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一种节能环保的新型退火炉的制作方法

时间:2022-02-10 阅读: 作者:专利查询

一种节能环保的新型退火炉的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域,具体为一种节能环保的新型退火炉。


背景技术:

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.但现有的退火炉内部保温性不佳,容易造成大量热能的浪费,影响后期实际加工和生产。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种节能环保的新型退火炉,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种节能环保的新型退火炉,包括退火炉本体、第二固定件和外壳,所述退火炉本体的外表面底端安装有面板,所述退火炉本体的内壁固定安装有第一盘管和第二盘管,所述退火炉本体的外表面后端安装有机箱,且机箱的侧端面设置有转轴,所述转轴背离机箱的一端固定安装有隔板,且隔板内开设有导向槽,所述隔板的前端面安装有第一固定件,且隔板的后端面安装有液压杆,所述第二固定件的后端面焊接有连接架,所述退火炉本体的外表面安装有外壳,且外壳的顶端面嵌入固定有连接管。
6.优选的,所述面板的底端面焊接有支撑架,且支撑架的底端面固定安装有底座。
7.优选的,所述退火炉本体的内壁固定安装有第一限位板,且退火炉本体退火炉本体的内壁安装有第二限位板。
8.优选的,所述连接架滑动套接在导向槽,且连接架固定安装在进气管上。
9.优选的,所述连接管内安装有风机,且外壳内安装有滤网和电热丝。
10.优选的,所述外壳的底端面嵌入固定有进气管,且外壳通过进气管与第一盘管和第二盘管气体连通。
11.优选的,所述第一盘管和第二盘管上嵌入固定有出气管,且第一盘管和第二盘管通过出气管与连接管气体连通。
12.与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
13.1、本实用新型通过设置隔板,操作人员在对工件进行加工时,人员将工件放置在隔板内,且工件处于第一固定件和第二固定件的内壁,放置后人员打开液压杆推动第二固定件左右移动,第二固定件移动时对工件进行夹持和限位,使人员可根据工件的实际大小进行夹持和限位,并且在进行退火时,人员可外接电源打开动力装置带动隔板进行转动,隔板转动时使工件受热更加均匀,使实用性更高,后期操作更加便捷。
14.2、本实用新型通过设置退火炉本体,人员在对工件进行退火时,人员外接电源打开风机和电热丝,风机启动时带动气体进入外壳内通过电热丝进行加热,加热后供入第一盘管和第二盘管内,气体在第一盘管和第二盘管内进行流通时使退火炉本体内的热量更加均匀的发散,且第一盘管和第二盘管的气体通过出气管回流到连接管内再次进行使用,使实用性更高,热量可更好的再次进行利用,使实用性更高,加工更加便捷。
附图说明
15.图1为本实用新型的主视结构示意图;
16.图2为本实用新型的主视内部结构示意图;
17.图3为本实用新型的侧视结构示意图;
18.图4为本实用新型的第二固定件侧视结构示意图。
19.图中:1、支撑架;2、底座;3、第一盘管;4、面板;5、第二盘管;6、退火炉本体;7、第一限位板;8、第二限位板;9、第一固定件;10、隔板;11、导向槽;12、液压杆;13、第二固定件;14、机箱;15、转轴;16、出气管;17、风机;18、连接管;19、滤网;20、电热丝;21、外壳;22、进气管;23、连接架。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
21.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
22.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.请参阅图1至图4,本实用新型提供的一种实施例:一种节能环保的新型退火炉,包括退火炉本体6、第二固定件13和外壳21,退火炉本体6的外表面底端安装有面板4,面板4的底端面焊接有支撑架1,且支撑架1的底端面固定安装有底座2,退火炉本体6的内壁固定安装有第一限位板7,且退火炉本体6退火炉本体6的内壁安装有第二限位板8,退火炉本体6的内壁固定安装有第一盘管3和第二盘管5,退火炉本体6的外表面后端安装有机箱14,且机箱14的侧端面设置有转轴15,转轴15背离机箱14的一端固定安装有隔板10,且隔板10内开设有导向槽11,转轴15需要提供动力装置以使得其正常工作,并且正如本领域技术人员所熟知的,机箱14内安装有动力装置,所述动力的提供司空见惯,其均属于常规手段或者公知常
识,在此就不再赘述,本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配。动力装置带动转轴15发生转动。
24.隔板10的前端面安装有第一固定件9,且隔板10的后端面安装有液压杆12,第二固定件13的后端面焊接有连接架23,连接架23滑动套接在导向槽11,且连接架23固定安装在进气管22上,通过设置隔板10,操作人员在对工件进行加工时,人员将工件放置在隔板10内,且工件处于第一固定件9和第二固定件13的内壁,放置后人员打开液压杆12推动第二固定件13左右移动,第二固定件13移动时对工件进行夹持和限位,使人员可根据工件的实际大小进行夹持和限位,并且在进行退火时,人员可外接电源打开动力装置带动隔板10进行转动,隔板10转动时使工件受热更加均匀,使实用性更高,后期操作更加便捷。
25.退火炉本体6的外表面安装有外壳21,且外壳21的顶端面嵌入固定有连接管18,外壳21的底端面嵌入固定有进气管22,且外壳21通过进气管22与第一盘管3和第二盘管5气体连通,第一盘管3和第二盘管5上嵌入固定有出气管16,且第一盘管3和第二盘管5通过出气管16与连接管18气体连通,连接管18内安装有风机17,且外壳21内安装有滤网19和电热丝20,通过设置退火炉本体6,人员在对工件进行退火时,人员外接电源打开风机17和电热丝20,风机17启动时带动气体进入外壳21内通过电热丝20进行加热,加热后供入第一盘管3和第二盘管5内,气体在第一盘管3和第二盘管5内进行流通时使退火炉本体6内的热量更加均匀的发散,且第一盘管3和第二盘管5的气体通过出气管16回流到连接管18内再次进行使用,使实用性更高,热量可更好的再次进行利用,使实用性更高,加工更加便捷。
26.工作原理:操作人员在对工件进行加工时,人员将工件放置在隔板10内,且工件处于第一固定件9和第二固定件13的内壁,放置后人员打开液压杆12推动第二固定件13左右移动,第二固定件13移动时对工件进行夹持和限位,使人员可根据工件的实际大小进行夹持和限位,并且在进行退火时,人员可外接电源打开动力装置带动隔板10进行转动,隔板10转动时使工件受热更加均匀。人员在对工件进行退火时,人员外接电源打开风机17和电热丝20,风机17启动时带动气体进入外壳21内通过电热丝20进行加热,加热后供入第一盘管3和第二盘管5内,气体在第一盘管3和第二盘管5内进行流通时使退火炉本体6内的热量更加均匀的发散,且第一盘管3和第二盘管5的气体通过出气管16回流到连接管18内再次进行使用。
27.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。