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掩模版脱膜模具的制作方法

时间:2022-02-10 阅读: 作者:专利查询

掩模版脱膜模具的制作方法

1.本实用新型涉及掩模版用设备技术领域,特别是涉及掩模版脱膜模具。


背景技术:

2.掩模版是一种表面用金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板,一般情况下载板为透明玻璃。
3.现有的掩模版在脱膜时,是在一固定容器中倒入适量的碱性溶液,放入叠好的无尘布,将显影、蚀刻完之后的掩模版静置在溶液中,一角放在无尘布上,方便拿取,因为溶液没有流动性,所以导致脱膜速率较慢,且易造成脱膜不均匀,未彻底去除光刻胶,同时,掩模版取出方向与溶液接触面积过大,由于引力作用,可能造成去除掉的光刻胶堆积在掩模版表面,且现有的脱膜为掩模版平放在溶液中,所以为了多张掩模版可以同时脱膜,需要大面积的溶液,溶液与空气大面积的接触,会增大溶液的挥发,造成成本的损失和无尘室环境的污染。


技术实现要素:

4.基于此,有必要针对现有的掩模版用脱膜装置不方便同时多张掩模版脱膜,脱膜速率慢的问题,提供一种掩模版脱膜模具。
5.本实用新型提供了一种掩模版脱膜模具,包括:
6.溶液放置箱,所述溶液放置箱的上方为开口结构;
7.模具槽,所述模具槽设置在所述溶液放置箱内,所述模具槽包括第一放置槽和第二放置槽,所述第一放置槽沿掩模版宽度方向设置有多个第一卡槽,每个所述第一卡槽上的槽口的尺寸不同;所述第二放置槽沿掩模版宽度方向设置有多个第二卡槽,每个所述第二卡槽上的槽口的尺寸不同,且每个所述第二卡槽与每个所述第一卡槽相对设置。
8.在其中一个实施例中,所述第一放置槽和所述第二放置槽沿所述溶液放置箱高度方向的侧面均为镂空状。
9.在其中一个实施例中,所述第一卡槽朝向所述第二卡槽一侧的槽口宽度大于所述第一卡槽远离所述第二卡槽一侧的槽口宽度;
10.所述第二卡槽朝向所述第一卡槽一侧的槽口宽度大于所述第二卡槽远离所述第一卡槽一侧的槽口宽度。
11.在其中一个实施例中,所述模具槽的上表面为阶梯型结构。
12.在其中一个实施例中,还包括把手,所述把手设置在所述模具槽上。
13.在其中一个实施例中,所述把手上设置有防滑纹。
14.在其中一个实施例中,所述溶液放置箱的一侧设置有溶液入口,所述溶液放置箱的侧面上还设置有溶液出口,所述溶液入口与所述溶液出口位于所述溶液放置箱的相对两侧。
15.在其中一个实施例中,还包括第一阀门和第二阀门,所述第一阀门设置在所述溶
液入口上,所述第二阀门设置在所述溶液出口上。
16.在其中一个实施例中,还包括液位显示器,所述液位显示器设置在所述溶液放置箱内。
17.在其中一个实施例中,还包括防尘罩,所述防尘罩设置在所述溶液放置箱的开口侧。
18.本实用新型的有益效果包括:
19.本技术提供的掩模版脱膜模具,由于第一放置槽沿掩模版宽度方向设置有多个第一卡槽,每个第一卡槽上的槽口的尺寸不同;第二放置槽沿掩模版宽度方向设置有多个第二卡槽,每个第二卡槽上的槽口的尺寸不同,且每个第二卡槽与每个第一卡槽相对设置,所以当需要脱膜时,可以同时将多个不同规格的掩模版放置对应的第一卡槽和第二卡槽之间,然后在溶液放置箱内倒入碱性溶液即可,该模具方便同时对多张掩模版脱膜,有效提高了脱膜速率;同时该掩模版是竖直排列在模具槽,可以保证在整个脱膜过程中,掩模版的镜面和膜面无直接接触除溶液以外的其他物质,避免划伤。
附图说明
20.图1为本实用新型一实施例提供的掩模版脱膜模具的结构示意图;
21.图2为图1中的模具槽的俯视图;
22.图3为图2的又一示意图;
23.图4为图1中的模具槽的侧视图。
24.图中标记如下:
25.10、溶液放置箱;101、溶液入口;102、溶液出口;20、模具槽;201、第一放置槽;2011、第一卡槽;202、第二放置槽;2021、第二卡槽;203、镂空状;30、把手;40、掩模版。
具体实施方式
26.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
27.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
29.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
31.需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
32.如图1并结合图2、图3所示,本实用新型一实施例中,提供了一种掩模版脱膜模具,包括:溶液放置箱10和模具槽20,其中,溶液放置箱10的上方为开口结构,模具槽20设置在溶液放置箱10内,模具槽20包括第一放置槽201和第二放置槽202,第一放置槽201沿掩模版宽度方向设置有多个第一卡槽2011,每个第一卡槽2011上的槽口的尺寸不同;第二放置槽202沿掩模版宽度方向设置有多个第二卡槽2021,每个第二卡槽2021上的槽口的尺寸不同,且每个第二卡槽2021与每个第一卡槽2011相对设置。
33.由于目前生产上使用的脱膜液有碱性脱膜液和酸性脱膜液两种,为了满足使用条件和增长使用寿命,所以该模具整体的材质为ptfe材质,在使用时,如图2并结合图3所示,将多个掩模版40竖直放置到对应的第一卡槽2011和第二卡槽2021之间,此时,多个掩模版40相互平行,然后在溶液放置箱10内倒入碱性溶液即可,该模具方便同时对多张掩模版脱膜,有效提高了脱膜速率;同时该掩模版是竖直排列在模具槽,可以保证在整个脱膜过程中,掩模版的镜面和膜面无直接接触除溶液以外的其他物质,避免划伤。
34.在一些实施例中,如图4所示,本技术中的第一放置槽201和第二放置槽202沿溶液放置箱10高度方向的侧面均为镂空状203,镂空状203的设置,保证溶液放置箱10内的溶液在流动过程中可以流入到第一放置槽201和第二放置槽202内,进而冲刷到掩模版40表面。
35.在一些实施例中,如图3所示,本技术中的第一卡槽2011朝向第二卡槽2021一侧的槽口宽度大于第一卡槽2011远离第二卡槽2021一侧的槽口宽度;第二卡槽2021朝向第一卡槽2011一侧的槽口宽度大于第二卡槽2021远离第一卡槽2011一侧的槽口宽度,这样保证了掩模版40在晃动时接触点也在掩模版40的侧面。
36.在一些实施例中,如图4所示,本技术中的模具槽20的上表面为阶梯型结构,阶梯型结构的设置,方便了将不同高度的掩模版40放入到模具槽20内。
37.在一些实施例中,如图1所示,本技术中的掩模版脱膜模具还包括把手30,该把手30设置在模具槽20上。把手30的设置,方便了模具槽20整体的取放。
38.在一些实施例中,本技术中的把手30上设置有防滑纹,防滑纹的设置,避免了在抓
取把手30时发生打滑现象。
39.在一些实施例中,如图1所示,本技术中的溶液放置箱10的一侧设置有溶液入口101,溶液放置箱10的侧面上还设置有溶液出口102,溶液入口101与溶液出口102位于溶液放置箱的相对两侧。液入口101和溶液出口102的设置,方便了给溶液放置箱10内注入溶液或者排除溶液放置箱10内的溶液。
40.在一些实施例中,本技术中的掩模版脱膜模具还包括第一阀门和第二阀门,其中,第一阀门设置在溶液入口101上,第二阀门设置在溶液出口102上。第一阀门的设置,方便控制溶液入口101的开启或者关闭,第二阀门的设置,方便控制溶液出口102的开启或者关闭。
41.在一些实施例中,本技术中的掩模版脱膜模具还包括液位显示器,液位显示器设置在溶液放置箱10内,液位显示器的设置,方便观察溶液放置箱10内溶液的多少。
42.在一些实施例中,本技术中的掩模版脱膜模具还包括防尘罩,防尘罩设置在溶液放置箱10的开口侧,防尘罩的设置,避免了在使用时,灰尘或其他杂物从溶液放置箱10的开口侧落入到溶液放置箱10内。
43.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
44.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。