1.本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜装置及镀膜设备。


背景技术：

2.待镀基体镀膜的均匀度影响太阳能电池的吸光性以及电流的稳定性，在镀膜过程中，通常将承载有待镀基体的载体置于镀膜腔内，并向镀膜腔通入气体，将电极引入载体，电极放电将通入的气体电离，在待镀基体的表面形成薄膜，相关技术中，电极传输过程中的损耗较大，载体不同区域所激发的等离子的强度不同，难以保证待镀基体镀膜的均匀性。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种镀膜装置，能够降低电极的传输损耗，并改善镀膜的均匀性。
4.本实用新型还提出一种具有上述镀膜装置的镀膜设备。
5.根据本实用新型的第一方面实施例的镀膜装置，包括：
6.底座；
7.第一载体，固定于所述底座，所述第一载体包括第一连接体与第一舟片，所述第一舟片的一端与所述第一连接体连接；
8.第二载体，固定于所述底座，所述第二载体包括第二连接体与第二舟片，所述第二舟片的一端与所述第二连接体连接，所述第一连接体与所述第二连接体分设于所述底座的两端，所述第一舟片与所述第二舟片位于所述第一连接体与所述第二连接体之间；
9.镀膜电极，包括第一电极组与第二电极组，所述第一电极组与所述第一连接体电连接，所述第二电极组与所述第二连接体电连接。
10.根据本实用新型实施例的镀膜装置，至少具有如下有益效果：
11.本实用新型实施例中的镀膜装置，设置有第一电极组与第二电极组，且两个电极组分设于第一舟片、第二舟片的两端，两个电极组可以相向进行补偿，以降低电极的传输损耗，使第一舟片与第二舟片不同区域所激发的等离子强度更为均匀，提高待镀基体镀膜的均匀性。
12.根据本实用新型的一些实施例，所述第一载体包括多个所述第一舟片，所述第二载体包括多个所述第二舟片，所述第一舟片与所述第二舟片层叠交替分布。
13.根据本实用新型的一些实施例，还包括多个连接杆，所述连接杆沿所述第一舟片或第二舟片的长度方向间隔分布，所述连接杆穿设于第一舟片与所述第二舟片内。
14.根据本实用新型的一些实施例，所述底座的底部设置有第一舟脚与第二舟脚，所述第一舟脚与所述第二舟脚分别位于所述底座的两端，所述第一舟脚与所述第一连接体、所述第一电极组电连接，所述第二舟脚与所述第二连接体、所述第二电极组电连接。
15.根据本实用新型的一些实施例，所述第一舟脚具有第一接触面，所述第二舟脚具有第二接触面，所述第一接触面与所述第一电极组的表面接触，所述第二接触面与所述第
二电极组的表面接触。
16.根据本实用新型的一些实施例，所述第一连接体包括多个第一垫块，所述第一垫块夹持于相邻的所述第一舟片之间；所述第二连接体包括多个第二垫块，所述第二垫块夹持于相邻的所述第二舟片之间。
17.根据本实用新型的一些实施例，所述第一载体还包括第一连接柱，所述第一连接柱的一端与所述底座连接，所述第一连接柱的另一端锁紧于顶层的所述第一舟片，所述第一连接柱穿设于所述第一舟片与所述第一垫块内；所述第二载体还包括第二连接柱，所述第二连接柱的一端与所述底座连接，所述第二连接柱的另一端锁紧于顶层的所述第二舟片，所述第二连接柱穿设于所述第二舟片与所述第二垫块内。
18.根据本实用新型的一些实施例，所述底座的顶部设置有绝缘垫块，所述第一连接体还包括第一绝缘套筒与第三垫块，所述第三垫块夹持于底层的所述第一舟片与所述底座之间，所述第一绝缘套筒套设于所述第三垫块，所述第一绝缘套筒的两端分别抵持所述绝缘垫块与底层的所述第一舟片；所述第二连接体还包括第二绝缘套筒与第四垫块，所述第四垫块夹持于底层的所述第一舟片与所述底座之间，所述第二绝缘套筒套设于所述第四垫块，所述第二绝缘套筒的两端分别抵持所述绝缘垫块与底层的所述第二舟片。
19.根据本实用新型的一些实施例，所述底座具有所述供第一连接柱或所述第二连接柱穿设的安装孔，所述第一连接柱的端部设置有第一凸缘，所述第二连接柱的端部设置有第二凸缘，所述第一凸缘与所述第二凸缘均能够与所述安装孔的内壁抵持。
20.根据本实用新型的第二方面实施例的镀膜设备，包括：
21.第一方面实施例的镀膜装置；
22.镀膜室，所述镀膜装置容置于所述镀膜室的内部，所述镀膜室内设置有支撑座，所述支撑座用于支撑所述底座；
23.电源，位于所述镀膜室外部，所述电源与所述镀膜电极电连接。
24.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
25.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：
26.图1为本实用新型镀膜装置隐藏电极后一个实施例的结构示意图；
27.图2为图1中镀膜装置一个实施例的剖视图；
28.图3为本实用新型镀膜装置一个实施例的侧视图；
29.图4为本实用新型镀膜设备一个实施例的正视图；
30.图5为图4中镀膜设备的俯视图。
31.附图标记：
32.底座100，第一舟脚110，第一接触面111，第二舟脚120，第二接触面121，绝缘垫块130；第一载体200，第一连接体210，第一垫块211，第三垫块212，第一绝缘套筒213，第一连接柱214，第一凸缘2141，第一舟片220；第二载体300，第二连接体310，第二垫块311，第四垫块312，第二绝缘套筒313，第二连接柱314，第二凸缘3141，第二舟片320；镀膜电极400，第一电极组410，第二电极组420；连接杆500；镀膜室600；电源700；支撑座800。
具体实施方式
33.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
34.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
35.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
36.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
37.本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
38.本实用新型的实施例中提供了一种镀膜装置，用于待镀基体的表面镀膜，待镀基体可以是太阳能电池片、玻璃、钣金件等，参照图1至图3，镀膜装置包括底座100、第一载体200、第二载体300及镀膜电极400，第一载体200与第二载体300均安装于底座100上，第一载体200与第二载体300用于承载待镀膜的待镀基体，具体的，第一载体200包括第一连接体210与第一舟片220，第一舟片220的一端与第一连接体210连接，所述第二载体300包括第二连接体310与第二舟片320，第二舟片320的一端与第二连接体310连接，第一舟片220与第二舟片320均用于放置待镀基体，第一连接体210与第二连接体310分设于底座100的两端，第一舟片220与第二舟片320位于第一连接体210与第二连接体310之间；镀膜电极400包括第一电极组410与第二电极组420，第一电极组410与第一连接体210电连接，第二电极组420与第二连接体310电连接，由于第一电极组410与第二电极组420分别位于第一舟片220、第二舟片320的两端，而电极存在自身阻抗，第一电极组410在第一舟片220的近端传输效率高，远端传输效率降低，第二电极组420的传输方向与第一电极组410相反，第一舟片220的远端受到第二电极组420的补偿作用，可以降低第一电极组410在传输过程中的损耗，同样的，第一电极组410可以对第二舟片320的远端进行补偿，以保证待镀基体镀膜的均匀性。
39.从而，本实用新型实施例中的镀膜装置，设置有第一电极组410与第二电极组420，且两个电极组分设于第一舟片220、第二舟片320的两端，两个电极组可以相向进行补偿，以降低电极的传输损耗，使第一舟片220与第二舟片320不同区域所激发的等离子强度更为均匀，提高待镀基体镀膜的均匀性。
40.需要说明的是，第一舟片220与第二舟片320可以选择石墨、铝等导电材质制成，第一电极组410与第二电极组420内均包括有两个电极，第一载体200内应设置两个第一连接体210分别与两个电极连接，第二载体300内应设置两个第二连接体310分别与两个电极连接，电极可以是射频电极、中低频电流电极或直流电极等，以射频电极为例，每一电极组内的两个电极可以选择为一个rf(射频)极，一个地极，等离子由rf极向地极激发，或者每一电极组内的两个电极可以均选择为rf极，以提高等离子的激发能量，优化镀膜效果。
41.第一载体200可以包括多个第一舟片220，第二载体300可以包括多个第二舟片320，以增大第一载体200、第二载体300容纳待镀基体的数量，多个第一舟片220与多个第二舟片320交替层叠分布，使第一舟片220与第二舟片320相邻；由于第一舟片220连接第一电极组410，第二舟片320连接第二电极组420，设置于两端的第一电极组410与第二电极组420能够分别沿第一舟片220、第二舟片320传输，并对相邻的舟片进行传输补偿，以提高电极传输的均匀性，保证待镀基体镀膜厚度的均匀度。
42.另外，第一舟片220与第二舟片320层叠交替分布，在保证待镀基体镀膜数量的前提下，使第一舟片220与第二舟片320的连接更为紧凑；第一舟片220与第二舟片320可以沿竖直方向或者水平方向层叠排列，本实用新型的一个实施例中，第一舟片220与第二舟片320沿竖直方向排列，待镀基体水平放置于第一舟片220与第二舟片320之间，第一连接体210与第二连接体310沿竖直方向设置，第一舟片220逐个连接于第一连接体210，第二舟片320逐个连接于第二连接体310，便于第一载体200与第二载体300的相互组装。
43.如图1与图2所示，第一连接体210包括多个第一垫块211，第一垫块211夹持于相邻的第一舟片220之间，第一垫块211采用导电材质，将所有第一舟片220通过第一连接体210形成一个整体，与第一连接体210连接的第一电极组410能够同时向所有的第一舟片220进行电极传输；第二连接体310包括多个第二垫块311，第二垫块311夹持于相邻的第二舟片320之间，第二垫块311采用导电材质，从而将所有的第二舟片320通过第二连接体310形成一个整体，与第二连接体310连接的第二电极组420能够同时向所有的第二舟片320进行电极传输。第一垫块211与第二垫块311可以选用石墨、铝等的导电材质。
44.为保证相邻的第一舟片220之间，以及相邻的第二舟片320之间形成稳定的连接结构，并且使第一舟片220与第一垫块211，第二舟片320与第二垫块311保持稳定接触，确保第一舟片220与第一连接体210的电性导通，以及第二舟片320与第二连接体310的电性导通，如图1所示，本实用新型中还设置有连接杆500，连接杆500用于对第一舟片220、第二舟片320进行固定，连接杆500可以单独穿设于第一舟片220内，对多个第一舟片220进行固定，或者单独穿设于第二舟片320内，对多个第二舟片320进行固定，在一个实施例中，连接杆500同时穿设于交替分布的第一舟片220与第二舟片320，连接杆500的下端与底座100连接，连接杆500上端锁紧，从而同时对第一舟片220与第二舟片320进行固定，安装便利度高，并可节省连接杆500的使用数量。连接杆500设置有多个，连接杆500可以沿第一舟片220与第二舟片320的长度方向间隔分布，以提高第一舟片220、第二舟片320的连接稳定性。
45.在一个实施例中，第一连接体210与第二连接体310上可以设置电极连接座，电极连接座与第一连接体210、第二连接体310电性连接，第一电极组410插入电极连接座后，可以实现第一电极组410与第一舟片220的电性导通，第二电极组420插入电极连接座后，可以实现第二电极组420与第二舟片320的电性导通。在另一实施例中，将部分底座100设置为导
电材质，通过接触连接的方式实现电极组与舟片的电性导通，具体为，底座100的底部设置有第一舟脚110与第二舟脚120，第一舟脚110与第一连接体210电性连接，第二舟脚120与第二连接体310电性连接，第一舟脚110用于与第一电极组410接触，第二舟脚120用于与第二电极组420接触，在第一舟脚110与第一电极组410接触后，第一电极组410与第一舟片220之间形成导电通路，第二舟脚120与第二电极组420接触后，第二电极组420与第二舟片320之间形成导电通路；该连接方式较为简单，无需设置用于转接的连接座，通过接触即可实现电性连接，操作便捷度高。
46.需要说明的是，第一舟脚110与第二舟脚120均应设置有两个，两个第一舟脚110分别与第一电极组410内的两个电极连接，两个第二舟脚120分别与第二电极组420内的两个电极连接，第一舟脚110与第二舟脚120均应设置于底座100的两端，便于电极组与连接体之间进行连接。另外，电极组与舟脚的侧部或底部进行接触，均能够实现电性导通，为提高电极组与舟脚连接的便利度，电极组可以设置于底座100的下方，底座100固定后，舟脚恰好放置于电极组上，在底座100重力的作用下，使舟脚与电极组稳定接触，实现电极组与舟脚的持续电连接。
47.在一个实施例中，如图3所示，第一舟脚110的底部具有第一接触面111，第二舟脚120的底部具有第二接触面121，第一接触面111与第二接触面121与电极组的外形相对应，并能够包覆于电极组的表面，如，第一电极组410与第二电极组420的电极均为圆柱形，第一接触面111与第二接触面121均为弧面，第一接触面111能够包覆于第一电极组410的表面，第二接触面121能够包覆于第二电极组420的表面，增大第一舟脚110、第二舟脚120与电极组的接触面积，保证舟脚与电极组的稳定电导通。
48.为保证每一舟片均与电极组电连接，需将第一舟片220与第一舟脚110之间，以及第二舟片320与第二舟脚120之间形成导电通路，在一个实施例中，如图2所示，第一连接体210还包括第三垫块212，第三垫块212夹持于底层的第一舟片220与底座100之间，第三垫块212与底座100设置为导电材质，从而每一第一舟片220均与第一舟脚110电性连接；第二连接体310还包括第四垫块312，第四垫块312夹持于底层的第二舟片320与底座100之间，使每一第二舟片320均与第二舟脚120电性连接。
49.为便于镀膜装置的搬运，提高工作安全性，底座100的表面应绝缘，在一个实施例中，底座100的表面覆盖有绝缘垫块130，第一连接体210包括第一绝缘套筒213，第二连接体310包括第二绝缘套筒313，第一绝缘套筒213套设于第三垫块212的外部，第一绝缘套筒213的两端分别抵持底层的第一舟片220与绝缘垫块130，以将底座100的表面与第一载体200进行电性隔绝；第二绝缘套筒313套设于第四垫块312的外壁，第二绝缘套筒313的两端分别地抵持底层的第二舟片320与绝缘垫块130，以将底座100的表面与第二载体300进行电性隔离。
50.需要说明的是，第一连接体210还应包括第一连接柱214，第一连接柱214穿设于第一舟片220、第一垫块211与第三垫块212内，第一连接柱214的下端与底座100连接，第一连接柱214的上端锁紧于上层的第一舟片220；通过设置第一连接柱214，一方面使第一载体200固定于底座100上，另一方面使多个第一舟片220连接稳定，并保持与第一垫块211、第二垫块311的稳定接触。同样的，第二连接体310包括第二连接柱314，第二连接柱314穿设于第二舟片320、第二垫块311与第四垫块312，第二连接柱314的下端与底座100连接，第二连接
柱314的上端锁紧于上层的第二舟片320。
51.另外，底座100上还设置有供第一连接柱214、第二连接柱314穿设的安装孔，第一连接柱214的下端设置有第一凸缘2141，第二连接柱314的下端设置有第二凸缘3141，第一凸缘2141与第二凸缘3141均能够插入至安装孔内，并与安装孔的内壁抵持；第一连接柱214与第二连接柱314安装时，二者的下端无需固定，只需将上端锁紧即可实现固定，安装便利度高。可以想到的是，安装孔剖面应呈阶梯状，第一凸缘2141朝向第一连接柱214的侧面突出，第二凸缘3141朝向第二连接柱314的侧部突出，以使第一凸缘2141、第二凸缘3141均能够在连接柱的长度方向上实现与安装孔内壁的抵持。需要说明的是，连接杆500也可采用设置凸缘的方式，实现与底座100和舟片的连接。
52.如图4与图5所示，本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括上述的镀膜装置，还包括镀膜室600与电源700，镀膜装置容置于镀膜室600的内部，镀膜室600内设置有支撑座800，支撑座800用于支撑底座100，使镀膜装置稳定放置于镀膜室600内，电源700位于镀膜室600的外部，并与镀膜电极400电连接，电源700用于向镀膜电极400供电。
53.需要说明的是，支撑座800应位于同一电极组内的两个电极之间，使镀膜装置的两侧保持平稳，并且底座100放置于支撑座800后，舟脚恰好与电极接触，在完成镀膜装置稳定放置的同时，实现第一舟片220与第一电极组410的电连接以及第二舟片320与第二电极组420的电连接。
54.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。