1.本实用新型涉及磁控溅射离子镀膜技术领域，具体为一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备。
背景技术：
2.磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
3.在磁控溅射离子镀膜的过程中，常需要使用到磁控溅射离子镀膜设备，现有的磁控溅射离子镀膜设备在使用过程中通常不便于对镀膜后的基材进行快速冷却，且通常无法对其镀膜厚度以及镀膜均匀度进行智能检测，可能会给使用者的使用造成一定的不便。
技术实现要素：
4.本实用新型的目的在于提供一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备，具备智能检测以及对镀膜后的基材进行快速的优点，解决了现有的磁控溅射离子镀膜设备在使用过程中通常不便于对镀膜后的基材进行快速冷却，且通常无法对其镀膜厚度以及镀膜均匀度进行智能检测，可能会给使用者的使用造成一定不便的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备，包括底板，所述底板顶部的左侧固定连接有控制箱，所述底板的顶部且位于控制箱的右侧固定连接有镀膜设备，所述底板顶部的右侧固定连接有输送箱，所述输送箱的正表面活动连接有箱门，所述箱门正表面右侧的顶部固定连接有控制器，所述输送箱右侧的底部贯穿设置有传送机构，所述输送箱内腔顶部的左侧固定连接有冷却箱，所述输送箱顶部的左侧贯穿安装有防尘滤网，所述冷却箱右侧的底部固定连接有制冷机组，所述制冷机组的输出端连通有制冷管，所述制冷管远离制冷机组的一侧贯穿至冷却箱的内腔并与冷却箱内腔右侧的顶部固定连接，所述冷却箱的底部固定连接有气泵，所述气泵的顶部与冷却箱的底部连通，所述气泵的底部连通有出气端，所述输送箱内腔顶部的中心处固定连接有壳体，所述壳体内腔的后侧固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的前侧贯穿至壳体的内腔并与壳体内腔的前侧活动连接，所述螺纹杆表面的前后两侧均活动套设有螺纹套，所述螺纹套的底部固定连接有电动伸缩杆，所述壳体的底部开设有与电动伸缩杆配合使用的限位孔，所述电动伸缩杆的底部穿过限位孔延伸至壳体的底部并固定连接有限位板，所述输送箱内腔顶部的右侧固定连接有红外收发传感器。
6.优选的，所述输送箱右侧的底部开设有与传送机构配合使用的通孔，所述底板的底部开设有防滑纹。
7.优选的，所述壳体的后侧且位于电机的外侧固定连接有保护罩，所述限位杆的表
面与限位孔内壁的连接处活动连接。
8.优选的，所述螺纹套的顶部固定连接有限位杆，所述壳体内腔的顶部开设有与限位杆配合使用的限位槽。
9.优选的，所述螺纹杆的表面与螺纹套内壁的连接处螺纹连接，所述螺纹杆的前侧与壳体内腔前侧的连接处通过轴承活动连接。
10.优选的，所述箱门靠近输送箱正表面的一侧与输送箱正表面的连接处通过铰链活动连接，所述箱门正表面右侧的底部贯穿安装有观察镜。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.1、本实用新型通过设置底板、镀膜设备、控制箱、输送箱、箱门、控制器、气泵、冷却箱、防尘滤网、制冷管、制冷机组、限位杆、螺纹套、红外收发传感器、电动伸缩杆、限位板、传送机构、限位孔、通孔、电机、螺纹杆、限位槽、出气端和壳体的配合使用，解决了现有的磁控溅射离子镀膜设备在使用过程中通常不便于对镀膜后的基材进行快速冷却，且通常无法对其镀膜厚度以及镀膜均匀度进行智能检测，可能会给使用者的使用造成一定不便的问题。
13.2、本实用新型通过设置防滑纹，能够增大底板与地面之间的摩擦力；
14.通过设置限位杆和限位槽，能够对螺纹套进行限位；
15.通过设置轴承，能够便于螺纹杆的安装和使用；
16.通过设置保护罩，能够对电机进行保护；
17.通过设置防尘滤网，能够避免外界灰尘等杂质进入冷却箱的内腔；
18.通过设置铰链，能够便于箱门和输送箱之间的连接；
19.通过设置观察镜，能够对输送箱的内腔进行观察。
附图说明
20.图1为本实用新型结构示意图；
21.图2为本实用新型局部结构的剖视示意图；
22.图3为本实用新型局部结构的左视剖视示意图。
23.图中：1底板、2镀膜设备、3控制箱、4输送箱、5箱门、6控制器、7气泵、8冷却箱、9防尘滤网、10制冷管、11制冷机组、12限位杆、13螺纹套、14红外收发传感器、15电动伸缩杆、16限位板、17传送机构、18限位孔、19通孔、20电机、21螺纹杆、22限位槽、23出气端、24壳体。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
26.在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.本实用新型中的底板1、镀膜设备2、控制箱3、输送箱4、箱门5、控制器6、气泵7、冷却箱8、防尘滤网9、制冷管10、制冷机组11、限位杆12、螺纹套13、红外收发传感器14、电动伸缩杆15、限位板16、传送机构17、限位孔18、通孔19、电机20、螺纹杆21、限位槽22、出气端23和壳体24等部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本领域技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
28.请参阅图1-3，一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备，包括底板1，底板1顶部的左侧固定连接有控制箱3，底板1的顶部且位于控制箱3的右侧固定连接有镀膜设备2，底板1顶部的右侧固定连接有输送箱4，输送箱4的正表面活动连接有箱门5，箱门5正表面右侧的顶部固定连接有控制器6，输送箱4右侧的底部贯穿设置有传送机构17，输送箱4内腔顶部的左侧固定连接有冷却箱8，输送箱4顶部的左侧贯穿安装有防尘滤网9，冷却箱8右侧的底部固定连接有制冷机组11，制冷机组11的输出端连通有制冷管10，制冷管10远离制冷机组11的一侧贯穿至冷却箱8的内腔并与冷却箱8内腔右侧的顶部固定连接，冷却箱8的底部固定连接有气泵7，气泵7的顶部与冷却箱8的底部连通，气泵7的底部连通有出气端23，输送箱4内腔顶部的中心处固定连接有壳体24，壳体24内腔的后侧固定连接有电机20，电机20的输出端固定连接有螺纹杆21，螺纹杆21的前侧贯穿至壳体24的内腔并与壳体24内腔的前侧活动连接，螺纹杆21表面的前后两侧均活动套设有螺纹套13，螺纹套13的底部固定连接有电动伸缩杆15，壳体24的底部开设有与电动伸缩杆15配合使用的限位孔18，电动伸缩杆15的底部穿过限位孔18延伸至壳体24的底部并固定连接有限位板16，输送箱4内腔顶部的右侧固定连接有红外收发传感器14。
29.输送箱4右侧的底部开设有与传送机构17配合使用的通孔19，底板1的底部开设有防滑纹。
30.壳体24的后侧且位于电机20的外侧固定连接有保护罩，限位杆12的表面与限位孔18内壁的连接处活动连接。
31.螺纹套13的顶部固定连接有限位杆12，壳体24内腔的顶部开设有与限位杆12配合使用的限位槽22。
32.螺纹杆21的表面与螺纹套13内壁的连接处螺纹连接，螺纹杆21的前侧与壳体24内腔前侧的连接处通过轴承活动连接。
33.箱门5靠近输送箱4正表面的一侧与输送箱4正表面的连接处通过铰链活动连接，箱门5正表面右侧的底部贯穿安装有观察镜。
34.通过设置防滑纹，能够增大底板1与地面之间的摩擦力；
35.通过设置限位杆12和限位槽22，能够对螺纹套13进行限位；
36.通过设置轴承，能够便于螺纹杆21的安装和使用；
37.通过设置保护罩，能够对电机20进行保护；
38.通过设置防尘滤网9，能够避免外界灰尘等杂质进入冷却箱8的内腔；
39.通过设置铰链，能够便于箱门5和输送箱4之间的连接；
40.通过设置观察镜，能够对输送箱4的内腔进行观察。
41.使用时，使用者先通过控制器6启动电机20和电动伸缩杆15，电机20的输出端通过螺纹杆21螺纹传动带动螺纹套13进行移动，螺纹套13通过和电动伸缩杆15配合对限位板16的位置进行调节，从而保证了基材输送的输送轨迹，然后通过控制器6启动制冷机组11和气泵7，气泵7将冷却箱8内腔的冷空气经出气端23送出，对基材进行快速冷却，当基材在制冷管10的传动作用下经过红外收发传感器14的底部时，红外收发传感器14通过发射和接受红外线来对基材表面镀膜的后侧和镀膜的均匀程度进行检测。
42.综上所述：该具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备，通过设置底板1、镀膜设备2、控制箱3、输送箱4、箱门5、控制器6、气泵7、冷却箱8、防尘滤网9、制冷管10、制冷机组11、螺纹套13、红外收发传感器14、电动伸缩杆15、传送机构17、限位孔18、通孔19、电机20、螺纹杆21、限位槽22、出气端23和壳体24的配合使用，解决了现有的磁控溅射离子镀膜设备在使用过程中通常不便于对镀膜后的基材进行快速冷却，且通常无法对其镀膜厚度以及镀膜均匀度进行智能检测，可能会给使用者的使用造成一定不便的问题。
43.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。