1.本实用新型涉及蒸镀工艺领域，尤其涉及一种蒸镀遮掩装置，以及包括此蒸镀遮掩装置的蒸镀设备。


背景技术：

2.现有的有机发光二极管(organic light emitting diode，简称oled)有机蒸镀镀膜的技术，是利用高精度的遮板作为模具，加热有机材料使其高温挥发后以材料分子状态透过遮板的通孔蒸镀到基板上。
3.参照图1，蒸镀遮掩装置设置在蒸镀室内，此蒸镀遮掩装置包括载台1＇和遮板2＇，蒸镀时，将遮板2＇放置在中空的载台1＇上，待蒸镀基板位于载台1＇和遮板2＇的正上方，然后载台1＇和遮板2＇竖直上升移动到邻近于待蒸镀基板的位置，以对待蒸镀基板不需要蒸镀的位置进行遮挡。
4.其中，载台1＇仅能够从遮板2＇的长度方向的两端对遮板2＇提供支撑，遮板2＇的中部区域在重力的作用下会向下弯曲出现变形。当待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板和遮板2＇的中部区域之间的间隙会变大，进而使有机材料进入到遮板2＇与待蒸镀基板之间，最终导致不需要镀膜的位置被镀膜。


技术实现要素：

5.本实用新型实施例的一个目的在于：提供一种蒸镀遮掩装置，其变形小，且与待蒸镀基板之间的间隙均匀。
6.本实用新型实施例的另一个目的在于：提供一种蒸镀设备，其蒸镀得到的面板的蒸镀图形尺寸符合设计要求，蒸镀质量好。
7.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
8.第一方面，提供一种蒸镀遮掩装置，包括载台、设置在所述载台上的遮板和支撑绳，所述支撑绳绷紧设置所述遮板的下方，且所述支撑绳与所述遮板的下表面抵接，所述载台上表面靠近所述遮板的一侧处设置拉紧组件，所述支撑绳与所述拉紧组件连接，所述拉紧组件用于调节所述支撑绳的预紧力。
9.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述拉紧组件包括螺钉，所述螺钉和所述支撑绳的端部固定，所述载台的上表面凹陷设置有安装槽，所述安装槽内设置有螺纹孔，所述螺钉旋拧入所述螺纹孔内，使所述支撑绳绷紧。
10.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述安装槽具有靠近所述遮板的安装侧面，所述安装侧面和所述载台的上表面通过过渡结构连接。
11.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述过渡结构为外凸的弧面。
12.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述载台上设置有滑轮，所述安装槽具有靠近所述遮板的安装侧面，所述滑轮设置在所述安装侧面和所述载台的上表面的连接区域，所述支撑绳和所述滑轮的外侧面抵接。
13.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述载台上设置有固定块，所述遮板通过所述固定块与所述载台连接，所述固定块上设置有凹槽，所述凹槽的槽口正对所述遮板，所述支撑绳贯穿所述凹槽。
14.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述固定块和所述遮板焊接；或，
15.所述固定块和所述遮板可拆卸连接。
16.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述凹槽的槽底和/或所述凹槽的槽壁设置有垫片，所述垫片与所述固定块可拆卸连接。
17.作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述载台上表面靠近所述遮板的相对两侧均设置有所述拉紧组件，所述支撑绳的两端分别与两个所述拉紧组件连接。
18.第二方面，提供一种蒸镀设备，包括上述的蒸镀遮掩装置。
19.本实用新型的有益效果为：通过设置支撑绳，在拉紧组件的作用下，可以使支撑绳保持紧绷，紧绷状态下的支撑绳可以对遮板提供支撑，避免遮板中部区域下凹产生变形，使遮板与待蒸镀的基板之间的间隙能够处于规定的范围之内，从而提高蒸镀所得的面板质量。
附图说明
20.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
21.图1为现有技术的蒸镀遮掩装置示意图。
22.图2为本实用新型实施例一所述蒸镀遮掩装置示意图。
23.图3为本实用新型实施例二所述蒸镀遮掩装置的局部示意图。
24.图4为本实用新型实施例所述固定块和支撑绳的剖视示意图。
25.图1中：
26.1＇、载台；2＇、遮板。
27.图2至图4中：
28.1、载台；101、过渡结构；102、安装槽；1021、安装侧面；103、螺纹孔；2、遮板；3、固定块；301、凹槽；4、支撑绳；5、滑轮；6、垫片；7、螺钉。
具体实施方式
29.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
30.如图2所示，本实用新型提供的一种蒸镀遮掩装置，包括载台1、支撑绳4和设置在载台1上的遮板2，支撑绳4绷紧设置在遮板2的下方，且支撑绳4与遮板2的下表面抵接，载台1上表面靠近遮板2的一侧设置有拉紧组件，支撑绳4与拉紧组件连接，拉紧组件用于调节支撑绳4的预紧力。通过设置支撑绳4，在拉紧组件的作用下，可以使支撑绳4保持紧绷，紧绷状态下的支撑绳4可以对遮板2提供支撑，避免遮板2中部区域下凹产生变形，使遮板2与待蒸镀的基板之间的间隙能够处于规定的范围之内，从而提高蒸镀所得的面板质量。
31.具体地，拉紧组件包括螺钉7，螺钉7和支撑绳4的端部固定，载台1的上表面凹陷设置有安装槽102，安装槽102内设置有螺纹孔103，螺钉7旋拧入螺纹孔103内，使支撑绳4绷紧。在本实施例中，支撑绳4的端部固定在螺钉7的靠近螺帽的部分，螺钉7螺纹的部分旋拧入螺纹孔103内，通过调节螺钉7旋拧入螺纹孔103的深度，可以调整支撑绳4的预紧力，从而减小遮板2的变形程度。
32.在本实施例中，载台1上表面靠近遮板2的相对两侧均设置有拉紧组件，支撑绳4的两端分别与两个拉紧组件的螺钉7连接，此时，可以通过旋拧支撑绳4两端的螺钉7调整支撑绳4的预紧力，提高支撑绳4预紧力的调整范围，提高支撑绳4对遮板2的支撑效果。具体地，支撑绳4为钢丝绳，在其他实施例中，可以将支撑绳4的一端与载台1焊接固定，将支撑绳4的另一端通过螺钉7与载台1连接，这样可以减少器件的数量，简化蒸镀遮掩装置的结构。
33.参照图2和图3，具体地，安装槽102具有靠近遮板2的安装侧面1021，一实施例中，安装侧面1021和载台1的上表面通过过渡结构101连接。通过设置过渡结构101，可以避免两个侧面形成的尖角结构划伤支撑绳4，延长了支撑绳4的使用寿命。
34.具体地，过渡结构101外凸的为弧面，即安装侧面1021和载台1的上表面通过弧面连接。弧面结构简单，可以降低载台1的加工难度。在其他实施例中，过渡结构101还可以是斜面，即安装侧面1021和载台1的上表面通过斜面连接，斜面可以设置有多个，这样可以避免出现较大的尖角结构，减少支撑绳4被磨损的几率，延长支撑绳4的使用寿命。
35.参照图3，在其他实施例中，还可以在载台1上设置滑轮5，滑轮5设置在安装侧面1021和载台1上表面的连接区域，支撑绳4和滑轮5的外侧面抵接。旋拧螺钉7时，支撑绳4会与载台1的表面出现摩擦，设置滑轮5，调整支撑绳4张紧力器件，当支撑绳4移动时，支撑绳4可以带动滑轮5转动，从而避免支撑绳4出现磨损；滑轮5的设置还可以减小支撑绳4与载台1之间摩擦力，从而降低对支撑绳4的调节难度。
36.参照图2至图4，具体地，载台1上设置有固定块3，遮板2通过一固定块3与载台1连接，固定块3上设置有凹槽301，凹槽301的槽口正对遮板2，支撑绳4贯穿凹槽301。通过设置固定块3，可以避免遮板2直接压紧支撑绳4，方便调节支撑绳4的松紧程度，降低遮板2、支撑绳4和载台1三者的组装难度；在固定块3上设置镂空结构，可以为支撑绳4提供安装位置，使支撑绳4能够对遮板2提供支撑。
37.具体地，在本实施例中，载台1、固定块3和遮板2三者焊接为一体，这样可以提高载台1、固定块3和遮板2之间的连接强度，避免在蒸镀过程中遮板2出现移位。其他实施例中，载台1、固定块3和遮板2可以通过螺钉可拆卸连接，为了避免螺钉和待蒸镀基板之间出现位置干涉，螺钉应不凸出于遮板2的上表面，此时可以在遮板2上开设台阶孔，以容纳螺钉的螺帽部分；通过设置载台1、固定块3和遮板2可拆卸连接，可以方便更换固定块3和遮板2，当然，载台1、固定块3和遮板2之间也可以通过胶水粘接固定，此时，需要选择耐热性和粘接强度比较好的胶水。
38.在其他实施例中，遮板2可以直接与载台1连接，此时，载台1上设置有供支撑绳4穿过的通槽，直接在载台1上设置通槽，可以减少器件的使用，降低成本。
39.参照图4，具体地，在本实施例中，凹槽301内设置有垫片6，垫片6可以设置在凹槽301的槽底，也可以设置在凹槽301的槽壁，垫片6和固定块3可拆卸连接。通过设置垫片6，当支撑绳4的直径较小时，垫片6可以对凹槽301与支撑绳4之间的间隙进行填充，避免支撑绳4
出现移位；垫片6和固定块3之间可拆卸连接，可以根据支撑绳4的直径选择不同尺寸的垫片6，扩大支撑绳4尺寸的选择范围。
40.具体地，垫片6通过粘胶粘贴在凹槽301内，可以理解的时，垫片6起到的是填充间隙的作用，垫片6不涉及对遮板2的支撑固定，因此，垫片6与固定块3并不需要过强的粘接力，因此，当需要更换垫片6时，只需要将垫片6撕下即可。
41.具体地，可以根据遮板2的尺寸设置多条支撑绳4，从而增大支撑绳4对遮板2的支撑力，减少遮板2的变形。
42.本实施例还提供一种蒸镀设备，包括上述的蒸镀遮掩装置，由于蒸镀遮掩装置内的遮板2变形小，因此，使用此蒸镀设备蒸镀得到的面板蒸镀区域尺寸符合设计要求，成品质量好。