1.本发明涉及镀膜设备技术领域，特别涉及一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机。


背景技术：

2.真空磁控溅射镀膜方式作为真空镀膜领域一种重要的方式，具有非常广泛的应用范围，镀膜基材包括金属、玻璃、陶瓷、塑料薄膜等，根据工艺条件，可制备多种薄膜，例如：光学薄膜、装饰薄膜、保护膜、电磁屏蔽薄膜等功能性薄膜，由于溅射器所涉及设备体量较大，移动不便，容易造成镀膜厚度不均匀。


技术实现要素：

3.本发明的主要目的在于提供一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
5.一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机壳体，所述磁控溅射镀膜机壳体内设有螺纹柱，所述螺纹柱的顶端与磁控溅射镀膜机壳体的顶部内壁通过轴承连接，所述螺纹柱的外部套设有螺纹环，所述螺纹环与螺纹柱的连接方式为螺纹连接，所述螺纹柱的外部套设有连接环，所述连接环位于螺纹环的下方，所述连接环上设有若干第一连接板，所述第一连接板的一端与连接环固定连接，所述第一连接板的另一端固定连接有第一u形夹板，所述第一u形夹板的下方设有第二u形夹板，所述第二u形夹板与螺纹柱通过连接架连接，所述第一u形夹板和第二u形夹板之间设有加工件，所述第一连接板和螺纹柱通过拉扯机构连接，所述连接环和螺纹环通过定位机构连接，所述螺纹柱的底部固定连接有固定盘，所述固定盘和磁控溅射镀膜机壳体通过旋转驱动组件连接。
6.优选的，所述旋转驱动组件包括设置于固定盘底部的定位盘，所述定位盘的下方设有驱动电机，所述驱动电机的输出端设有驱动轴，所述驱动轴的顶部与定位盘的底部固定连接，所述驱动电机的底部固定连接有电机座，所述电机座和磁控溅射镀膜机壳体通过若干螺栓连接，所述驱动轴的外部套设有第一活动环，所述第一活动环的顶部固定连接有两个定位板，所述第一活动环和定位盘通过若干第一拉伸弹簧连接，所述定位盘的顶部开设有两个第一通孔，所述固定盘的顶部开设有两个定位孔。
7.优选的，所述定位板贯穿第一通孔，且所述定位板的顶端位于定位孔内。
8.优选的，所述拉扯机构包括套设于螺纹柱外部的固定环，所述固定环位于螺纹环的上方，所述固定环与螺纹柱固定连接，所述第一连接板的上方设有第一定位柱，所述第一定位柱贯穿第一连接板，所述第一定位柱的顶端与固定环的底部固定连接，所述第一定位柱的外部套设有第二拉伸弹簧，且所述第二拉伸弹簧的两端分别与第一连接板和固定环连接。
9.优选的，所述定位机构包括套设于螺纹柱外部的第二活动环，所述第二活动环位于连接环的下方，所述第二活动环的顶部固定连接有两个第二定位柱，所述连接环的顶部
开设有两个第二通孔，所述螺纹环的底部开设有若干限位槽，所述第二活动环的顶部与连接环的底部通过两个第三拉伸弹簧连接，且所述第三拉伸弹簧套设于第二定位柱的外部。
10.优选的，所述第二定位柱贯穿第二通孔，且所述第二定位柱的顶端位于相对应的一个限位槽内，所述螺纹环上设有两个把手。
11.优选的，其中一个所述第一连接板的底部开设有滑槽，所述滑槽内设有滑块，所述滑块的底部固定连接有第二连接板，所述第二连接板的一侧固定连接有挡板。
12.优选的，所述滑槽和滑块的横截面均为t形结构。
13.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
14.1、通过设置的螺纹柱、轴承、螺纹环、连接环、第一连接板、第一u形夹板、第二u形夹板、加工件、连接架和拉扯机构，通过驱动螺纹环转动，使得螺纹环驱动连接环下移，且第二拉伸弹簧处于拉伸状态，进而连接环驱动第一连接板和第一u形夹板下移，使得加工件被夹持在第一u形夹板和第二u形夹板之间，便于对多个加工件进行固定，同时减少加工件的夹持面积，便于进行散热降温；
15.2、通过设置的螺纹环、连接环和定位机构，驱动螺纹环转动前，驱动第二活动环下移，使得第二定位柱的顶端脱离限位槽，解除螺纹环和连接环之间的固定关系，第三拉伸弹簧处于拉伸状态，进而可以转动螺纹环，当螺纹环转动结束后，松开第二活动环，进而第三拉伸弹簧驱动第二活动环上移，使得第二定位柱上移，进而使得第二定位柱插入相对应的限位槽内，使得螺纹环和连接环固定，避免螺纹环相对螺纹柱转动，进而减少螺纹环因非人为因素转动的可能，通过设置的把手，便于驱动螺纹环转动；
16.3、通过设置的第一连接板、滑槽、滑块、第二连接板和挡板，当第二活动环相对连接环下移时，通过驱动第二连接板和挡板移动，使得挡板移动至第二活动环的顶部，进而通过挡板限位第二活动环的位置，避免第三拉伸弹簧驱动第二活动环上移，不需要一直拉着第二活动环，方便实际操作；
17.4、通过设置的螺纹柱、固定盘和旋转驱动组件，启动驱动电机，进而驱动轴驱动定位盘转动，通过固定盘驱动螺纹柱转动，进而可以改变加工件的位置，不需要溅射器移动，能够有效避免发生镀膜不均匀的问题，生产效率更高，通过驱动螺栓转动，使得螺栓脱离磁控溅射镀膜机壳体和电机座，解除对驱动电机底端的固定，通过驱动第一活动环下移，使得定位板的顶端脱离定位孔，解除对定位盘位置的限定，进而驱动定位盘和驱动电机移动，使得定位盘不再位于固定盘的底部，即可完成驱动电机的拆除，便于后期的更换检修。
附图说明
18.图1为本发明的磁控溅射镀膜机壳体内部结构示意图；
19.图2为本发明的定位机构结构示意图；
20.图3为本发明的拉扯机构结构示意图；
21.图4为本发明的旋转驱动组件结构示意图；
22.图5为本发明的滑块结构示意图；
23.图6为本发明的螺纹环结构示意图。
24.图中：1、磁控溅射镀膜机壳体；2、螺纹柱；3、轴承；4、螺纹环；5、连接环；6、第一连接板；7、第一u形夹板；8、第二u形夹板；9、加工件；10、连接架；11、固定盘；12、定位盘；13、驱
动电机；14、驱动轴；15、电机座；16、螺栓；17、第一活动环；18、定位板；19、第一通孔；20、定位孔；21、第一拉伸弹簧；22、第一定位柱；23、第二拉伸弹簧；24、固定环；25、第二活动环；26、第二定位柱；27、第二通孔；28、限位槽；29、第三拉伸弹簧；30、把手；31、滑槽；32、滑块；33、第二连接板；34、挡板。
具体实施方式
25.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
26.如图1-6所示，一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机壳体1，磁控溅射镀膜机壳体1内设有螺纹柱2，螺纹柱2的顶端与磁控溅射镀膜机壳体1的顶部内壁通过轴承3连接，螺纹柱2的外部套设有螺纹环4，螺纹环4与螺纹柱2的连接方式为螺纹连接，螺纹柱2的外部套设有连接环5，连接环5位于螺纹环4的下方，连接环5上设有若干第一连接板6，第一连接板6的一端与连接环5固定连接，第一连接板6的另一端固定连接有第一u形夹板7，第一u形夹板7的下方设有第二u形夹板8，第二u形夹板8与螺纹柱2通过连接架10连接，第一u形夹板7和第二u形夹板8之间设有加工件9，第一连接板6和螺纹柱2通过拉扯机构连接，连接环5和螺纹环4通过定位机构连接，螺纹柱2的底部固定连接有固定盘11，固定盘11和磁控溅射镀膜机壳体1通过旋转驱动组件连接；
27.在本实施例中，旋转驱动组件包括设置于固定盘11底部的定位盘12，定位盘12的下方设有驱动电机13，驱动电机13的输出端设有驱动轴14，驱动轴14的顶部与定位盘12的底部固定连接，驱动电机13的底部固定连接有电机座15，电机座15和磁控溅射镀膜机壳体1通过若干螺栓16连接，驱动轴14的外部套设有第一活动环17，第一活动环17的顶部固定连接有两个定位板18，第一活动环17和定位盘12通过若干第一拉伸弹簧21连接，定位盘12的顶部开设有两个第一通孔19，固定盘11的顶部开设有两个定位孔20。
28.在本实施例中，定位板18贯穿第一通孔19，且定位板18的顶端位于定位孔20内。
29.在本实施例中，拉扯机构包括套设于螺纹柱2外部的固定环24，固定环24位于螺纹环4的上方，固定环24与螺纹柱2固定连接，第一连接板6的上方设有第一定位柱22，第一定位柱22贯穿第一连接板6，第一定位柱22的顶端与固定环24的底部固定连接，第一定位柱22的外部套设有第二拉伸弹簧23，且第二拉伸弹簧23的两端分别与第一连接板6和固定环24连接，通过驱动螺纹环4转动，使得螺纹环4驱动连接环5下移，且第二拉伸弹簧23处于拉伸状态，进而连接环5驱动第一连接板6和第一u形夹板7下移，使得加工件9被夹持在第一u形夹板7和第二u形夹板8之间，便于对多个加工件9进行固定，同时减少加工件9的夹持面积，便于进行散热降温。
30.在本实施例中，定位机构包括套设于螺纹柱2外部的第二活动环25，第二活动环25位于连接环5的下方，第二活动环25的顶部固定连接有两个第二定位柱26，连接环5的顶部开设有两个第二通孔27，螺纹环4的底部开设有若干限位槽28，第二活动环25的顶部与连接环5的底部通过两个第三拉伸弹簧29连接，且第三拉伸弹簧29套设于第二定位柱26的外部，第二定位柱26贯穿第二通孔27，且第二定位柱26的顶端位于相对应的一个限位槽28内，螺纹环4上设有两个把手30，驱动螺纹环4转动前，驱动第二活动环25下移，使得第二定位柱26的顶端脱离限位槽28，解除螺纹环4和连接环5之间的固定关系，第三拉伸弹簧29处于拉伸
状态，进而可以转动螺纹环4，当螺纹环4转动结束后，松开第二活动环25，进而第三拉伸弹簧29驱动第二活动环25上移，使得第二定位柱26上移，进而使得第二定位柱26插入相对应的限位槽28内，使得螺纹环4和连接环5固定，避免螺纹环4相对螺纹柱2转动，进而减少螺纹环4因非人为因素转动的可能，通过设置的把手30，便于驱动螺纹环4转动。
31.在本实施例中，其中一个第一连接板6的底部开设有滑槽31，滑槽31内设有滑块32，滑块32的底部固定连接有第二连接板33，第二连接板33的一侧固定连接有挡板34，滑槽31和滑块32的横截面均为t形结构，当第二活动环25相对连接环5下移时，通过驱动第二连接板33和挡板34移动，使得挡板34移动至第二活动环25的顶部，进而通过挡板34限位第二活动环25的位置，避免第三拉伸弹簧29驱动第二活动环25上移，不需要一直拉着第二活动环25，方便实际操作。
32.需要说明的是，本发明为一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，在使用时，通过驱动螺纹环4转动，使得螺纹环4驱动连接环5下移，且第二拉伸弹簧23处于拉伸状态，进而连接环5驱动第一连接板6和第一u形夹板7下移，使得加工件9被夹持在第一u形夹板7和第二u形夹板8之间，便于对多个加工件9进行固定，同时减少加工件9的夹持面积，便于进行散热降温，驱动螺纹环4转动前，驱动第二活动环25下移，使得第二定位柱26的顶端脱离限位槽28，解除螺纹环4和连接环5之间的固定关系，第三拉伸弹簧29处于拉伸状态，进而可以转动螺纹环4，当螺纹环4转动结束后，松开第二活动环25，进而第三拉伸弹簧29驱动第二活动环25上移，使得第二定位柱26上移，进而使得第二定位柱26插入相对应的限位槽28内，使得螺纹环4和连接环5固定，避免螺纹环4相对螺纹柱2转动，进而减少螺纹环4因非人为因素转动的可能，通过设置的把手30，便于驱动螺纹环4转动，当第二活动环25相对连接环5下移时，通过驱动第二连接板33和挡板34移动，使得挡板34移动至第二活动环25的顶部，进而通过挡板34限位第二活动环25的位置，避免第三拉伸弹簧29驱动第二活动环25上移，不需要一直拉着第二活动环25，方便实际操作，启动驱动电机13，进而驱动轴14驱动定位盘12转动，通过固定盘11驱动螺纹柱2转动，进而可以改变加工件9的位置，不需要溅射器移动，能够有效避免发生镀膜不均匀的问题，生产效率更高，通过驱动螺栓16转动，使得螺栓16脱离磁控溅射镀膜机壳体1和电机座15，解除对驱动电机13底端的固定，通过驱动第一活动环17下移，使得定位板18的顶端脱离定位孔20，解除对定位盘12位置的限定，进而驱动定位盘12和驱动电机13移动，使得定位盘12不再位于固定盘11的底部，即可完成驱动电机13的拆除，便于后期的更换检修。
33.本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。显然本发明不限于前述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的。以上仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围。