1.本实用新型涉及半导体电子元件生产技术领域，具体为一种基于油介质的真空快速升降温装置。
背景技术：
2.电子元器件在生产过程中需要用到真空无尘的生产过程，通过高温静电除尘，在高温完成处理后由于无法快速冷却工艺只能等待自然冷却后进行更换加工的产品，使得在整个生产过程中时间变得太长，影响了生产的效率，因为高温真空状态下，箱体内温度过高，在没有冷却到安全温度情况下，人为接触会对人本身造成伤害，故此本实用新型提供了一种新的技术方案。
技术实现要素：
3.本实用新型的目的在于提供一种基于油介质的真空快速升降温装置，以解决现有温控升降温装置由于无法快速冷却而容易影响生产效率，则造成电能消耗,生产时间增长，使得装置加工成本提高的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于油介质的真空快速升降温装置，包括外箱体、内箱体、真空管、吸泵、散热器、加热槽以及电磁阀，所述内箱体固定设置在外箱体内部，所述真空管与内箱体内部管道相连，并与内部管道形成闭合回路；所述吸泵串联在真空管上；所述加热槽中设置有加热器，所述散热器、加热槽相互并联在真空管上；所述电磁阀设置有四组，四组电磁阀分别设置在散热器、加热槽两侧的真空管上，且电磁阀与plc控制器电性连接，所述散热器、加热器均与plc控制器电性连接。
5.优选的，所述内箱体内部管道为u形盘管，所述u形盘管通过盘管固定件固定在内箱体中。
6.优选的，所述盘管固定件设置至少根为一组，设置~组，所述u形盘管的个数与盘管固定件配套设置。
7.优选的，所述外箱体、内箱体均由耐腐蚀性金属材质支撑，且内箱体内部设置为密封的真空环境。
8.优选的，所述散热器两侧的电磁阀保持同步状态，所述加热槽两侧的电磁阀保持同步状态。
9.优选的，所述外箱体的外侧设有冷却油槽，所述冷却油槽通过管道与内部的真空管相互连通。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过plc控制电磁阀组与吸泵、散热器、加热器等部件工作，实现在需要高温时，plc控制加热器工作通过吸泵吸入循环热气体实现加热，当需要取出产品需要降温时plc控制电磁阀关闭加热系统，打开循环油进行快速降温散热，同时将油槽内降温油进行单循环作业实现快速降温的目的；相较于自然冷却时间，本技术方案运作可实现3-6倍的工作效率。
附图说明
11.图1为本实用新型的结构示意图；
12.图2为本实用新型的控制示意图；
13.图中标号：1、外箱体；2、内箱体；3、盘管固定件；4、u形盘管；5、真空管；6、吸泵；7、散热器；8、加热槽；9、加热器；10、电磁阀；11、冷却油槽。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
16.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种基于油介质的真空快速升降温装置，包括外箱体1、内箱体2、真空管5、吸泵6、散热器7、加热槽8以及电磁阀10，所述内箱体2固定设置在外箱体1内部，所述真空管5与内箱体2内部管道相连，并与内部管道形成闭合回路；所述吸泵6串联在真空管5上；所述加热槽8中设置有加热器9，所述散热器7、加热槽8相互并联在真空管5上；所述电磁阀10设置有四组，四组电磁阀10分别设置在散热器7、加热槽8两侧的真空管5上，且电磁阀10与plc控制器电性连接，所述散热器7、加热器9均与plc控制器电性连接。
18.进一步的，所述内箱体2内部管道为u形盘管4，所述u形盘管4通过盘管固定件3固定在内箱体2中。
19.进一步的，所述盘管固定件3设置至少9根为一组，设置1~6组，所述u形盘管4的个数与盘管固定件3配套设置。
20.进一步的，所述外箱体1、内箱体2均由耐腐蚀性金属材质支撑，且内箱体2内部设置为密封的真空环境。
21.进一步的，所述散热器7两侧的电磁阀10保持同步状态，所述加热槽8两侧的电磁阀10保持同步状态。
22.进一步的，所述外箱体1的外侧设有冷却油槽11，所述冷却油槽11通过管道与内部的真空管5相互连通。
23.工作原理：请参阅图1~2，四组电磁阀10分别用a、b、c、d进行指代；其中a、c电磁阀10处于散热器7两侧，b、d电磁阀10处于加热槽8两侧；当设备需要高温工作时，plc控制器执
行闭路a、c电磁阀10，打开b、d电磁阀10实现循环持续加热并通过吸泵输入循环热量，同时使加热器9工作进行加热。当完成工作后需要快速降温时，此时plc控制器执行闭路d电磁阀10，开启a、b、c电磁阀10，同时使散热器7工作进行散热。吸泵6与外置油槽管路相连，通过打开外置油槽管路的阀门，使吸泵6将油液快速输送至内箱体2内的u形盘管4进行循环通过实现快速降温；此时循环的热油通过油槽进行回收，冷却油槽11则持续进行冷油循环降温，从而实现快速升降温的目的，达到提高生产效率的目的。
24.值得注意的是：整个装置通过总控制按钮对其实现控制，由于控制按钮匹配的设备为常用设备，属于现有成熟技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：
1.一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：包括外箱体（1）、内箱体（2）、真空管（5）、吸泵（6）、散热器（7）、加热槽（8）以及电磁阀（10），所述内箱体（2）固定设置在外箱体（1）内部，所述真空管（5）与内箱体（2）内部管道相连，并与内部管道形成闭合回路；所述吸泵（6）串联在真空管（5）上；所述加热槽（8）中设置有加热器（9），所述散热器（7）、加热槽（8）相互并联在真空管（5）上；所述电磁阀（10）设置有四组，四组电磁阀（10）分别设置在散热器（7）、加热槽（8）两侧的真空管（5）上，且电磁阀（10）与plc控制器电性连接，所述散热器（7）、加热器（9）均与plc控制器电性连接。2.根据权利要求1所述的一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：所述内箱体（2）内部管道为u形盘管（4），所述u形盘管（4）通过盘管固定件（3）固定在内箱体（2）中。3.根据权利要求2所述的一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：所述盘管固定件（3）设置至少9根为一组，设置1~6组，所述u形盘管（4）的个数与盘管固定件（3）配套设置。4.根据权利要求1所述的一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：所述外箱体（1）、内箱体（2）均由耐腐蚀性金属材质支撑，且内箱体（2）内部设置为密封的真空环境。5.根据权利要求1所述的一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：所述散热器（7）两侧的电磁阀（10）保持同步状态，所述加热槽（8）两侧的电磁阀（10）保持同步状态。6.根据权利要求1所述的一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：所述外箱体（1）的外侧设有冷却油槽（11），所述冷却油槽（11）通过管道与内部的真空管（5）相互连通。
技术总结
本实用新型涉及半导体电子元件生产技术领域，具体公开了一种基于油介质的真空快速升降温装置，包括外箱体、内箱体、真空管、吸泵、散热器、加热槽以及电磁阀，所述内箱体固定设置在外箱体内部，所述真空管与内箱体内部管道相连，所述吸泵串联在真空管上；所述加热槽中设置有加热器，所述散热器、加热槽相互并联在真空管道上；所述电磁阀设置有四组，四组电磁阀分别设置在散热器、加热槽两侧的真空管道上，且电磁阀与PLC控制器电性连接；本实用新型通过PLC控制器控制电磁阀组与吸泵及散热器、加热器等部件工作，能够根据工作需要，提供高温或者降温的工作环境；相较于自然冷却时间，本方案运作可提高3~6倍的工作效率。方案运作可提高3~6倍的工作效率。方案运作可提高3~6倍的工作效率。
技术研发人员：王刘刘 余枫
受保护的技术使用者：上海目尼实验设备有限公司
技术研发日：2021.08.18
技术公布日：2022/1/26