1.本发明涉及一种用于容置易碎品的载具，更特别的是涉及一种具有导位构件的光掩模盒。


背景技术：

2.集成电路及其他半导体装置的制造领域中，一个重要的制程步骤即为微影(photolithography)。一般而言，微影涉及利用具有特定图案的光掩模使晶圆表面选择性地暴露至辐射源以形成蚀刻表面层。光掩模通常为非常平坦的透明石英，其包含欲被复制于晶圆上的图案。因现代集成电路的关键组件的尺寸微小，对洁净度要求极高，故光掩模的操作表面应保持不存在可在加工期间损伤该表面或使投射至光阻剂层上的影像扭曲的污染物，否则该二者皆会导致最终产品具有不可接受的质量。
3.一般而言，光掩模是在具有上盖及底座的标准机械接口(standard mechanical interface format；smif)容器或盒内所形成的微洁净室环境中储存及/或运送。上盖与底座相配合以形成用于保持光掩模的气密性密封光掩模盒。
4.在极紫外光微影制程中，光掩模盒的开启、盖合动作仰赖自动化，而光掩模盒的上盖与底座在盖合时，机台可能会出现对位误差，当上盖无法快速正确地盖合于底座，上盖与底座之间可能多次碰撞、磨损，不仅难以保护其储存的光掩模，过程中所产生的微粒也会使光掩模被污染。因此，需要一种辅助机台导位的装置。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于解决公知光掩模盒的种种问题，提出一种具有导位构件的光掩模盒。
6.为达上述目的及其他目的，本发明提出一种具有导位构件的光掩模盒，包含：底座，具有多个侧边；上盖，具有多个侧边，该上盖盖合于该底座而形成轮廓呈矩形的盒体，该盒体具有容置光掩模的存放空间；以及多个导位构件，该多个导位构件沿盖合方向分别设置于该上盖的至少二个侧边上，各该导位构件包括连接部、导正部及导引斜面部，该连接部连接该上盖的侧边，该导正部的一端连接该连接部且沿该盖合方向延伸，该导正部相反的一端连接该导引斜面部，该导引斜面部具有朝外部空间延伸的倾斜面。
7.可选地，该导位构件还具有至少一个肋条，自该导正部的内面朝向该存放空间凸伸。
8.可选地，该导位构件还具有至少一个凸点部，自该导正部的内面朝向该存放空间凸伸。
9.可选地，该导位构件数量设置于该上盖的侧边的两端。
10.可选地，该导位构件为长条侧板。
11.可选地，该底座的侧边具有内缩段，位置对应于该导位构件。
12.可选地，该连接部具有螺丝锁固孔位。
13.可选地，该导正部及该导引斜面部为弹性体。
14.可选地，该导位构件还具有夹持件，设置于该导正部的内面并朝向该存放空间。
15.可选地，更包括外盒，该外盒包括外盒上盖及外盒底座，当该外盒上盖盖合于该外盒底座时，该外盒中具有可容纳该盒体的安放位置。
16.本发明又提出一种具有导位构件的光掩模盒，其包含：底座，具有多个侧边；上盖，具有多个侧边，该上盖盖合于该底座而形成轮廓呈矩形的盒体，该盒体具有容置光掩模的存放空间；以及多个导位构件，沿盖合方向分别设置于该底座的至少二个侧边上，各该导位构件包括连接部、导正部及导引斜面部，该连接部连接该底座的侧边，该导正部的一端连接该连接部，该导正部相反的一端连接该导引斜面部，该导引斜面部具有朝外部空间延伸的倾斜面。
17.借此，本发明的具有导位构件的光掩模盒，若上盖与底座在x轴方向或y轴方向上的匹配有偏差，上盖先以导引斜面部的倾斜面接触底座，并顺着倾斜面使底座被引导至接触导正部，从而在最小接触的情况下在正确的相对位置迅速完成盖合。当正确盖合时，各导位构件限制底座的位置，并且使底座及上盖无法相对转动。
18.为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关发明的详细说明与附图，但是此说明与所附附图仅用来说明本发明，而非对本发明的权利范围作任何的限制。
附图说明
19.图1为根据本发明第一实施例的具有导位构件的光掩模盒的立体外观示意图。
20.图2为根据本发明第一实施例的具有导位构件的光掩模盒的盖合示意图。
21.图3a为根据本发明实施例的导位构件的第一态样的立体示意图。
22.图3b为根据本发明实施例的导位构件的第二态样的立体示意图。
23.图3c为根据本发明实施例的导位构件的第三态样的立体示意图。
24.图4为根据本发明第二实施例的具有导位构件的光掩模盒的盖合示意图。
25.图5为根据本发明第三实施例的具有导位构件的光掩模盒的盖合示意图。
26.图6a为根据本发明实施例的导位构件的第四态样的立体示意图。
27.图6b为根据本发明实施例的导位构件的第四态样的剖面示意图。
28.图7a为根据本发明实施例的导位构件的第五态样的立体示意图。
29.图7b为根据本发明实施例的导位构件的第五态样的剖面示意图。
30.附图标记：
31.100具有导位构件的光掩模盒
32.200具有导位构件的光掩模盒
33.300具有导位构件的光掩模盒
34.2盒体
35.21底座
36.211内缩段
37.212外扩段
38.22上盖
39.23侧边
40.24侧边
41.31连接部
42.311螺丝锁固孔位
43.32导正部
44.321肋条
45.322凸点部
46.33导引斜面部
47.331倾斜面
48.3a导位构件
49.3b导位构件
50.3c导位构件
51.3d导位构件
52.3e导位构件
53.3f导位构件
54.3g导位构件
55.3h导位构件
56.4长条侧板
57.5外盒
58.51外盒底座
59.52外盒上盖
60.6导位构件
61.6a导位构件
62.61连接部
63.62导正部
64.62a导正部
65.63导引斜面部
66.63a导引斜面部
67.64夹持件
68.c螺丝
69.d盖合方向
70.r光掩模
71.s存放空间
具体实施方式
72.为了充分了解本发明，通过下述具体的实施例，并配合所附的附图，对本发明做一详细说明。本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的目的、特征及功效。须注意的是，本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的精神下进行各种修饰与变更。另外，本发明所
附的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的权利要求。说明如后：
73.如图1及图2所示，本发明第一实施例的具有导位构件的光掩模盒100，其包含：底座21、上盖22及多个导位构件。
74.底座21具有多个侧边23。
75.上盖22具有多个侧边24，上盖22盖合于底座21而形成轮廓呈矩形的盒体2(即俯视下为矩形、具有四个侧边)，盒体2具有容置光掩模r(参考图5)的存放空间s。在本实施例中，盒体2的角落为圆角，以降低摩擦、减少碰撞，然而本发明不限于此。
76.多个导位构件沿上盖22盖合的盖合方向d分别设置于上盖22的至少二个侧边24上。在本实施例中，设置八个导位构件3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h沿上盖22盖合的盖合方向d分别设置于上盖22的四个侧边24，每个侧边的两端分别设有一个上述的导位构件，每个导位构件邻近于盒体2的角落。八个导位构件乃为了重量平衡、设计美观等因素考虑，实际上本发明不限于此，可以由其他数量、其他的设置方式。
77.例如，在一个例子中，导位构件数量为四个，分别设置于上盖22的四个侧边24，例如只设置图1中的导位构件3a、3c、3e、3g，即每个侧边设有一个导位构件，且每个角落分配一个导位构件。
78.在另一个例子中，导位构件数量为四个，分别设置于上盖22的四个侧边24，例如只设置图1中的导位构件3a、3b、3e、3f，即每个侧边设有一个导位构件，且四个导位构件分别位于盒体2的二对角。
79.四个导位构件也可以改设为分别设置为四个侧边的中段，而非邻近盒体2的角落。
80.而为了精简导位构件的数量，本发明的具有导位构件的光掩模盒甚至可以最低限度仅设二个导位构件，分别设置于上盖22的相邻的二个侧边24。二个导位构件可以为只设置图1中的导位构件3a、3b(集中于一角落)，或只设置图1中的导位构件3a、3c(分别设置于相邻角落)，或只设置图1中的导位构件3a、3f(分别设置于对角)，且本发明不限于此。二个导位构件仅需要能分别协助图面中x轴方向与y轴方向的导位即可。
81.如图3a所示，各导位构件以导位构件3a为例，其包括连接部31、导正部32及导引斜面部33。连接部31连接上盖22的侧边24，导正部32的一端连接连接部31且沿盖合方向d延伸，导正部32相反的一端连接导引斜面部33，导引斜面部33具有朝外部空间延伸的倾斜面331。
82.借此，如图2所示，当操作上盖22与底座21相对盖合时，若上盖22与底座21在x轴方向或y轴方向上的匹配有偏差，上盖22先以导引斜面部33的倾斜面331接触底座21，并顺着倾斜面331使底座21被引导至接触导正部32(可为底座21或上盖22任一个相对移动)，从而在最小接触的情况下在正确的相对位置完成盖合。当正确盖合时，各导位构件限制底座21的位置，并且使底座21及上盖22无法相对转动。较佳地，各导位构件与底座21侧边约有0.2公厘的间隙。各导位构件的材质可为：聚醚醚酮(polyetheretherketone，peek)、氟化烃橡胶(fluorinated hydrocarbon rubber，kfm)、聚碳酸酯(polycarbonate，pc)等塑料材质及铝、不锈钢等等金属材质，以不易被磨耗的材质为佳。
83.进一步地，在一个例子中，如图2及图3a所示，连接部31具有螺丝锁固孔位311，以允许螺丝c将导位构件锁固于上盖22。然而本发明不限于此，导位构件可以采用其他方式连
接于上盖22或底座21，譬如采用卡扣或其他构型方式。
84.进一步地，在一个例子中，如图3a所示，导位构件3a还具有至少一个肋条321，自导正部32的内面朝向存放空间s凸伸。肋条321可使导位构件3a与底座21可能接触的面积更小，进一步降低摩擦产生的颗粒。
85.进一步地，在一个例子中，如图3b所示，导位构件3a的另一个态样为：具有至少一个凸点部322，自导正部32的内面朝向存放空间s凸伸。凸点部322的功用如同前一个实施态样的肋条321，用以进一步降低摩擦产生的颗粒。
86.进一步地，在一个例子中，如图3c所示，导位构件的另一个态样为长条侧板4，其取代了在一个侧边的两端分别设置两个导位构件的形式，而有更好更稳固的导位效果。
87.进一步地，如图2所示，在本实施例中各导位构件3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h的连接部31连接于上盖22的侧边24，而底座21的侧边23具有内缩段211及外扩段212。内缩段211位置对应于导位构件3b，内缩段211及外扩段212可协同限制导位构件3b的位置，也可辅助上盖22的导位。
88.进一步地，在一个例子中，如图6a及图6b所示，导位构件6的另一个态样为：导正部62及导引斜面部63为弹性体。与先前态样的刚性的导正部32及导引斜面部33不同，导正部62及导引斜面部63具有一定程度的弹性并可因受力而形变，使得当底座21及上盖22的尺寸有公差时，导位构件6仍可借由弹性的导正部62及导引斜面部63而夹持、固定底座21及上盖22。在这个实施例中，弹性的导正部62及导引斜面部63紧密贴合底座21及上盖22，借由此种方式减少导位构件6、底座21及上盖22之间的摩擦。连接部61可为刚性或弹性体，且本发明不限于此。
89.进一步地，在一个例子中，如图7a及图7b所示，导位构件6a的另一个态样为：导位构件6a包括连接部61、导正部62a及导引斜面部63a。导正部62a及导引斜面部63a不限刚性或弹性体，且导位构件6a还具有夹持件64，设置于导正部62a的内面并朝向存放空间s。夹持件64为柔软具有弹性的长条体或表面涂层(例：表面涂布铁氟龙)，当底座21及上盖22盖合后，夹持件64夹持固定底座21及上盖22，使得盖盒后底座21及上盖22无x、y方向的位移及旋转位移，借由此种方式以减少导位构件6a、底座21及上盖22之间的摩擦。
90.进一步地，如图4所示，在本发明第二实施例中，与第一实施例的差别在于，具有导位构件的光掩模盒200的各导位构件沿上盖22盖合的盖合方向d分别设置于底座21的至少二个侧边23上。在本实施例中，各导位构件3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h的连接部31连接于底座21的侧边23，导正部32的一端连接连接部31，导正部32相反的一端连接导引斜面部33，导引斜面部33具有朝外部空间延伸的倾斜面331(即导引斜面部33朝上)。当上盖22盖合时，若在x轴方向或y轴方向上的匹配有偏差，则上盖22顺着导引斜面部33被导引至正确的定位。
91.进一步地，如图5所示，在本发明第三实施例中，具有导位构件的光掩模盒300更包括外盒5，外盒5包括外盒上盖52及外盒底座51，当外盒上盖52盖合于外盒底座51时，外盒5中具有可容纳上盖22及底座21形成的盒体2的安放位置，而光掩模r容置于盒体2的存放空间s。借此，使光掩模r具有双重的保护。
92.本发明在上文中已以较佳实施例揭露，然而本领域技术人员应理解的是，所述实施例仅用于描绘本发明，而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是，凡是与所述实施例等效的变化与置换，均应设定为涵盖在本发明的范围内。因此，本发明的保护范围当以权利
要求所界定的内容为准。