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一种硅芯定位夹持装置的制作方法

时间:2022-02-10 阅读: 作者:专利查询

一种硅芯定位夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅技术领域,具体是一种硅芯定位夹持装置。


背景技术:

2.在还原炉的生产过程中,现在一般采用单一的石墨材质夹头作为硅芯与电极的连接件,单一的石墨夹头连接可以具有较低的接触电阻,较好的连接稳定性,但是,随着还原炉硅芯的逐渐变大,硅料在石墨头上会形成硅料沉积,而硅料的沉积不管是用化学方法还是物理方法都难以剥离,会对石墨夹头产生一定的损害,难以再次利用。
3.因此,本领域技术人员提供了一种硅芯定位夹持装置,以解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种硅芯定位夹持装置,当转动螺纹筒的时候,可以使夹板滑动连接在夹持设备主体的内部,从而可以调节两个夹板之间的距离,对硅芯进行脱离,随着还原炉硅芯的逐渐变大,使夹板在夹持的过程中,还能适应硅芯的生长,加强了适应性,增强了实用性。
5.本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
6.一种硅芯定位夹持装置,包括夹持设备主体,夹持设备主体的内部设置有夹板,夹持设备主体的底部设置有底座,所述夹持设备主体的外表面安装有调节装置;
7.所述调节装置包括滑板,滑板的内部安装有夹持组件,夹持设备主体的外表面转动连接有螺纹筒,夹持设备主体的内部滑动连接有方块,夹持设备主体的内部设置有滑槽。
8.作为本实用新型再进一步的方案:所述滑板的外表面滑动连接在滑槽的内部,便于对硅芯进行夹持。
9.作为本实用新型再进一步的方案:所述滑板为梯形,当方块向上滑动的时候,可以抵靠在滑板的外表面。
10.作为本实用新型再进一步的方案:所述夹持组件包括长槽,长槽的内部滑动连接有调节板,调节板的侧面中心处设置有弹性块,调节板的表面两端均固接有活塞,滑板的表面两端均设置有空腔,能够对硅芯进行夹持。
11.作为本实用新型再进一步的方案:所述活塞的外表面滑动连接在空腔的内部,通过空腔内部的压强使调节板可以滑动连接在长槽的内部。
12.作为本实用新型再进一步的方案:所述夹持设备主体的外表面设置有螺纹,转动螺纹筒的时候,可以上下移动。
13.作为本实用新型再进一步的方案:所述方块的形状为方形,当螺纹筒转动的时候,方块不会转动。
14.作为本实用新型再进一步的方案:所述夹板的形状为弧形,便于对硅芯进行夹持。
15.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
16.1、通过安装调节装置,可以快速对硅芯进行脱离,并且可以对不同规格的硅芯进行夹持,当转动螺纹筒的时候,可以使夹板滑动连接在夹持设备主体的内部,从而可以调节两个夹板之间的距离,对硅芯进行脱离。
17.2、通过安装夹持组件,可以快速对硅芯进行夹持,随着还原炉硅芯的逐渐变大,使夹板在夹持的过程中,还能适应硅芯的生长,加强了适应性,增强了实用性。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构示意图;
19.图2为本实用新型中调节装置的结构示意图;
20.图3为图2中a处的放大图。
21.图中:1、夹持设备主体;2、夹板;3、底座;4、调节装置;41、夹持组件;42、滑槽;43、滑板;44、方块;45、螺纹筒;411、活塞;412、空腔;413、弹性块;414、长槽;415、调节板。
具体实施方式
22.实施例1
23.如图1所示,一种硅芯定位夹持装置,包括夹持设备主体1,夹持设备主体1的外表面设置有螺纹,夹持设备主体1的内部设置有夹板2,夹板2的形状为弧形,夹持设备主体1的底部设置有底座3,夹持设备主体1的外表面安装有调节装置4。
24.如图2所示,调节装置4包括滑板43,滑板43为梯形,滑板43的外表面滑动连接在滑槽42的内部,滑板43的内部安装有夹持组件41,夹持设备主体1的外表面转动连接有螺纹筒45,夹持设备主体1的内部滑动连接有方块44,方块44的形状为方形,夹持设备主体1的内部设置有滑槽42。
25.如图3所示,夹持组件41包括长槽414,长槽414的内部滑动连接有调节板415,调节板415的侧面中心处设置有弹性块413,调节板415的表面两端均固接有活塞411,滑板43的表面两端均设置有空腔412,活塞411的外表面滑动连接在空腔412的内部。
26.本实用新型的工作原理是:使用前,先通过转动螺纹筒45,使螺纹筒45带动方块44向上滑动,此时方块44的顶端抵靠在滑板43的外表面,并且带动滑板43向右滑动,通过安装调节装置4,可以快速对硅芯进行脱离,并且可以对不同规格的硅芯进行夹持,当转动螺纹筒45的时候,可以使夹板2滑动连接在夹持设备主体1的内部,从而可以调节两个夹板2之间的距离,对硅芯进行脱离,夹持硅芯的时候,将硅芯置入夹持设备主体1的内部中心处,放置在两个夹板2之间,通过空腔412内部的压力,和弹性块413的弹性,使夹板2的表面紧紧抵靠在硅芯的表面,当硅芯在反应生长时,由于硅芯变大,使夹板2往夹持设备主体1的内壁滑动,此时活塞411在空腔412的内部向左滑动,弹性块413也会被挤压,当反应完成后需要对硅芯进行剥离时,通过转动螺纹筒45,使滑板43向左滑动,此时夹板2对硅芯夹持的力会减小,通过安装夹持组件41,可以快速对硅芯进行夹持,随着还原炉硅芯的逐渐变大,使夹板2在夹持的过程中,还能适应硅芯的生长,加强了适应性,增强了实用性。
27.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或
示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
28.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。


技术特征:
1.一种硅芯定位夹持装置,包括夹持设备主体(1),夹持设备主体(1)的内部设置有夹板(2),夹持设备主体(1)的底部设置有底座(3),其特征在于,所述夹持设备主体(1)的外表面安装有调节装置(4);所述调节装置(4)包括滑板(43),滑板(43)的内部安装有夹持组件(41),夹持设备主体(1)的外表面转动连接有螺纹筒(45),夹持设备主体(1)的内部滑动连接有方块(44),夹持设备主体(1)的内部设置有滑槽(42)。2.根据权利要求1所述的一种硅芯定位夹持装置,其特征在于,所述滑板(43)的外表面滑动连接在滑槽(42)的内部。3.根据权利要求1所述的一种硅芯定位夹持装置,其特征在于,所述滑板(43)为梯形。4.根据权利要求1所述的一种硅芯定位夹持装置,其特征在于,所述夹持组件(41)包括长槽(414),长槽(414)的内部滑动连接有调节板(415),调节板(415)的侧面中心处设置有弹性块(413),调节板(415)的表面两端均固接有活塞(411),滑板(43)的表面两端均设置有空腔(412)。5.根据权利要求4所述的一种硅芯定位夹持装置,其特征在于,所述活塞(411)的外表面滑动连接在空腔(412)的内部。6.根据权利要求1所述的一种硅芯定位夹持装置,其特征在于,所述夹持设备主体(1)的外表面设置有螺纹。7.根据权利要求1所述的一种硅芯定位夹持装置,其特征在于,所述方块(44)的形状为方形。8.根据权利要求1所述的一种硅芯定位夹持装置,其特征在于,所述夹板(2)的形状为弧形。

技术总结
本实用新型涉及多晶硅技术领域,公开了一种硅芯定位夹持装置,夹持设备主体的内部设置有夹板,所述夹持设备主体的外表面安装有调节装置,所述调节装置包括滑板,滑板的内部安装有夹持组件,夹持设备主体的外表面转动连接有螺纹筒,夹持设备主体的内部滑动连接有方块,夹持设备主体的内部设置有滑槽,通过安装调节装置,可以快速对硅芯进行脱离,并且可以对不同规格的硅芯进行夹持,当转动螺纹筒的时候,可以使夹板滑动连接在夹持设备主体的内部,从而可以调节两个夹板之间的距离,对硅芯进行脱离,通过安装夹持组件,可以快速对硅芯进行夹持,随着还原炉硅芯的逐渐变大,使夹板在夹持的过程中,还能适应硅芯的生长,加强了适应性。加强了适应性。加强了适应性。


技术研发人员:管威 聂先合 王海龙
受保护的技术使用者:苏州晶淼半导体设备有限公司
技术研发日:2021.08.30
技术公布日:2022/2/7