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一种掩膜板的制作方法

时间:2022-02-17 阅读: 作者:专利查询

一种掩膜板的制作方法

1.本实用新型实施例涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩膜板。


背景技术:

2.在oled(organic light emission display,有机电致发光二极管)显示产品的制造过程中,真空蒸镀用的精细金属掩膜板(fine metal mask,fmm)是至关重要的部件。掩膜板的成本和质量直接影响着生产制造的成本和产品质量。
3.精细金属掩膜板上通常包括多个掩膜条和多个遮挡条;掩膜条上具有多个开口,用于蒸镀发光层材料,在蒸镀基板上形成像素图形;遮挡条设置在相邻掩膜条之间的间隙正对的位置,同时对掩膜条起遮挡和支撑作用。在日常作业中,掩膜板上的遮挡条出现损伤,需要改变遮挡条的拉力大小或者需要对遮挡条材料更新时,须进行更换。但由于遮挡条在掩膜条下方,在对遮挡条进行重工(rework)时,会破坏两侧的掩膜条,增加掩膜条的消耗。


技术实现要素:

4.本实用新型实施例提供了一种掩膜板,以在需要对遮挡条进行重工时,减少对掩膜条的破坏,从而降低显示产品的制造成本。
5.本实用新型实施例提供了一种掩膜板。所述掩膜板包括:多个遮挡条;
6.所述遮挡条包括:遮挡区和位于所述遮挡区两端的焊接区;其中,所述焊接区的宽度小于所述遮挡区的宽度。
7.可选地,所述遮挡条的遮挡区的宽度为第一宽度;所述焊接区的宽度为第二宽度;所述第一宽度与所述第二宽度的差值大于或等于2毫米。
8.可选地,所述遮挡条为轴对称形状。
9.可选地,所述掩膜板还包括:框架和多个掩膜条;
10.所述掩膜条和所述遮挡条交替排列于所述框架上,所述掩膜条的两端焊接在所述框架上,所述遮挡条的两端焊接在所述框架上;
11.其中,在沿所述掩膜板的厚度方向上,所述遮挡条位于所述掩膜条和所述框架之间。
12.可选地,所述遮挡条的厚度大于所述掩膜条的厚度。
13.可选地,所述遮挡条覆盖相邻两条所述掩膜条之间的间隙。
14.可选地,相邻两条所述掩膜条之间的间隙为第一距离,所述遮挡条的遮挡区的宽度为第二距离,所述遮挡条的焊接区的宽度为第三距离;其中,所述第一距离小于所述第二距离,且所述第一距离大于所述第三距离。
15.可选地,所述遮挡条还包括连接区域,所述连接区域连接所述遮挡区和所述焊接区,所述连接区域的宽度逐渐减小。
16.可选地,所述掩膜板的框架包括内边框和外边框,所述连接区域位于所述内边框
和所述外边框之间;或者,部分所述连接区域位于所述内边框和所述外边框之间,另外部分所述连接区域位于所述内边框围合成的区域内。
17.可选地,所述掩膜板还包括:多个支撑条;
18.所述支撑条的两端焊接在所述框架上,所述支撑条与所述遮挡条垂直;
19.其中,在沿所述掩膜板的厚度方向上,所述支撑条位于所述框架和所述遮挡条之间;或者,所述支撑条位于所述遮挡条和所述掩膜条之间。
20.本实用新型实施例所提供的掩膜板中,设置有多个遮挡条,每个遮挡条为异形设计。遮挡条包括遮挡区和位于遮挡区两端的焊接区,其中,遮挡区的宽度较大、焊接区的宽度较小。这样,一方面,设置遮挡条的遮挡区的宽度较大,可以保证遮挡区在掩膜板上的垂直投影与掩膜条在掩膜板上的垂直投影存在交叠,使遮挡区可以对掩膜板上相邻两个掩膜条之间的非蒸镀区进行可靠的遮挡,以及对掩膜条起到支撑作用;从而保证遮挡条的遮挡和支撑效果。另一方面,遮挡条的焊接区焊接在框架上,掩膜条也焊接在框架上,设置焊接区的宽度较小可以保证焊接区在掩膜板上的垂直投影与掩膜条在掩膜板上的垂直投影无交叠。那么,在需要更换遮挡条时,对遮挡条的撕除和焊接操作都不会对掩膜条造成影响。也就是说,本实用新型实施例通过遮挡条的异形设计,既保留了遮挡条的遮挡和支撑功能,不影响正常张网;又减少了在需要对遮挡条进行重工时,对其上方的掩膜条的损伤。因此,与现有技术相比,本实用新型实施例可以在整体上减少对掩膜条的破坏,从而降低显示产品的制造成本。
附图说明
21.图1是现有技术中的一种掩膜板的结构示意图;
22.图2是本实用新型实施例提供的一种掩膜板的结构示意图;
23.图3是本实用新型实施例提供的一种沿图2中a-a’的剖面示意图;
24.图4是本实用新型实施例提供的一种遮挡条的结构示意图;
25.图5是本实用新型实施例提供的另一种遮挡条的结构示意图;
26.图6是本实用新型实施例提供的又一种遮挡条的结构示意图;
27.图7是本实用新型实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图;
28.图8是本实用新型实施例提供的一种沿图7中b-b’的剖面示意图。
具体实施方式
29.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
30.图1是现有技术中的一种掩膜板的结构示意图。参见图1,现有的掩膜板通常包括多条遮挡条1、多条掩膜条2和框架3;多条遮挡条1和多条掩膜条2均焊接在框架3上,并在框架3上交替排列。在掩膜板的张网制程中,通常是先在框架3上焊接遮挡条1等支撑遮挡材料;再在框架3上焊接掩膜条2。在实际生产过程中,在遮挡条1损坏修复,或者需要改变遮挡条拉力大小以改善掩膜板的ppa(开口位置精度),或者需要改变遮挡条1使用的材料(比如换成磁性材料)以改善掩膜板与显示基板的贴合度等情况下,需要对遮挡条1进行重工;也
就是说,需要将旧的遮挡条1从框架上去除,焊接新的遮挡条1于框架3上。
31.发明人经研究发现,现有的遮挡条1的形状均为矩形,由于遮挡条1需要对相邻掩膜条2的空隙进行遮挡,防止蒸镀材料覆盖在非像素图像的区域,因此遮挡条1的宽度要大于相邻两掩膜条2的空隙距离。那么,在更换遮挡条1时,需要先撕掉其上方的两条掩膜条2,撕掉的两条掩膜条2不能够再重复利用,造成掩膜条2的损失。且掩膜条2的成本较高,因此,现有技术中的掩膜板在对遮挡条1进行重工时的成本较高。
32.为了解决上述问题,本实用新型实施例提供了一种掩膜板。图2是本实用新型实施例提供的一种掩膜板的结构示意图。参见图2,该掩膜板包括:多个遮挡条10(图1中示例性地给出了三条遮挡条10)。
33.遮挡条10为异形遮挡条,遮挡条10包括:遮挡区110和位于遮挡区110两端的焊接区120。如图1所示,一条遮挡条10包括位于遮挡区110两端的两个焊接区120。其中,焊接区120的宽度小于遮挡区110的宽度。
34.继续参加图2,该掩膜板还包括:框架30和多个掩膜条20(图1中示例性地给出了四条掩膜条20)。图3是本实用新型实施例提供的一种沿图2中a-a’的剖面示意图。结合图2和图3,掩膜条20和遮挡条10交替排列于框架上,且掩膜条20和遮挡条10均沿同一方向延伸;掩膜条20的两端焊接在框架30上,遮挡条10的两端焊接在框架30上;在沿掩膜板的厚度方向上,遮挡条10位于掩膜条20和框架30之间。
35.其中,掩膜条20上具有多个开口(此处未示出),构成蒸镀区,用于蒸镀发光层材料,以在显示基板上形成像素图形;相邻两个掩膜条20之间的空隙构成非蒸镀区,需要由遮挡条10进行遮挡,以阻挡蒸镀材料形成在非蒸镀区。同时,遮挡条10还可以对掩膜条20形成支撑,减少掩膜条20的形变。示例性地,该掩膜板可以是精细金属掩膜板,可用于amoled(active-matrix organic light emitting diode,有源矩阵有机发光二极体)显示产品的制备。
36.本实用新型实施例所提供的掩膜板中,设置有多个遮挡条10,每个遮挡条10为异形设计。遮挡条10包括遮挡区110和位于遮挡区两端的焊接区120,其中,遮挡区110的宽度较大、焊接区120的宽度较小。这样,一方面,设置遮挡条10的遮挡区110宽度较大,可以保证遮挡区110在掩膜板上的垂直投影与掩膜条20在掩膜板上的垂直投影存在交叠,可以对掩膜板上相邻两个掩膜条20之间的非蒸镀区进行可靠的遮挡,以及对掩膜条20起到支撑作用;从而保证遮挡条10的遮挡和支撑效果。另一方面,遮挡条10的焊接区120焊接在框架30上,掩膜条20也焊接在框架30上,设置焊接区120的宽度较小可以保证焊接区120在掩膜板上的垂直投影与掩膜条20在掩膜板上的垂直投影无交叠。那么,在需要更换遮挡条10时,对遮挡条10的撕除和焊接操作都不会对掩膜条20造成影响。也就是说,本实用新型实施例通过遮挡条10的异形设计,既保留了遮挡条10的遮挡和支撑功能,不影响正常张网;又减少了在需要对遮挡条10进行重工时,对其上方的掩膜条20的损伤。因此,本实用新型实施例可以在整体上减少对掩膜条20的破坏,从而降低显示产品的制造成本。
37.继续参见图2,在上述各实施方式的基础上,可选地,遮挡条10的遮挡区110的宽度为第一宽度d1;焊接区120的宽度为第二宽度d2;相邻两条掩膜条20之间的间隙为第一距离l1。其中,第一距离l1小于第一宽度d1,且第一距离l1大于第二宽度d2;以保证遮挡区110可以对非蒸镀区进行有效的遮挡,同时,保证焊接区120的撕除和焊接操作均不会对上层的掩
膜条20产生影响。
38.继续参见图2,在上述各实施方式的基础上,可选地,第一宽度d1与第二宽度d2的差值大于或等于2毫米。以进一步保证遮挡区110可以对非蒸镀区进行有效的遮挡,以及保证对焊接区120的重工不会对上层的掩膜条20产生影响。
39.继续参见图3,在上述各实施方式的基础上,可选地,遮挡条10的厚度d3大于掩膜条20的厚度d4,以保证遮挡条10对掩膜条20的支撑作用,尽可能地减少掩膜条20的形变量,保证掩膜板的精度。
40.上面各实施例示例性地对掩膜板的结构进行了说明。在上述各实施例的基础上,可选地,遮挡条10的结构有多种,下面就其中的几种进行说明,但不作为对本实用新型的限定。
41.图4是本实用新型实施例提供的一种遮挡条的结构示意图。参见图4,在一种实施方式中,遮挡条10包括遮挡区110和位于遮挡区110两端的焊接区120。
42.其中,遮挡区110与焊接区120均为矩形;遮挡区110与焊接区120的边缘之间呈直角。这样,使得遮挡条10的结构简单,易于实现。
43.图5是本实用新型实施例提供的另一种遮挡条的结构示意图。参见图5,在一种实施方式中,可选地,遮挡条10还包括连接区域130,连接区域130连接遮挡区110和焊接区120,连接区域130的宽度逐渐减小。其中,遮挡条10包括位于遮挡区110两端的两个连接区域130;分别作为遮挡区110与两端的焊接区120的连接部分。
44.这样设置,通过连接区域130,使得遮挡条10的宽度由遮挡区110的宽度逐渐过渡到焊接区120的宽度,减小遮挡条10本身发生断裂的可能性。
45.图6是本实用新型实施例提供的又一种遮挡条的结构示意图。参见图6,本实施例中的遮挡条10与图5中的遮挡条10的结构相似,此处不再赘述。不同之处在于,本实施例中连接区域130的边缘为弧形。
46.上述各实施例给出了多种遮挡条10的可能结构,在实际应用中,可以根据需求进行选择。
47.需要说明的是,上述各实施方式中所给出的遮挡条10均为轴对称形状,但不作为对本实用新型的限定,在其他实施方式中,也可以设置遮挡条10为非对称形状。
48.在上述各实施方式的基础上,可选地,针对不同的遮挡条10的结构,遮挡条10覆盖相邻两条掩膜条20之间的间隙的方式有多种,下面就其中的几种进行说明,但不作为对本实用新型的限定。
49.继续参见图2,在一种实施方式中,可选地,遮挡条10中包含有连接区域130。掩膜板的框架30包括内边框310和外边框320,连接区域130位于内边框310和外边框320之间。这样,保证遮挡区110的长度大于框架30的内边框310的长度,可以确保遮挡区110的遮挡效果。
50.图7是本实用新型实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图。参见图7,在一种实施方式中,可选地,遮挡条10中包含有连接区域130。掩膜板的框架30包括内边框310和外边框320,部分连接区域130位于内边框310和外边框320之间,另外部分连接区域130位于内边框310围合成的区域内。在此基础上,只要保证连接区域130的宽度大于相邻两掩膜条20间距(即第一距离)的部分位于内边框310围合成的区域内,即可保证遮挡条10的遮挡效果,可
以有效提高遮挡条10设置的灵活性。
51.在一种实施方式中,可选地,遮挡条10中仅包括遮挡区110和焊接区120。遮挡区110的两端均位于框架30的内边框310和外边框320之间。
52.图8是本实用新型实施例提供的一种沿图7中b-b’的剖面示意图。结合图7和图8,在上述各实施方式的基础上,可选地,掩膜板还包括:多个支撑条40(此处示例性地给出了四个支撑条40)。支撑条40的两端焊接在框架30上,支撑条40与遮挡条10垂直。
53.其中,在沿掩膜板的厚度方向上,支撑条40位于框架30和遮挡条10之间。由于在实际应用时,掩膜条20较细且长,且只有两端焊接在框架30上,掩膜条20容易发生形变,使得蒸镀区的位置和形状发生改变,从而影响掩膜板的精度。本实施例这样设置,使得支撑条40与遮挡条10形成网状结构,实现对掩膜条20更好的支撑效果。其中,支撑条40需要避开掩膜条20的蒸镀区设置。
54.上述各实施方式给出了支撑条40的一种设置方式,但不作为对本实用新型的限定。在其他实施方式中,还可以设置支撑条40位于遮挡条10和掩膜条20之间。只要保证支撑条40和遮挡条10均位于掩膜条20下方,能够对掩膜条20进行支撑即可。
55.需要说明的是,上述各实施例的图中,各膜层结构的比例并不代表其在实际使用中的真是比例;尤其是遮挡条10的宽度显示地较大,是为了说明遮挡条10的结构和其在掩膜板上的设置方式。在实际应用时,各膜层结构的尺寸需要根据实际需求进行选取。
56.注意,上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本实用新型不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明,但是本实用新型不仅仅限于以上实施例,在不脱离本实用新型构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。