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一种有机材料蒸发源的制作方法

时间:2022-01-17 阅读: 作者:专利查询

一种有机材料蒸发源的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸发镀膜技术领域,尤其涉及一种有机材料蒸发源。


背景技术:

2.目前,广泛使用的屏幕为液晶显示屏lcd和有机发光二极管oled,逐步发展的oled由于轻薄、柔性性能好、节能等优点受到越来越多的关注,通常使用真空蒸发镀膜技术蒸镀oled有机材料进而制成器件,真空蒸发镀膜技术具有简单、高效等优点。
3.真空镀膜技术就是在真空条件下,用蒸发源加热材料,使其材料蒸发气化,进而冷凝沉积在基片上形成薄膜。当然,真空蒸发镀膜技术由于其成膜方法简单、制备的膜具有较高纯度和较高致密度在制备各种功能薄膜中被广泛运用,是当今发展较为成熟的镀膜方法。
4.蒸发源作为真空蒸发镀膜技术当中必不可少的设备,对镀膜的成果有着重大的影响。然而,现有的有机材料蒸发源存在着蒸发功率较高、膜层厚度不均匀等问题,一定程度上影响了成膜质量。


技术实现要素:

5.为实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种有机材料蒸发源,包括置物容器,所述置物容器的顶部呈开口式设置,且置物容器的底部固定连接有底座,所述置物容器内插设有螺旋设置的加热丝,且加热丝的两端固定插设在底座的上侧壁并贯穿底座的下侧壁设置,所述置物容器的外侧壁设置有防护机构。
6.优选的,所述防护机构包括固定套设在置物容器外侧壁的屏蔽罩。
7.优选的,所述屏蔽罩采用的材料为不锈钢,且屏蔽罩的厚度尺寸为 0.1mm-2mm。
8.优选的,所述加热丝采用的材料为铁镍合金。
9.优选的,所述铁镍合金中镍的含量为5%-45%。
10.优选的,所述置物容器采用的材质为硼硅玻璃或者石英。
11.优选的,所述加热丝的直径尺寸为0.25mm-3mm。
12.优选的,所述底座采用的材质为耐高温粘结剂。
13.优选的,所述置物容器的外径尺寸为10mm-35mm,高度尺寸为3mm-6mm。
14.优选的,所述置物容器的壁厚尺寸为0.5mm-3mm。
15.本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是:
16.本实用新型的有机材料蒸发源,蒸发源的置物容器的底座采用高温粘结剂密封,固定置物容器的同时固定了加热丝,采用加热丝加热有机材料,减少了热量损失,大大提升了升温降温速率,缩短了镀膜时间,并且,整体蒸发源由于加热丝的引入,使得使用功率极大降低,一般蒸发源使用一次约为50w,该蒸发源约为一般蒸发源的十分之一,约4.5w,使得蒸发源的材料利用率更高,镀膜均匀性更好。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1是本实用新型的剖视结构示意图;
19.图2是本实用新型中实施例一的示意图;
20.图3是本实用新型中参照例一的示意图;
21.图4是本实用新型中实施例二的示意图;
22.图5是本实用新型中参照例二的示意图。
23.图中:1、置物容器;2、底座;3、加热丝;4、屏蔽罩。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
25.下面的描述中,为描述的清楚和简明,并没有对图中所示的所有多个部件进行描述。附图中示出了多个部件为本领域普通技术人员提供本实用新型的完全能够实现的公开内容。对于本领域技术人员来说,许多部件的操作都是熟悉而且明显的。
26.实施例一
27.如图1-3所示,本实施例提供了一种有机材料蒸发源,包括置物容器1,置物容器1的顶部呈开口式设置,且置物容器1的底部固定连接有底座2,置物容器1内插设有螺旋设置的加热丝3,加热丝3的端部与外部电源电性连接,加热丝3用于加热有机材料,置物容器1用于装载有机材料,且加热丝3的两端固定插设在底座2的上侧壁并贯穿底座2的下侧壁设置,置物容器1的外侧壁设置有防护机构。
28.优选的,防护机构包括固定套设在置物容器1外侧壁的屏蔽罩4,屏蔽罩4 紧密地裹挟在置物容器1的侧壁上。
29.优选的,屏蔽罩4采用的材料为不锈钢,且屏蔽罩4的厚度尺寸为 0.1mm-2mm。
30.优选的,加热丝3采用的材料为铁镍合金。
31.优选的,铁镍合金中镍的含量为5%-45%。
32.优选的,置物容器1采用的材质为硼硅玻璃或者石英。
33.优选的,加热丝3的直径尺寸为0.25mm-3mm。
34.优选的,底座2采用的材质为耐高温粘结剂,即置物容器1的采用耐高温粘结剂密封。
35.优选的,置物容器1的外径尺寸为10mm-35mm,高度尺寸为3mm-6mm。
36.优选的,置物容器1的壁厚尺寸为0.5mm-3mm,壁厚尺寸优选为3mm。
37.采用的加热丝共绕8匝,用的电压为4.2v,用电流为1.8a,需功率为7.56w,加热11分钟后,温度达到了296℃,速率达到11.5a/s;而参照例一采用传统蒸发源,用电压为
0.923v,用电压为45.1a,需功率为41.63w,加热8分钟,温度达到了295℃,速度达到了11.8a/s,两者相比,本实施例虽然用时较长,但是需功率较低。
38.实施例二
39.如图4-5示,本实施例提供了一种有机材料蒸发源,包括置物容器1,置物容器1的顶部呈开口式设置,且置物容器1的底部固定连接有底座2,置物容器 1内插设有螺旋设置的加热丝3,加热丝3的端部与外部电源电性连接,加热丝 3用于加热有机材料,置物容器1用于装载有机材料,且加热丝3的两端固定插设在底座2的上侧壁并贯穿底座2的下侧壁设置,置物容器1的外侧壁设置有防护机构。
40.优选的,防护机构包括固定套设在置物容器1外侧壁的屏蔽罩4,屏蔽罩4 紧密地裹挟在置物容器1的侧壁上。
41.优选的,屏蔽罩4采用的材料为不锈钢,且屏蔽罩4的厚度尺寸为 0.1mm-2mm。
42.优选的,加热丝3采用的材料为铁镍合金。
43.优选的,铁镍合金中镍的含量为5%-45%。
44.优选的,置物容器1采用的材质为硼硅玻璃或者石英。
45.优选的,加热丝3的直径尺寸为0.25mm-3mm。
46.优选的,底座2采用的材质为耐高温粘结剂,即置物容器1的采用耐高温粘结剂密封。
47.优选的,置物容器1的外径尺寸为10mm-35mm,高度尺寸为3mm-6mm。
48.优选的,置物容器1的壁厚尺寸为0.5mm-3mm,壁厚尺寸优选为3mm。
49.采用的加热丝共绕8匝,用电压为3.6v,用电流为1.6a,需功率为5.76w,加热16分钟后,温度达到了284℃,速率达到了3.3a/s;参照例二采用传统蒸发源,用电压为0.9v,用电流为43.8a,需功率为39.42w,加热10分钟,温度达到282℃,速率达到了3.38a/s,两者相比,本实施例用时长,但是功率更低。
50.工作原理:蒸发源的置物容器1的底座2采用高温粘结剂密封,固定置物容器1的同时固定了加热丝3,采用加热丝3加热有机材料,减少了热量损失,大大提升了升温降温速率,缩短了镀膜时间,并且,整体蒸发源由于加热丝3 的引入,使得使用功率极大降低,一般蒸发源使用一次约为50w,该蒸发源约为一般蒸发源的十分之一,约4.5w,使得蒸发源的材料利用率更高,镀膜均匀性更好,通过加热丝3对有机材料进行加热,虽然略微加长了蒸发需时间,但是大大降低了功率,实现了更节能的、加热更均匀的蒸发。
51.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。