液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用与流程
时间:2022-02-03 阅读: 作者:专利查询
1.本发明涉及一种液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用,属于晶片抛光加工技术领域。
背景技术:
2.晶片加工时,切割下来的单晶片需要进行磨圆抛光工序,就是将单晶片固定在抛光盘上,抛光结束再取下清洗的一个过程。目前固定用的材料主要是热熔的粘接蜡,具体工艺是先将抛光盘加热到粘接蜡熔点以上,然后将粘接蜡在热的抛光盘上涂抹成一层蜡液,再用滚轮或刮片将蜡液涂抹均匀,接着将单晶片(通常是4~6片)放到抛光盘上,压平并冷却,再把抛光盘移到抛光机上进行抛光。
3.本工艺存在一个明显的缺陷,即一次不管抛光多少片单晶片,都需要将整个抛光盘都涂上粘接蜡,造成资源浪费,而且因为蜡液的流动性高,在滚涂或刮涂时并不能控制均匀力度,导致单晶片固定时不够水平,则抛光结束后晶片常有厚薄偏差超标的次品。
技术实现要素:
4.发明目的:针对上述现有存在的问题和不足,本发明的目的是提供一种液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用,单晶片固定时使得腊液平面分布较为均匀,平整度能得到保证,较整片的抛光盘上涂腊液的加工方式要平整,减少了加工困难。
5.技术方案:为实现上述发明目的,本发明采用以下技术方案:一种液体晶片粘接蜡,包括环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚,所述乙醇质量比不高于5%,正丁醇质量比不高于15%。
6.进一步的,所述各组分的质量比依次为:环保碳氢溶剂35~51%,环己烷11~24%,乙醇3~5%,正丁醇8~12%,石油醚25~27%。
7.进一步的,所述各组分的质量比依次为:环保碳氢溶剂40%,环己烷19%,乙醇4%,正丁醇12%,石油醚25%。
8.液体晶片粘接蜡的制备方法,包括如下步骤:步骤1:将环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚按权利要求2中比例混合,并搅拌均匀,得到混合液a;步骤2:将热熔型粘接蜡加入步骤1得到的混合液a中,搅拌混合均匀,得到混合液b;步骤3:将步骤2得到的混合液b进行过滤,去掉滤渣并装瓶,得到液体晶片粘接蜡。
9.液体晶片粘接蜡的应用,根据单晶片的尺寸在抛光盘上目标位置滴上2~4滴的所述液体晶片粘接蜡,然后放上单晶片,压合并加热,使溶剂完全挥发后再冷却到常温,再放到抛光盘上进行抛光。
10.进一步的,所述加热时温度为100℃~120℃,保持3~5min。
11.有益效果:与现有技术相比,本发明具有以下优点:这是一种新式的液体晶片粘接
蜡及其制备方法和应用,使得腊液分布较为均匀,单晶片固定时平面平整度能得到保证,厚薄的偏差较低。较整片的抛光盘上涂腊液的加工方式要平整,减少了很多加工困难。
具体实施方式
12.下面结合具体实施例,进一步阐明本发明,应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围,在阅读了本发明之后,本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
13.一种液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用,实施例中液体晶片粘接蜡的制备方法包括如下步骤:步骤1:将环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚按环保碳氢溶剂40%,环己烷19%,乙醇4%,正丁醇12%,石油醚25%的比例混合,并搅拌均匀,得到混合液a;步骤2:将热熔型粘接蜡加入步骤1得到的混合液a中,搅拌混合均匀,得到混合液b;步骤3:将步骤2得到的混合液b进行过滤,去掉滤渣并装瓶,得到液体晶片粘接蜡。
14.将制得的液体晶片粘接蜡进行应用:根据单晶片的尺寸在抛光盘上目标位置滴上2~4滴的所述液体晶片粘接蜡,然后放上单晶片,压合并加热,100℃~120℃,保持3~5min。使溶剂完全挥发后再冷却到常温,再放到抛光盘上进行抛光。
15.最后相黏连部分由于面积不大,可以使得腊液分布较为均匀,使得单晶片固定时水平的程度能得到保证,厚薄的偏差较低。本实施例中黏连部分明显较整片的抛光盘上涂腊液的加工方式要平整,减少了很多加工困难。
技术特征:
1.一种液体晶片粘接蜡,其特征在于:包括环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚,所述乙醇质量比不高于5%,正丁醇质量比不高于15%。2.根据权利要求1所述的液体晶片粘接蜡,其特征在于:所述各组分的质量比依次为:环保碳氢溶剂35~51%,环己烷11~24%,乙醇3~5%,正丁醇8~12%,石油醚25~27%。3.根据权利要求2所述的液体晶片粘接蜡,其特征在于:所述各组分的质量比依次为:环保碳氢溶剂40%,环己烷19%,乙醇4%,正丁醇12%,石油醚25%。4.根据权利要求1所述的液体晶片粘接蜡的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤1:将环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚按权利要求2中比例混合,并搅拌均匀,得到混合液a;步骤2:将热熔型粘接蜡加入步骤1得到的混合液a中,搅拌混合均匀,得到混合液b;步骤3:将步骤2得到的混合液b进行过滤,去掉滤渣并装瓶,得到液体晶片粘接蜡。5.权利要求4制得的液体晶片粘接蜡的应用,其特征在于:根据单晶片的尺寸在抛光盘上目标位置滴上2~4滴的所述液体晶片粘接蜡,然后放上单晶片,压合并加热,使溶剂完全挥发后再冷却到常温,再放到抛光盘上进行抛光。6.根据权利要求5的液体晶片粘接蜡的应用,其特征在于:所述加热时温度为100℃~120℃,保持3~5min。
技术总结
本发明涉及一种液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用,制备方法包括如下步骤:将环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚按比例混合,并搅拌均匀,将热熔型粘接蜡加入,搅拌混合均匀,得到混合液b,进行过滤,去掉滤渣并装瓶,得到液体晶片粘接蜡。将液体晶片粘接蜡进行应用,根据单晶片的尺寸在抛光盘上目标位置滴上液体晶片粘接蜡,然后放上单晶片,压合并加热,使溶剂完全挥发后再冷却到常温,再放到抛光盘上进行抛光。单晶片固定时使得腊液平面分布较为均匀,平整度能得到保证,较整片的抛光盘上涂腊液的加工方式要平整,减少了加工困难。减少了加工困难。
技术研发人员:潘丹 段晨龙 陈学军 贾宏艺 沈连峰 张虎
受保护的技术使用者:江苏聚冠新材料科技有限公司
技术研发日:2021.09.30
技术公布日:2022/1/25