1.本发明涉及过热水蒸气生成装置。


背景技术：

2.近年，考虑了使用过热水蒸气对被处理物进行清洗、干燥或灭菌的过热水蒸气处理装置(例如专利文献1)。
3.该过热水蒸气生成装置具备：饱和水蒸气生成部，对水进行加热而生成饱和水蒸气；以及过热水蒸气生成部，对该饱和水蒸气进行加热而生成过热水蒸气。另外，作为过热水蒸气生成装置也有不具有饱和水蒸气生成部而供给在外部生成的饱和水蒸气并生成过热水蒸气的。
4.为了使在这些过热水蒸气生成装置中生成的过热水蒸气大容量化，可以考虑将过热水蒸气生成部大型化。例如，在过热水蒸气生成部为对导体管进行感应加热或通电加热的情况下，可以考虑增大导体管的直径等。
5.但是，如果增大导体管的直径，则导体管的弯曲加工变难，导致丧失设计的自由度。另外，如果使一个过热水蒸气生成部大型化，则导致在该过热水蒸气生成部的产品检查中采用的试验设备也大型化，其制造也是困难的。
6.现有技术文献
7.专利文献1：日本专利公开公报特开2006
‑
226561号


技术实现要素：

8.因此，本发明是用于解决上述的问题点而做出的发明，本发明的主要目的在于在不使一个过热水蒸气生成部大型化的情况下使过热水蒸气的生成大容量化。
9.即，本发明的过热水蒸气生成装置对从导入口导入的水蒸气进行加热并从导出口导出过热水蒸气，所述过热水蒸气生成装置具备：多个或多组的过热水蒸气生成部，对水蒸气进行加热而生成过热水蒸气；分配管，将从所述导入口导入的水蒸气分配并导入所述多个或多组的过热水蒸气生成部；以及汇合管，将由所述多个或多组的过热水蒸气生成部生成的过热水蒸气汇合并从所述导出口导出。
10.如果是这样的过热水蒸气生成装置，则由于向多个或多组的过热水蒸气生成部分配水蒸气，将由多个或多组的过热水蒸气生成部生成的过热水蒸气汇合并导出，所以能够在不使一个过热水蒸气生成部大型化的情况下使过热水蒸气的生成大容量化。
11.水蒸气流向分配管，但是如果在该分配管中水蒸气液化，则有可能最终从导出口导出液化后的水。
12.为了防止水蒸气的液化，优选的是，过热水蒸气生成装置还具备对所述分配管进行加热的分配管加热部。另外优选的是，分配管加热部将分配管加热到100℃以上。
13.过热水蒸气流向汇合管，但是如果在该汇合管中水蒸气液化，则有可能最终从导出口导出液化后的水。另外，导致无法从导出口导出所希望的温度的过热水蒸气。
14.为了防止水蒸气的液化并且导出所希望的温度的过热水蒸气，优选的是，过热水蒸气生成装置还具备对所述汇合管进行加热的汇合管加热部。另外优选的是，汇合管加热部将汇合管加热到过热水蒸气的设定温度。
15.作为具体的实施方式可以考虑，所述多组的过热水蒸气生成部是偶数组，所述多组的过热水蒸气生成部以各自的过热水蒸气导出口彼此相对的方式配置成左右2列。
16.如果是该构成，则由于左右2列的过热水蒸气生成部的过热水蒸气导出口配置成彼此相对，所以能够使各个过热水蒸气导出口与汇合管的连接构成简单。
17.为了使装置整体的配管的处理简单，优选的是，所述多组的过热水蒸气生成部以成为左右对称的方式配置成2列，所述汇合管通过所述左右2列的过热水蒸气生成部之间，并与所述多组的过热水蒸气生成部连接。
18.为了防止从过热水蒸气生成装置导出液化后的水，优选的是，过热水蒸气生成装置还具备出水防止机构，所述出水防止机构防止从所述导出口导出所述水蒸气液化后的水，所述出水防止机构具有：温度传感器，检测所述过热水蒸气生成部的温度；以及控制装置，控制所述过热水蒸气生成部，所述控制装置控制所述过热水蒸气生成部，以在所述水蒸气导入所述导入口之前使所述温度传感器的检测温度变成100℃以上。
19.如果是该构成，则构成为在通过出水防止机构将导出口侧的温度加热到100℃以上后，将水蒸气导入导入口，因此能够防止从导出口导出水蒸气液化后的水。其结果，能够抑制液化后的水对使用过热水蒸气进行热处理的被处理物产生不好的影响。
20.具体地说，所述过热水蒸气生成部具有与所述汇合管连接的连接口。
21.而且，为了不从导出口导出液化后的水，需要不从过热水蒸气生成部导出液化后的水，所以在过热水蒸气生成部中至少需要使导出口的温度为100℃以上。因此优选的是，所述温度传感器在所述导体管上设置在所述导出口侧。
22.可以考虑本发明的过热水蒸气生成装置构成为在所述导入口侧设置有开关电磁阀。
23.在该构成中，为了自动地使出水防止功能起作用，优选的是，当所述温度传感器的检测温度变成100℃以上时，所述控制装置使所述开关电磁阀打开，将水蒸气导入所述导入口。另外，即使在是与饱和水蒸气生成装置分开的装置构成的情况下，也能够在过热水蒸气生成装置的导入口侧进行控制，以使在过热水蒸气生成装置变成100℃以上之前不导入水蒸气。
24.为了缓和过热水蒸气生成装置的热冲击，优选的是，所述开关电磁阀是电动比例阀，所述控制装置以使所述电动比例阀的阀开度逐渐变大的方式使所述电动比例阀打开。
25.另外优选的是，本发明的过热水蒸气生成装置还具备导出侧收集机构，所述导出侧收集机构设置在所述导出口侧，收集所述水蒸气液化后的水。
26.如果是该构成，则能够进一步防止从过热水蒸气生成装置导出液化后的水。
27.此外，在本发明中优选的是，过热水蒸气生成装置还具备导入侧收集机构，所述导入侧收集机构设置在所述导入口侧，收集所述水蒸气液化后的水。
28.如果是该构成，则能够防止水蒸气液化后的水导入过热水蒸气生成装置，能够进一步防止从过热水蒸气生成装置导出液化后的水。
29.作为过热水蒸气生成部的具体的实施方式，优选的是，所述过热水蒸气生成部具
有螺旋状地卷绕的圆筒状的导体管，对该导体管进行感应加热或通电加热。
30.在使该构成的过热水蒸气生成部大容量化时，可以考虑增大导体管的直径，但是如果增大导体管的直径，则难以将导体管弯曲，因此是不现实的。为了使导体管容易变形，通常使卷径为管径的10倍程度。例如为了将直径为100mm的管螺旋状地卷绕，需要使卷绕直径为1000mm程度，因此制造非常困难。
31.另一方面，在本发明中，由于具有多个或多组的过热水蒸气生成部，所以容易大容量化而无需增大各过热水蒸气生成部的导体管的直径。
32.可以考虑使本发明的过热水蒸气生成部为所谓的变压器型的构成。具体地说，可以考虑所述过热水蒸气生成部使螺旋状地卷绕的圆筒状的导体管沿轴向短路，通过设置在该导体管的内侧以及外侧或其中一方的磁通产生机构进行感应加热，加热流过所述导体管的水蒸气，生成过热水蒸气。
33.为了提高多个过热水蒸气生成部各自的加热效率，并且简化多个过热水蒸气生成部的构成，优选的是，所述磁通产生机构具备感应线圈以及设置在该感应线圈的内侧的铁芯，所述多个过热水蒸气生成部中的两个以上的所述铁芯通过连接铁芯连接而形成封闭磁路。
34.由于过热水蒸气生成部、分支管以及汇合管分别为不同的温度，所以彼此的热膨胀的程度不同。因此优选的是，过热水蒸气生成装置还具有热膨胀吸收结构，所述热膨胀吸收结构吸收所述过热水蒸气生成部、所述分配管以及所述汇合管的彼此的热膨胀的差异。
35.为了能够变更生成的过热水蒸气的容量，可以考虑如下的构成：所述分配管具有与所述多个过热水蒸气生成部对应的分支管，在所述分支管上设置有开关阀，能够变更被分配水蒸气的过热水蒸气生成部的数量或水蒸气分配流量比。另外，如果是该构成，则能够不向需要维保的过热水蒸气生成部分配水蒸气。
36.优选的是，所述分配管具有与所述多个或多组的过热水蒸气生成部对应的分支管，通过调整所述分支管的管径以及长度，使导入各个所述过热水蒸气生成部的水蒸气流量相同。
37.这样，通过使导入各个过热水蒸气生成部的水蒸气流量相同，能够共同地控制各过热水蒸气生成部，并且能够容易得到相同温度的过热水蒸气。
38.另外优选的是，本发明的过热水蒸气生成装置在所述过热水蒸气生成部各自的导出侧个别地设置有温度传感器，基于所述温度传感器的检测温度进行控制，以使从各个所述过热水蒸气生成部输出的过热水蒸气的温度成为相同。
39.在该构成中，从过热水蒸气生成装置导出的过热水蒸气温度基于导出口侧的温度传感器的检测温度进行电力控制，并以基于设置在各个过热水蒸气生成部的个别的温度传感器的检测温度使从各个过热水蒸气生成部输出的过热水蒸气温度成为相同的方式控制平衡。
40.按照这样构成的本发明，能够在不使一个过热水蒸气生成部大型化的情况下使过热水蒸气的生成大容量化。
附图说明
41.图1是示意性地表示本发明的一个实施方式的过热水蒸气生成装置的构成的图。
42.图2是示意性地表示同实施方式的过热水蒸气生成部的具体构成的立体图。
43.图3是示意性地表示同实施方式的过热水蒸气生成部的具体构成的剖视图。
44.图4是示意性地表示同实施方式的导体管的具体构成的立体图。
45.图5是表示同实施方式的磁通产生机构的铁芯构成的剖视图。
46.图6是表示同实施方式的分配管的构成的示意图。
47.图7是表示同实施方式的汇合管的构成的示意图。
48.图8是表示同实施方式的从停止状态到将水蒸气导入导入口为止的动作的图。
49.图9是示意性地表示变形实施方式的过热水蒸气生成装置的构成的图。
50.图10是示意性地表示变形实施方式的过热水蒸气生成装置的构成的图。
51.附图标记说明
52.100 过热水蒸气生成装置
53.p1
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导入口
54.p2
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导出口
55.21
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导体管
[0056]5ꢀꢀꢀ
出水防止机构
[0057]
51
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温度传感器
[0058]
52
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控制装置
[0059]
53
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开关电磁阀(电动比例阀)
[0060]6ꢀꢀꢀ
导出侧收集机构
[0061]7ꢀꢀꢀ
导入侧收集机构
具体实施方式
[0062]
以下参照附图对本发明的过热水蒸气生成装置的一个实施方式进行说明。
[0063]
＜1.装置构成＞
[0064]
本实施方式的过热水蒸气生成装置100对在外部生成的水蒸气进行加热，生成超过100℃(200℃～2000℃)的过热水蒸气。另外，作为在外部生成水蒸气的装置(水蒸气生成装置)，只要是能够从水生成水蒸气的装置，则可以使用各种锅炉(boiler)。
[0065]
如图1所示，本实施方式的过热水蒸气生成装置100对从导入口p1导入的水蒸气进行加热而生成过热水蒸气，并将该过热水蒸气从导出口p2导出。
[0066]
具体地说，该过热水蒸气生成装置100具备：多个过热水蒸气生成部2，对水蒸气进行加热而生成过热水蒸气；分配管3，将从导入口p1导入的水蒸气分配并导入多个过热水蒸气生成部2；以及汇合管4，将由多个过热水蒸气生成部2生成的过热水蒸气汇合并从导出口p2导出。本实施方式是具有6个过热水蒸气生成部2的构成，但是过热水蒸气生成部的数量不限于此。另外，多个过热水蒸气生成部2、分配管3以及汇合管4收容在壳体的内部，导入口p1以及导出口p2从该壳体的侧面伸出。
[0067]
首先，对过热水蒸气生成部2进行说明。
[0068]
如图1所示，过热水蒸气生成部2设置有偶数个，3个过热水蒸气生成部作为1组通过连接铁芯(在图1中未图示)连接。而且，该2组的过热水蒸气生成部2以成为左右对称的方式设置成左右2列。也可以将这样配置的多组的过热水蒸气生成部2设置成多级。
[0069]
如图2以及图3所示，各过热水蒸气生成部2使螺旋状地卷绕的圆筒状的导体管21沿轴向短路，通过设置在该导体管21的内侧以及外侧、或其中一方的磁通产生机构22进行感应加热，对流过导体管21的水蒸气进行加热而生成过热水蒸气。
[0070]
导体管21是具有导入侧连接口p3以及导出侧连接口p4的水蒸气收容部。该导体管21通过螺旋状地卷绕具有导电性的管而成为圆筒状并且沿轴向短路。该导体管21具有：导入侧连接口p3，与分配管3连接，导入水蒸气；以及导出侧连接口p4，与汇合管4连接，导出过热水蒸气。导出侧连接口p4形成过热水蒸气导出口。另外，相当于导体管21的一圈的卷绕部分彼此接触或靠近。作为导体管21的材质，例如可以使用奥氏体(austenitic)系不锈钢、因科耐尔(inconel)合金。另外，导体管21的详细构成在后面叙述。
[0071]
磁通产生机构22设置在导体管21的内侧以及外侧，对导体管21进行感应加热，具有沿着导体管21的内表面以及外表面设置的感应线圈221。通过工频(50hz或60hz)的交流电源对感应线圈221施加交流电压。
[0072]
在这样构成的过热水蒸气生成装置100中，通过对感应线圈221施加50hz或60hz的交流电压，感应电流流过导体管21，导体管21产生焦耳热。而且，流过导体管21的水蒸气从导体管21的内表面接收热量从而被加热，由此生成过热水蒸气。
[0073]
而且，在本实施方式的过热水蒸气生成装置100中，如图2以及图4所示，导体管21的导入侧连接口p3设置在导体管21的轴向两端部，并且导体管21的导出侧连接口p4设置在导体管21的轴向中央部。本实施方式的导出侧连接口p4设置在将导体管21沿轴向二等分的位置，但不限于此。
[0074]
具体地说，如图4所示，导体管21在轴向中央部被分割成两个导体管部件211、212。而且，导入侧连接口p3设置在各导体管部件211、212的轴向外侧端部211a、212a，导出侧连接口p4设置在各导体管部件211、212的轴向内侧端部211b、212b。通过沿轴向连续地配置这两个导体管部件211、212，成为导体管21的导入侧连接口p3设置在导体管21的轴向两端部，导体管21的导出侧连接口p4设置在导体管21的轴向中央部。
[0075]
各导体管部件211、212的彼此邻接的卷绕部分例如通过焊接而电连接，并且两个导体管部件211、212的彼此邻接的相对部分电连接，作为导体管整体构成短路电路。由此，导体管21成为一匝的次级线圈。另外，本实施方式的各导体管部件211、212彼此为相同的卷绕数，但是不限于此。
[0076]
在此，在两个导体管部件211、212的相对部分中除了导出侧连接口p4以外的部分遍及周向整体由具有导电性的第一接合部件(未图示)接合。该第一接合部件可以通过焊接形成。
[0077]
在本实施方式中，如图4所示，将各导体管部件211、212的轴向内侧端部211b、212b以管直径的2倍的曲率半径弯曲来形成各导体管部件211、212的导出侧连接口p4。在此，通过将各导体管部件211、212的卷绕部分向径向外侧弯折来形成导出侧连接口p4。
[0078]
一方的导体管部件211的轴向内侧端部211b与另一方的导体管部件212的轴向内侧端部212b是在周向上彼此靠近的构成，2个导体管部件211、212的导出侧连接口p4彼此接触或靠近设置。这2个导出侧连接口p4通过具有导电性的第二接合部件213彼此电接合。在本实施方式中，以填埋形成在2个导出侧连接口p4之间的空间的方式由第二接合部件213接合。第二接合部件213是与导体管21相同的材质或大致同等的物性。
[0079]
如图1以及图2所示，相对于这样构成的导体管21，磁通产生机构22的感应线圈221设置在导体管21的内侧以及外侧。设置在导体管21的外侧(导出侧连接口p4的引出侧)的感应线圈221x沿着轴向被分割而分别设置在导出侧连接口p4的上侧以及下侧。另外，设置在导体管21的内侧(与导出侧连接口p4的引出侧相反的一侧)的感应线圈221y沿着轴向没有被分割而是成为一体结构。
[0080]
此外，如图5所示，磁通产生机构22具有设置在内侧的感应线圈221y的内侧的铁芯222。而且，该铁芯222与其它2个铁芯222一起通过连接铁芯223、224连接而形成封闭磁路。即，由3个铁芯222构成3柱铁芯。使用该3柱铁芯连接的3个过热水蒸气生成部2成为1组。在本实施方式中，由于3个过热水蒸气生成部2配置成同一直线状，所以3个铁芯222成为排成一列的3柱铁芯。另外，通过连接铁芯223、224连接的铁芯222的个数不限于3个，可以是2个，也可以是4个以上。
[0081]
接着，参照图6对向上述多个过热水蒸气生成部2分配水蒸气的分配管3进行说明。另外，为了便于说明，在图6中省略了一部分的构成。
[0082]
分配管3在一端部具有导入口p1，将从该导入口p1导入的水蒸气向多个过热水蒸气生成部2分配。
[0083]
该分配管3具有：主管31，具有导入口p1；以及分支管32，从该主管31分支。分支管32根据多个过热水蒸气生成部2的数量设置，具有与过热水蒸气生成部2的导入侧连接口p3连接的连接口p5。
[0084]
在本实施方式中，分配管3的主管31以通过对称地配置成左右2列的过热水蒸气生成部2之间的方式配置，分支管32从主管31向各过热水蒸气生成部2的导入侧连接口p3延伸。在此，各过热水蒸气生成部2的导入侧连接口p3朝向左右外侧，分支管32从主管31向左右两侧分支，相对于过热水蒸气生成部2从左右外侧连接于导入侧连接口p3。在此优选的是，通过调整分配管3的分支管32的管径以及长度，使导入各个过热水蒸气生成部的水蒸气流量成为相同。
[0085]
另外，通过分配管加热部30将分配管3加热到100℃以上。分配管加热部30可以是使用外部的热源(例如加热器)的构成，也可以是将分配管3作为导体管并对该分配管3进行感应加热或通电加热的构成。通过该分配管加热部30，能够防止水蒸气在供给到多个过热水蒸气生成部2之前液化。
[0086]
接着，参照图7对将来自上述多个过热水蒸气生成部2的过热水蒸气汇合的汇合管4进行说明。另外，为了便于说明，在图7中省略了一部分的构成。
[0087]
汇合管4在一端部具有导出口p2，将来自多个过热水蒸气生成部2的过热水蒸气汇合并从导出口p2导出。
[0088]
该汇合管4具有：主管41，具有导出口p2；以及分支管42，与该主管41连接。分支管42根据多个过热水蒸气生成部2的数量设置，具有与过热水蒸气生成部2的导出侧连接口p4连接的连接口p6。
[0089]
在本实施方式中，汇合管4的主管41以通过对称地配置成左右2列的过热水蒸气生成部2之间的方式配置，分支管42从主管41向各过热水蒸气生成部2的导出侧连接口p4延伸。在此，左右2列的过热水蒸气生成部2的导出侧连接口p4(过热水蒸气导出口)以彼此相对的方式配置在左右内侧，汇合管4的主管41配置在这些导出侧连接口p4之间。而且，各分
支管42从主管41直线状延伸并与各导出侧连接口p4连接。
[0090]
另外，通过汇合管加热部40将汇合管4加热到过热水蒸气的设定温度。汇合管加热部40可以是使用外部的热源(例如加热器)的构成，也可以是将汇合管4作为导体管并对该汇合管4进行感应加热或通电加热的构成。通过该汇合管加热部40能够防止过热水蒸气液化，并且能够从导出口p2导出所希望的温度的过热水蒸气。
[0091]
＜2.出水防止机构＞
[0092]
但是，如图1所示，本实施方式的过热水蒸气生成装置100具备出水防止机构5，所述出水防止机构5防止从导出口p2导出水蒸气液化后的水。
[0093]
该出水防止机构5具有：温度传感器51，设置在导体管21上，检测该导体管21的温度；以及控制装置52，控制感应加热，以使该温度传感器51的检测温度成为100℃以上的设定温度。
[0094]
温度传感器51在导体管21上设置在导出侧连接口p4侧。在此，温度传感器51设置在多个过热水蒸气生成部2中的代表性的一个过热水蒸气生成部2的导体管21上。另外，在将温度传感器51设置在导出侧连接口p4侧的情况下，除了可以设置在设有导出侧连接口p4的导体管21的伸出部分(从螺旋部分伸出的部分)以外，也可以设置在与导出侧连接口p4邻接的导体管21的螺旋部分(卷绕的部分)，还可以设置在与导出侧连接口p4连接的汇合管4的分支管42上。
[0095]
控制装置52具备cpu、存储器、a/d转换器以及d/a转换器等，基于温度传感器51的检测温度，控制多个过热水蒸气生成部2的感应加热，以在将水蒸气导入导入口p1之前使温度传感器51的检测温度成为100℃以上的设定温度。另外，以使导体管21的整体可靠地成为100℃以上的方式设定100℃以上的设定温度，例如将100℃以上的设定温度设定为150℃。
[0096]
在此，出水防止机构5还具备开关电磁阀53，所述开关电磁阀53设置在分配管3的导入口p1侧。在此，开关电磁阀设置在分配管3的主管31上。另外，在将开关电磁阀53设置在导入口p1侧的情况下，除了可以设置在设有导入口p1的分配管3的主管31上，也可以设置在与导入口p1连接的连接管(未图示)上。
[0097]
而且，如图8所示，例如在从停止状态到运转开始后温度传感器51的检测温度变成100℃以上的设定温度的情况下，控制装置52使开关电磁阀53自动地打开，将水蒸气导入导入口p1。本实施方式的开关电磁阀53是电动比例阀，控制装置52以使电动比例阀53的阀开度逐渐变大的方式使电动比例阀53打开。
[0098]
可以基于导入的水蒸气的温度与温度传感器51的检测温度的差异等，调整电动比例阀53的开关时间(从关闭的状态到成为打开的状态为止的时间)。例如，如果水蒸气的温度与检测温度的差异小，则热冲击的影响小，因此可以考虑缩短开关时间，如果它们的差异大，则热冲击的影响也大，因此可以考虑延长开关时间。
[0099]
另外，如图1所示，在本实施方式中，在导出口p2侧设置有导出侧收集机构6，所述导出侧收集机构6收集水蒸气液化后的水。导出侧收集机构6具有：储存部61，储存液化后的水；以及排出部62，排出储存在该储存部61中的水。另外，在将导出侧收集机构6设置在导出口p2侧的情况下，除了可以设置在设有导出口p2的汇合管4上，也可以设置在与导出口p2连接的连接管上。在此，导出侧收集机构6优选的是设置在尽可能靠近过热水蒸气生成装置100的过热水蒸气导出口的位置。
[0100]
另外，在导入口p1侧设置有导入侧收集机构7，所述导入侧收集机构7收集水蒸气液化后的水。导入侧收集机构7具有：储存部71，储存液化后的水；以及排出部72，排出储存在该储存部71中的水。另外，在将导入侧收集机构7设置在导入口p1侧的情况下，除了可以设置在设有导入口p1的分配管3上，也可以设置在与导入口p1连接的连接管上。在此，导入侧收集机构7优选的是设置在尽可能靠近过热水蒸气生成部2的导入侧连接口p3的位置。
[0101]
＜3.本实施方式的效果＞
[0102]
按照这样构成的本实施方式的过热水蒸气生成装置100，向多个或多组的过热水蒸气生成部2分配水蒸气，将由多个或多组的过热水蒸气生成部2生成的过热水蒸气汇合并导出，因此无需将一个过热水蒸气生成部2大型化就能够使过热水蒸气的生成大容量化。
[0103]
另外，构成为在利用出水防止机构5将导出口p2侧的温度加热到100℃以上后将水蒸气导入导入口p1，因此能够防止从导出口p2导出水蒸气液化后的水。其结果，能够抑制液化后的水对使用过热水蒸气进行热处理的被处理物产生不好的影响。
[0104]
在温度传感器51的检测温度变成100℃以上的设定温度的情况下，控制装置52使开关电磁阀53打开，向导入口p1导入水蒸气，因此能够使出水防止功能自动地起作用。另外，在是与饱和水蒸气生成装置分开的装置构成的情况下，能够在过热水蒸气生成装置的导入口侧进行控制，以使在过热水蒸气生成装置变成100℃以上之前不导入水蒸气。
[0105]
由于在导出口p2侧设置有导出侧收集机构6，所以能够进一步防止从过热水蒸气生成装置100导出液化后的水。另外，由于在导入口p1侧设置有导入侧收集机构7，所以能够防止向过热水蒸气生成装置100导入水蒸气液化后的水，能够进一步防止从过热水蒸气生成装置100导出液化后的水。
[0106]
＜4.其它的本实施方式的效果＞
[0107]
另外，本发明不限于所述实施方式。
[0108]
例如，在所述实施方式中，是通过感应加热方式使导体管产生焦耳热的构成，但是也可以是通过直接通电加热方式使导体管产生焦耳热的构成。另外，也可以不使导体管产生焦耳热，而是通过利用外部的热源(例如加热器)对管进行加热而对流过该管的水蒸气进行加热的构成。
[0109]
另外，所述实施方式的温度传感器51设置在导出口p2侧，但是只要是能够检测导体管2的温度的位置，则可以设置在任何位置。
[0110]
此外，温度传感器51除了设置在代表性的一个过热水蒸气生成部2的导体管21上的构成以外，也可以分别设置在多个过热水蒸气生成部2的导体管21上。在该情况下可以考虑，在多个温度传感器51的检测温度全部变成100℃以上的设定温度的情况下，控制装置52使电磁开关阀53打开。
[0111]
另外，也可以是在过热水蒸气生成部2的各个导出侧个别地设置温度传感器，基于各个个别的温度传感器的检测温度进行控制，以使从各个过热水蒸气生成部2输出的过热水蒸气的温度变成相同。
[0112]
从过热水蒸气生成装置100导出的过热水蒸气温度基于导出口p2侧的温度传感器的检测温度进行电力控制，并以基于设置在各个过热水蒸气生成部2的个别的温度传感器的检测温度使从各个过热水蒸气生成部2输出的过热水蒸气温度成为相同的方式控制平衡。
[0113]
此外，如图9所示，也可以构成为：在分配管3的各个分支管32上设置开关阀32v，能够变更被分配水蒸气的过热水蒸气生成部2。例如可以考虑，针对需要维保等的过热水蒸气生成部2关闭与该过热水蒸气生成部2对应的开关阀32v，不分配水蒸气。另外，也可以考虑，通过手动或自动选择根据要求的过热水蒸气的容量打开的开关阀32v，变更运转的过热水蒸气生成部2的数量。此外，也可以考虑通过利用手动或自动调整开关阀32v的开度，变更对各个过热水蒸气生成部2的水蒸气分配量比。
[0114]
另外，如图10所示，也可以具有吸收过热水蒸气生成部2、分配管3以及汇合管4的彼此的热膨胀的差异的热膨胀吸收结构8。作为该热膨胀吸收结构8，例如可以考虑如下的构成：在分配管3与过热水蒸气生成部2之间以及在过热水蒸气生成部2与汇合管4之间例如设置蛇腹管等具有柔性的管。另外，可以在分配管3上设置热膨胀吸收结构8，也可以在过热水蒸气生成部2设置热膨胀吸收结构8，还可以在汇合管4上设置热膨胀吸收结构8。
[0115]
此外，所述实施方式的电磁开关阀设置在过热水蒸气生成装置，但也可以设置在向过热水蒸气生成装置供给水蒸气的水蒸气生成装置的导出侧。
[0116]
此外，导体管的构成不限于所述实施方式，也可以是将1根导体管螺旋状地卷绕的构成。
[0117]
另外，过热水蒸气生成装置除了所述实施方式的构成以外，也可以还具有水蒸气生成部，所述水蒸气生成部对水进行加热而生成水蒸气。
[0118]
另外，本发明不限于所述实施方式，在不脱离其主旨的范围内当然可以进行各种各样的变形。