环7固定设置在外管1的右端，锁紧环9位于内管2的外管壁右端固定套接，多个安装螺杆8均位于安装环7的右侧壁固定设置，锁紧环9的侧壁开设有多个与安装螺杆8相匹配的安装孔，每个安装螺杆8的杆壁右端均螺纹连接有锁紧螺母10，可以便于外管1与内管2拆装，以便于检修更换；
25.安装环7的右侧壁固定连接有密封垫圈11，可以确保外管1与内管2之间的密封性；
26.通气管5的内径由左至右依次递减设置，可以辅助气体混合，避免其在进入内管2
后发生分层现象；
27.外管1的外管壁固定套接有多个方形块12，每个进气管3远离外管1的一端均依次贯穿多个方形块12的侧壁设置，可以增加对多个进气管3的支撑稳定性，并且在未安装时，可以提高整体放置的稳定性；
28.内管2的左端固定连接有多个插接杆13，外管1的左内侧壁固定连接有多个与插接杆13相匹配的圆套14，可以增加外管1对内管2左端的支撑力，提高内管2安装后的稳定性。
29.实施例2在实施例1的基础上如图1-3所示，外管1的外管壁右端固定套接有环形管15，环形管15的内管壁固定连接有多个进水管16，每个进水管16远离环形管15的一端均贯穿外管1的管壁设置，环形管15的管壁右侧固定连接有通水管17，通过通水管17进水，并通过环形管15及多个进水管16可以向外管1内部投入清洗剂，从而可以对外管1及内管2内进行清洗；
30.出气管6的管壁下侧固定连接有排水管18，可以及时将清洗的废液导出。
31.本实用新型中，使用时，不同的气体通过对应的进气管3进入外管1内部，首先，由于多个进气管3设置在外管1管壁上，其管口相对，气体进入后会发生碰撞混合，然后在通过两组弧形导流块4的导流，一方面可以延长气体通过外管1的时间，提高混合的充分性，另一方面可以使气体发生碰撞分散，使其混合的更加均匀，混合后的气体通过通气管5进入内管2，最后多余的气体通过出气管6排出。
32.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。