1.本实用新型涉及镀膜版生产的技术领域，具体涉及一种镀膜机镀膜版架暂存装置。
背景技术：
2.近年来，我国在半导体制造领域取得了极大的发展，在生产技术方面的要求也在不断的提高。
3.众所周知，在芯片制造过程中，镀膜工艺是至关重要的一环，而磁控溅射镀膜工艺成为了主要的镀膜技术之一。磁控溅射镀膜工艺是将靶材放置于阴极，然后通过气体与电子碰撞出正离子并碰撞靶材，由于溅射的原子具备能量，因此最终会发生溅射，而沉积在基材表面形成一层膜层，以上过程则被称之为磁控溅射。
4.磁控溅射是需要在玻璃基材上沉积的，而玻璃基材放需要放置在镀膜版架上进入镀膜腔室内完成溅射，因此镀膜版架会直接影响镀膜版的质量稳定及其性能。因此，需要对镀膜版架进行特殊储存、保养和维护。
5.目前，大部分的镀膜版架散落于规定区域，并没有进行分类放置，极易造成该版架变形，污染问题。
6.因此，亟需一种镀膜机镀膜版架暂存装置来解决上述问题。
技术实现要素：
7.本项实用新型是针对现在的技术不足，提供一种镀膜机镀膜版架暂存装置。
8.本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：
9.一种镀膜机镀膜版架暂存装置，包括外框架以及与该外框架呈可转动连接的隔离立柱和承重滑轮柱，所述隔离立柱至少有三个，所述隔离立柱沿竖直方向布置，相邻两个所述隔离立柱之间呈间隔地布置并形成有用于放置镀膜版的隔离空间，所述承重滑轮柱至少有两个，所述承重滑轮柱沿水平方向布置，且所述承重滑轮柱设置于所述隔离空间内。
10.作进一步改进，所述外框架包括支撑架以及固定柱，所述支撑架有两个，两个所述支撑架呈相对立地布置，所述固定柱有若干个，所述固定柱安装于两个所述支撑架之间并连接两个所述支撑架，所述承重滑轮柱安装于两个所述支撑架之间，所述隔离立柱安装于所述固定柱上。
11.作进一步改进，所述固定柱与所述承重滑轮柱呈相互平行地布置。
12.作进一步改进，每个所述固定柱上安装有至少一个所述隔离立柱。
13.作进一步改进，所述外框架还包括挡板，所述挡板沿竖直方向布置，所述挡板位于两个所述支撑架之间并连接两个所述支撑架，所述挡板位于所述隔离空间的前方或者后方被并与所述隔离立柱间隔有一定距离。
14.作进一步改进，所述支撑架包括沿竖直方向布置的竖直杆以及沿水平方向布置的水平杆，所述竖直杆有两个，两个所述竖直杆呈间隔且相对立地布置，两个所述竖直杆之间
通过所述水平杆实现连接，所述水平杆有两个，两个所述水平杆之间呈间隔地布置。
15.作进一步改进，两个所述水平杆中位于上方的一者固定于所述竖直杆的顶部，两个所述水平杆中位于下方的一者距离所述竖直杆的底部有一定距离并安装有所述隔离立柱。
16.作进一步改进，所述挡板固定于所述竖直杆上。
17.作进一步改进，所述固定柱为角铁。
18.作进一步改进，所述支撑架为角铁支撑架。
19.本实用新型的有益效果：本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置，包括外框架以及与该外框架呈可转动连接的隔离立柱和承重滑轮柱，隔离立柱至少有三个，隔离立柱沿竖直方向布置，相邻两个隔离立柱之间呈间隔地布置并形成有用于放置镀膜版的隔离空间，承重滑轮柱至少有两个，承重滑轮柱沿水平方向布置，且承重滑轮柱设置于隔离空间内。故本实用新型在实际使用时，可以将同一型号的镀膜版架放置于同一隔离空间内，由于隔离空间的两侧为可转动的隔离立柱以及隔离空间的底部为可转动的承重滑轮柱，因此便于将镀膜版架的根据需要进行搬出或者放入，不但保证了镀膜版架的洁净程度，而且还可以保证镀膜品的质量稳定性。
20.下面结合附图与具体实施方式，对本实用新型进一步说明。
附图说明
21.图1为本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置的立体结构示意图；
22.图2为本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置的正视图；
23.图3为本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置的侧视图；
24.图4为本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置的俯视图。
具体实施方式
25.以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本发明的保护范围。
26.请参考图1至图4，本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置100，包括外框架10以及与该外框架10呈可转动连接的隔离立柱20和承重滑轮柱30，隔离立柱20至少有三个，隔离立柱20沿竖直方向布置，相邻两个隔离立柱20之间呈间隔地布置并形成有用于放置镀膜版的隔离空间100a，承重滑轮柱30至少有两个，承重滑轮柱30沿水平方向布置，且承重滑轮柱30设置于隔离空间100a内。
27.请继续参考图1至图4，外框架10包括支撑架11以及固定柱12，支撑架11有两个，两个支撑架11呈相对立地布置，固定柱12有若干个，固定柱12安装于两个支撑架11之间并连接两个支撑架11，承重滑轮柱30安装于两个支撑架11之间，隔离立柱20安装于固定柱12上。具体地，固定柱12与承重滑轮柱30呈相互平行地布置，且每个固定柱12上安装有至少一个隔离立柱20，以便于可以根据需要将镀膜版于隔离空间100a内移动。
28.请继续参考图1至图4，外框架10还包括挡板13，挡板13沿竖直方向布置，挡板13位于两个支撑架11之间并连接两个支撑架11，挡板13位于隔离空间100a的前方或者后方被并与隔离立柱20间隔有一定距离，即是说，在最前方或者最后方的固定柱12上并不设置有隔离立柱20，而是安装有挡板13，但不限于此。举例而言，挡板13固定于竖直杆上。
29.请继续参考图1至图4，支撑架11包括沿竖直方向布置的竖直杆111以及沿水平方向布置的水平杆112，竖直杆111有两个，两个竖直杆111呈间隔且相对立地布置，两个竖直杆111之间通过水平杆112实现连接，水平杆112有两个，两个水平杆112之间呈间隔地布置。较优的是，两个水平杆112中位于上方的一者固定于竖直杆111的顶部，两个水平杆112中位于下方的一者距离竖直杆111的底部有一定距离并安装有隔离立柱20；因此当镀膜版被放置于隔离空间100a内部时，镀膜版的底部距离地面仍有一定高度，因此可以有效地防止镀膜版被污染损坏。
30.值得注意的是，在本实施例中，支撑架11为角铁支撑架11，即是说竖直杆111以及水平杆112均为角铁；与此同时，固定柱12也为角铁，因此可以有效地降低制造生产成本以及保证了本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置100的结构稳定性。当然，在其它实施例中，支撑架11和固定柱12还可以是其它本领域的技术人员所熟悉的结构，例如，可以为平板状连接件或者为圆筒状连接件，故不限于此。
31.本实用新型的有益效果：本实用新型的镀膜机镀膜版架暂存装置100，包括外框架10以及与该外框架10呈可转动连接的隔离立柱20和承重滑轮柱30，隔离立柱20至少有三个，隔离立柱20沿竖直方向布置，相邻两个隔离立柱20之间呈间隔地布置并形成有用于放置镀膜版的隔离空间100a，承重滑轮柱30至少有两个，承重滑轮柱30沿水平方向布置，且承重滑轮柱30设置于隔离空间100a内。故本实用新型在实际使用时，可以将同一型号的镀膜版架放置于同一隔离空间100a内，由于隔离空间100a的两侧为可转动的隔离立柱20以及隔离空间100a的底部为可转动的承重滑轮柱30，因此便于将镀膜版架的根据需要进行搬出或者放入，不但保证了镀膜版架的洁净程度，而且还可以保证镀膜品的质量稳定性。
32.本实用新型并不限于上述实施方式，采用与本实用新型上述实施例相同或近似结构或装置，而得到的其他用于镀膜机镀膜版架暂存装置，均在本实用新型的保护范围之内。