1.本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜装置及镀膜设备。


背景技术：

2.镀膜的均匀度对待镀件镀膜后的使用性能影响较大，传统的镀膜工艺，一般将承载有待镀基体的载体送入镀膜腔内，并向镀膜腔通入待镀气体，将电极引入载体，电极放电使通入的气体电离，进而沉积于待镀基体的表面形成镀膜，相关技术中，电极传输的路径较长，造成电极传输过程中损耗较大，载体不同区域被激发的等离子的强度不同，待镀基体镀膜的均匀度差。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种镀膜装置，能够降低电极的传输损耗，并改善镀膜的均匀度。
4.本实用新型还提出一种具有上述镀膜装置的镀膜设备。
5.根据本实用新型的第一方面实施例的镀膜装置，包括：
6.镀膜载体，包括多个舟片与连接体，多个所述舟片层叠设置，所述连接体位于所述舟片长度方向的中部，所述连接体与所述舟片电性连接；
7.镀膜电极，与所述连接体电性连接。
8.根据本实用新型实施例的镀膜装置，至少具有如下有益效果：
9.本实用新型实施例中的镀膜装置，镀膜电极从舟片的中部向舟片的两端传输，提高了电极的传输效率，电极的传输距离减小，降低了电极传输过程中的损耗，舟片不同区域所激发的等离子强度更为均匀，从而提高了待镀基体镀膜的均匀度。
10.根据本实用新型的一些实施例，所述连接体包括连接块与多个垫块，所述连接块与所述垫块沿所述舟片的排列方向间隔分布，所述垫块与所述连接块均位于相邻的所述舟片之间，并与所述舟片接触，所述连接块与所述镀膜电极电性连接。
11.根据本实用新型的一些实施例，所述连接体还包括连接柱，所述连接柱穿设于所述舟片、所述垫块与所述连接块，所述连接柱的两端分别锁紧于最外侧的所述舟片。
12.根据本实用新型的一些实施例，所述连接体相对所述舟片的侧部突出，所述连接体与所述镀膜电极相互接触。
13.根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜载体包括第一载体与第二载体，所述第一载体与所述第二载体均包括所述连接体与多个所述舟片，且所述第一载体中的所述舟片与所述第二载体中的所述舟片交替排列，所述镀膜电极包括第一电极与第二电极，所述第一电极与所述第一载体中的所述连接体电性连接，所述第二电极与所述第二载体中的所述连接体电性连接。
14.根据本实用新型的一些实施例，所述第一载体中的所述舟片从所述第二载体中的所述舟片的侧部突出，所述第二载体中的所述舟片从所述第一载体中的所述舟片的侧部突
出。
15.根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜载体还包括多个连接杆，所述连接杆沿所述舟片的长度方向间隔分布，所述连接杆穿设于所述舟片，所述连接杆的端部锁紧于最外侧的所述舟片。
16.根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜载体还包括多个绝缘垫块，所述绝缘垫块夹持于相邻的所述舟片，所述连接杆穿设于所述绝缘垫块内。
17.根据本实用新型的一些实施例，还包括底座，所述镀膜载体位于所述底座上方，所述连接杆的一端与所述底座连接。
18.根据本实用新型的第二方面实施例的镀膜设备，包括：
19.第一方面实施例的镀膜装置；
20.镀膜室，所述镀膜装置容置于所述镀膜室的内部，所述镀膜室内设置有支撑座，所述支撑座用于支撑所述镀膜装置；
21.电源，位于所述镀膜室的外部，所述电源与所述镀膜电极电性连接。
22.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
23.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：
24.图1为本实用新型镀膜装置一个实施例的结构示意图；
25.图2为图1中镀膜装置一个实施例的剖视图；
26.图3为图1中连接体与镀膜电极的连接示意图；
27.图4为本实用新型镀膜设备一个实施例的结构示意图。
28.附图标记：
29.镀膜载体100，舟片110，连接体120，连接块121，垫块122，连接柱123，第一载体130，第二载体140，连接杆150，绝缘垫块160；镀膜电极200；底座300，底板310，舟脚320；镀膜室400；电源500；支撑座600。
具体实施方式
30.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
31.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
32.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所
指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
33.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
34.本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
35.本实用新型的实施例中提供了一种镀膜装置，用于在待镀基体的表面镀膜，待镀基体可以是太阳能电池片、玻璃与钣金件等，参照图1，镀膜装置包括镀膜载体100与镀膜电极200，镀膜载体100用于承载待镀膜的待镀基体，镀膜载体100包括多个舟片110与连接体120，多个舟片110层叠设置，待镀基体放置于相邻的舟片110之间，连接体120位于舟片110长度方向的中部，连接体120与舟片110电性连接，镀膜电极200与连接体120电性连接。由于电极自身存在阻抗，电极传输过程中产生损耗，若电极连接于舟片110的端部，电极传输的距离较长，舟片110与电极连接的近端传输效率高，所激发的等离子强度高，舟片110的远端传输效率低，所激发的等离子强度低，舟片110不同区域镀膜厚度不均；本实用新型中，镀膜电极200连接于舟片110的中部，镀膜电极200能够同时向舟片110的两端传输，传输效率高，并且电极的传输距离减小，能够降低镀膜电极200传输过程中的损耗，从而提高待镀基体镀膜的均匀度。
36.本实用新型实施例中的镀膜装置，镀膜电极200从舟片110的中部向舟片110的两端传输，提高了电极的传输效率，电极的传输距离减小，降低了电极传输过程中的损耗，舟片110不同区域所激发的等离子强度更为均匀，从而提高了待镀基体镀膜的均匀度。
37.需要说明的是，每一舟片110均与连接体120电性连接，连接体120将多个舟片110连接呈一整体，通过连接体120与镀膜电极200的电连接，实现多个舟片110与镀膜电极200的电连接，从而所有舟片110在与镀膜电极200电导通后，可以同时进行电极传输。在一个实施例中，如图2与图3所示，连接体120包括连接块121与多个垫块122，连接块121与垫块122沿舟片110的排列方向间隔分布，连接块121与垫块122均位于相邻的舟片110之间，并与舟片110接触，连接块121与镀膜电极200电性连接，连接块121与垫块122均采用导电材质，舟片110与连接块121、垫块122形成整体结构，并且相互之间均可电性导通，在连接块121与镀膜电极200连接后，所有舟片110均与镀膜电极200电连接。通过设置垫块122与连接块121，一方面将相邻的舟片110之间形成一定间隔，便于放置待镀基体，另一方面实现不同舟片110之间的电性连接，便于舟片110与镀膜电极200之间的连接；连接块121起到同时连接舟片110与镀膜电极200的作用，使镀膜电极200与连接体120的连接更为灵活，节省部件数量，便于组装。
38.为保证相邻的舟片110之间形成稳定的连接结构，并且使舟片110与垫块122之间，舟片110与连接块121之间保持稳定接触，确保舟片110与连接体120的电性导通，本实用新型中还设置有连接柱123，连接柱123穿设于舟片110、垫块122与连接块121，连接柱123的两端分别锁紧于最外侧的舟片110，使连接块121与舟片110、舟片110与垫块122紧密接触，保
证每一舟片110均与连接体120电性连接。连接柱123的两端可以设置外螺纹，通过螺纹紧固的方式实现锁紧，连接柱123可以选用陶瓷材质，连接块121、垫块122可以选用石墨、铝等材质。
39.需要说明的是，由于镀膜电极200从舟片110的端部延伸至舟片110的中部，为避免镀膜电极200与舟片110之间相互干涉，连接体120可以相对于舟片110的侧部向外突出，以便于镀膜电极200与连接体120的连接；当然，若相邻舟片110之间的间隔大于镀膜电极200的宽度，镀膜电极200可以从相邻的舟片110之间穿过，并与连接体120连接。
40.镀膜电极200与连接体120可以采用插接的方式进行连接，如连接体120内部设置有供镀膜电极200插入的连接孔，镀膜电极200的端部插入连接体120内，实现镀膜电极200与连接体120的连接。如，可以在连接体120的底部设置连接孔，连接孔与镀膜电极200的端部均朝向舟片110的层叠方向，在放置镀膜装置时，随着镀膜装置的下降，镀膜电极200插入连接孔内，实现镀膜电极200与连接体120的连接。
41.为便于镀膜装置在镀膜设备内的装配，以及镀膜电极200与连接体120的连接，在一个实施例中，如图3所示，连接体120位于镀膜电极200的上方，并且连接体120与镀膜电极200接触，从而，在镀膜装置放置于镀膜设备后，连接体120恰好与镀膜电极200接触，实现二者之间的电连接，通过采用接触连接的方式，一方面连接体120与镀膜电极200之间的连接，与镀膜装置向镀膜设备的放置过程不会相互干涉，另一方面，使连接体120与镀膜电极200之间的连接更为便捷。
42.需要说明的是，连接体120具有与镀膜电极200接触的接触面，该接触面应与镀膜电极200的外形相对应，接触面可以设置为平面、弧面、曲面等，在一个实施例中，镀膜电极200的端部呈圆柱形，连接体120的接触面为弧面，接触面包覆于镀膜电极200的端部，镀膜电极200与连接体120之间的接触面积较大，可以保证镀膜电极200与连接体120之间稳定电导通。
43.镀膜电极200应包括两个电极，两个电极均与镀膜载体100连接，电极可以是射频电极、中低频电流电极或直流电极等，以射频电极为例，镀膜电极200内的两个电极可以选择为一个rf(射频)极，一个地极，等离子由rf极向地极激发，或者每一电极组内的两个电极可以均选择为rf极，以提高等离子的激发能量，优化镀膜效果。
44.相应的，镀膜载体100内应设置两组舟片110分别与两个电极连接，如图2所示，镀膜载体100包括第一载体130与第二载体140，第一载体130与第二载体140均包括连接体120与多个舟片110，并且第一载体130中的舟片110与第二载体140中的舟片110相互交替排列，镀膜电极200包括第一电极与第二电极，第一电极与第一载体130中的连接体120连接，第二电极与第二载体140中的连接体120连接，从而实现第一电极与第一载体130中所有舟片110的电连接，以及第二电极与第二载体140中所有舟片110的电连接，从而所有舟片110均能够与镀膜电极200连接。
45.由于舟片110相互交替排列，在保证待镀基体镀膜数量的前提下，使舟片110之间的连接更为紧凑；舟片110可以沿竖直方向或者水平方向层叠排列，本实用新型的一个实施例中，舟片110沿竖直方向排列，待镀基体水平放置于相邻的舟片110之间，连接体120沿竖直方向设置，舟片110沿竖直方向逐个连接于连接体120，便于第一载体130与第二载体140中舟片110的相互组装；舟片110可选用石墨、铝等导电材质。
46.为便于连接体120安装于第一载体130或第二载体140的中部，避免第一载体130与第二载体140中的舟片110影响连接体120的安装，在一个实施例中，第一载体130中的舟片110从第二载体140中的舟片110的侧部突出，第二载体140中的舟片110从第一载体130中的舟片110的侧部突出，第一载体130与第二载体140为连接体120提供安装位置，连接体120安装于第一载体130相对于第二载体140突出的部分，以及第二载体140相对于第一载体130突出的部分，第一电极与第二电极分设于镀膜载体100的两侧。
47.需要说明的是，舟片110的两端同样可以通过连接体120进行连接，一方面，使舟片110的不同位置均能稳定连接，提高连接强度，另一方面，使舟片110之间的电导通得到保障，优化舟片110与镀膜电极200之间电连接的稳定性。
48.镀膜载体100还包括连接杆150，连接杆150沿舟片110的长度方向间隔分布，连接杆150穿设于舟片110内，连接杆150的端部锁紧于最外侧的舟片110上，连接杆150用于固定舟片110，使舟片110保持位置稳定。不同的连接杆150可以单独穿设于第一载体130的舟片110内，或者单独穿设于第二载体140的舟片110内，在一个实施例中，连接杆150同时穿设于所有舟片110内，以对所有的舟片110进行固定，安装便利度高，并可节省连接杆150的数量，并且由于连接杆150沿舟片110的长度方向间隔分布，使舟片110的不同位置均得到固定，舟片110的连接稳定性更高。连接杆150的两端可以通过螺纹紧固的方式实现锁紧。
49.镀膜载体100还包括多个绝缘垫块160，绝缘垫块160夹持于相邻的舟片110之间，绝缘垫块160对舟片110相互抵持，使相邻舟片110之间保持一定间距，连接杆150穿设于绝缘垫块160内，连接杆150与绝缘垫块160共同固定舟片110。连接杆150与绝缘垫块160可以选用陶瓷材质。
50.另外，连接杆150与连接体120分设于第一载体130的两侧或者第二载体140的两侧，使第一载体130或第二载体140的两侧均得到固定，并且由于连接体120位于载体的侧部，连接体120能够同时对舟片110进行固定，并与镀膜电极200连接。
51.如图1与图2所示，镀膜装置还包括底座300，镀膜载体100位于底座300的上方，底座300用于支撑或固定镀膜载体100，连接杆150的一端与底座300连接，使镀膜载体100固定于底座300上。具体的，底座300包括底板310与舟脚320，舟脚320固定于底板310的底部，连接杆150的一端插入底板310内，或者从底板310穿出并锁紧于底板310的表面。
52.本实用新型还提供了一种镀膜设备，如图4所示，镀膜设备包括上述的镀膜装置，还包括镀膜室400与电源500，镀膜装置位于镀膜室400的内部，镀膜室400内设置有支撑座600，支撑座600用于支撑镀膜装置，底座300的舟脚320放置于支撑座600上，达到支撑座600对镀膜装置的支撑效果；支撑座600的一端连接于镀膜室400的端部，另一端朝向镀膜室400的内部延伸，镀膜室400的每一端均可连接多个支撑座600，以使镀膜装置在镀膜室400内保持平衡。需要说明的是，舟脚320放置于支撑座600上后，连接体120即与镀膜电极200接触，使镀膜载体100与镀膜电极200电连接。
53.镀膜设备还包括电源500，电源500位于镀膜室400的外部，电源500与镀膜电极200电性连接，电源500用于向镀膜电极200供电。
54.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特
征可以相互组合。