一种qled的电极材料的蒸镀装置
技术领域
1.本实用新型涉及蒸镀装置技术领域，尤其是涉及的是一种qled的电极材料的蒸镀装置。


背景技术：

2.蒸镀装置是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。真空蒸镀装置由真空抽气系统和蒸发室组成；然而传统的蒸镀装置的蒸发室一般都是与蒸发源固定在一起的，该方式不便于维护和更换蒸发源材料。


技术实现要素：

3.本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过说明书、权利要求书以及其他说明书附图中所特别指出的结构来实现和获得。
4.本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种qled的电极材料的蒸镀装置，以解决现有不便于维修和更蒸发源材料的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是：一种qled的电极材料的蒸镀装置，包括主体，所述主体下方设有支撑架，所述主体的下方设有蒸发机构，所述蒸发机构的两端分别设有纵向导向机构，其中蒸发机构相对主体竖直上下移动；
6.所述主体的下表面设有支撑板，所述支撑板对应支撑架的两侧分别设有向下延伸的滑板，所述滑板上设有固定机构；
7.所述支撑架朝向滑板的一侧设有若干个内凹的定位槽；
8.所述固定固定机构包括壳体，所述壳体固定于滑板上，所述壳体朝向定位槽的一端设有内凹的活动槽，所述活动槽的槽底贯穿有让位孔，所述活动槽内嵌套有活动杆，所述活动杆朝向定位槽的一端设有固定块，所述固定块穿过滑板，所述固定块与定位槽相配合，所述活动杆的另一端穿过让位孔，所述活动杆上嵌套有弹簧，所述弹簧的一端支撑于固定块上，所述弹簧的另一端支撑于活动槽的槽底。
9.作为进一步的改进，所述让位孔为螺纹孔，所述活动杆靠近固定块的一端设有外螺纹，所述外螺纹与螺纹孔相配合。
10.作为进一步的改进，所述蒸发机构包括蒸发源，所述蒸发源的下端设有连接板，所述连接板的两端分别设有滑块，所述滑块远离蒸发源的一侧分别设有内凹的滑槽，所述滑槽的两侧分别设有凸出的限位块。
11.作为进一步的改进，所述纵向导向机构，所述纵向导向机构包括两个纵向滑轨，其中两个纵向滑轨分别对应滑块，所述纵向滑轨对应限位块的位置设有内凹的纵向滑槽，所述纵向滑轨嵌入滑槽内，所述限位块嵌入纵向滑槽内。
12.作为进一步的改进，两个所述纵向滑轨的下端分别设于固定板的两端。
13.作为进一步的改进，所述滑块通过直线电机驱动。
14.作为进一步的改进，所述主体内设有蒸发腔体，所述蒸发腔体的底部设有供蒸发源通过的通孔，其中蒸发源可穿过通孔进出蒸发腔体，所述主体上端设有端盖，所述端盖盖合于主体上。
15.通过采用上述的技术方案，本实用新型的有益效果是：本实用新型将主体设置在支撑架上，通过支撑架上的定位孔与主体上的固定机构相配合的作用下，能够将主体固定在支撑架上设有定位槽的任意位置上，同时方便主体的拆装；通过纵向导向机构与蒸发机构相配合的作用下，使蒸发机构能够在纵向导向机构上竖直上下移动，从而能够方便对主体和蒸发装置的维护，方便蒸发材料的更换。
16.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
17.无疑的，本实用新型的此类目的与其他目的在下文以多种附图与绘图来描述的较佳实施例细节说明后将变为更加显见。
18.为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举一个或数个较佳实施例，并配合所示附图，作详细说明如下。
附图说明
19.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例共同用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
20.在附图中，相同的部件使用相同的附图标记，并且附图是示意性的，并不一定按照实际的比例绘制。
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一个或数个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据此类附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置的结构示意图；
23.图2为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中主体和固定机构的结构示意图；
24.图3为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中固定机构的分解结构示意图；
25.图4为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中蒸发机构的结构示意图；
26.图5为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中纵向导向机构的结构示意图。
27.附图标记说明：
28.1、主体；
29.11、支撑板；12、滑板；13、端盖；
30.2、支撑架；
31.21、定位槽；
32.3、蒸发机构；
33.31、蒸发源；32、连接板；33、滑块；34、滑槽；35、限位块；
34.4、固定机构；
35.41、壳体；42、活动槽；421、让位孔；43、活动杆；431、外螺纹；44、固定块；45、弹簧；
36.5、纵向导向机构；
37.51、纵向滑轨；52、纵向滑槽；53、固定板。
具体实施方式
38.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体实施方式对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本实用新型，但并不用于限定本实用新型。
39.另外，在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
40.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。但注明直接连接则说明连接地两个主体之间并不通过过渡结构构建连接关系，只通过连接结构相连形成一个整体。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
41.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
42.下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。
43.参照图1-2，图1为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置的结构示意图；图2为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中主体和固定机构的结构示意图。
44.本实施例提供了一种qled的电极材料的蒸镀装置，包括主体1，所述主体1下方设有支撑架2，所述主体1的下方设有蒸发机构3，所述蒸发机构3的两端分别设有纵向导向机构5，其中蒸发机构3相对主体1竖直上下移动；
45.所述主体1的下表面设有支撑板11，所述支撑板11对应支撑架2的两侧分别设有向下延伸的滑板12，所述支撑架2朝向滑板12的一侧设有若干个内凹的定位槽21；所述滑板12上设有固定机构4，通过若干个定位槽21与固定机构4相配合的作用下，能够将主体1固定在支撑架2上设有定位槽21的任意位置上，从而能够方便对主体1和蒸发装置3的维护，方便蒸发材料的更换。
46.参照图4-5，图4为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中蒸发机构的结构示意图；图5为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中纵向导向机构的结构示意图。
47.所述蒸发机构3包括蒸发源31，所述蒸发源31的下端设有连接板32，所述连接板32的两端分别设有滑块33，所述滑块33远离蒸发源31的一侧分别设有内凹的滑槽34，所述滑槽34的两侧分别设有凸出的限位块35。
48.所述纵向导向机构5，所述纵向导向机构5包括两个纵向滑轨51，其中两个纵向滑轨51分别对应滑块33，所述纵向滑轨51对应限位块35的位置设有内凹的纵向滑槽52，所述纵向滑轨51嵌入滑槽34内，所述限位块35嵌入纵向滑槽52内，通过纵向滑轨51与滑槽34相配合，可使滑块33在纵向滑轨51上移动，通过限位块35与纵向滑槽52相配合的作用下，能够将滑块33限制在纵向滑轨51上，使滑块33能够在纵向滑轨51上竖直上下移动。两个所述纵向滑轨51的下端分别固定于固定板53的两端，通过固定板53的作用下，可使两个纵向滑轨51之间的位置连接更加稳定，避免两个纵向滑轨51发生移动；所述滑块33通过直线电机驱动。
49.所述主体1内设有蒸发腔体，所述蒸发腔体的底部设有供蒸发源31通过的通孔，其中蒸发源31可穿过通孔进出蒸发腔体，所述主体1上端设有端盖13，所述端盖13盖合于主体1上，在使用时，通过直线电机将驱动滑块33在纵向导轨51上竖直向上移动，使滑块33带动连接板32向上移动，再由连接板32带动蒸发源31朝向主体1下方的通过移动，使蒸发源31穿过通孔进入蒸发腔体内，再由蒸发源31对其内部的蒸发原料进行加热蒸发，在需要更换蒸发原料或者维护时，便可通过直线电机将蒸发源31下降脱离蒸发腔体，从而能够方便更换蒸发原料或者维护。
50.参照图1-3，图1为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置的结构示意图；图2为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中主体和固定机构的结构示意图；图3为本实用新型一种qled的电极材料的蒸镀装置中固定机构的分解结构示意图。
51.所述固定固定机构4包括壳体41，所述壳体41固定于滑板12上，所述壳体41朝向定位槽21的一端设有内凹的活动槽42，所述活动槽42的槽底贯穿有让位孔421，所述活动槽42内嵌套有活动杆43，所述活动杆43朝向定位槽21的一端设有固定块44，所述固定块44穿过滑板12，所述固定块44与定位槽21相配合，所述活动杆43的另一端穿过让位孔421，通过固定块44与定位槽21相配合的作用下，能够将滑板12固定在支撑架2上，同时方便了主体1的装卸，且能够在需要维护主体1时，便可将主体1固定在支撑架2的任意位置上，以便于主体1的维护；所述活动杆43上嵌套有弹簧45，所述弹簧45的一端支撑于固定块44上，所述弹簧45的另一端支撑于活动槽42的槽底，通过弹簧45的作用下，能够将固定块44始终朝向定位槽21的方向推动，从而使固定块44嵌入定位槽21内更加稳定。
52.所述让位孔421为螺纹孔，所述活动杆43靠近固定块44的一端设有外螺纹431，所述外螺纹431与螺纹孔相配合，通过外螺纹431与让位孔421的螺纹相配合的左右下，能够将活动杆43固定在让位孔421上，以便于对主体1的拆装和在支撑架2上的移动。
53.应该理解的是，本实用新型所公开的实施例不限于这里所公开的特定处理步骤或材料，而应当延伸到相关领域的普通技术人员所理解的此类特征的等同替代。还应当理解的是，在此使用的术语仅用于描述特定实施例的目的，而并不意味着限制。
54.说明书中提到的“实施例”意指结合实施例描述的特定特征、或特性包括在本实用
新型的至少一个实施例中。因此，说明书通篇各个地方出现的短语或“实施例”并不一定均指同一个实施例。
55.此外，所描述的特征或特性可以任何其他合适的方式结合到一个或多个实施例中。在上面的描述中，提供一些具体的细节，例如厚度、数量等，以提供对本实用新型的实施例的全面理解。然而，相关领域的技术人员将明白，本实用新型无需上述一个或多个具体的细节便可实现或者也可采用其他方法、组件、材料等实现。