1.本发明涉及晶圆烘干技术领域，具体为一种新型晶圆表面烘干装置。
背景技术：
2.晶圆，是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其生产后的外观形状为圆形，故又被称为晶圆，晶圆的制造原料为硅，与硅片的区别在于晶圆的表面含有集成电路，而硅片的表面没有集成电路，晶圆在生产结束后，需要进行烘干处理以去除表面的刻蚀液体，以此保护晶圆的正常使用。
3.现有的晶圆烘干装置存在的缺陷是：1、对比文件cn205843288u公开了一种晶圆烘干机，“包括机架和设于机架上的烘干室，所述烘干室的上方设有热风送风装置，用于向烘干室内输送热风，所述机架上还设有动力传送带，所述动力传送带贯穿烘干室，用于传送承载晶圆的花篮穿过烘干室，还包括冷风送风装置，固定在所述烘干室的出口上部外侧，其送风口冲向所述烘干室出口外侧的动力传送带，所述冷风送风装置的送风口外侧设有导流罩，固定于所述冷风送风装置上，所述导流罩上设有气体导流孔。本实用新型能够使烘干出料后的硅片及花篮温度降低，不会烫伤操作人员，方便操作人员取片，提高效率”，但是该晶圆烘干装置在进行烘干操作时，进考虑到晶圆表面的降温，却忽视了不良品与合格品之间的筛分处理，导致烘干后收集的晶圆质量参差不齐，且无法根据晶圆表面实际温度来反向调节降温工具的工作功率大小，导致降温效果固定，无法实现有效降温；2、对比文件cn212205524u公开了一种晶圆烘干机，“包括底座一，所述底座一的一侧设置有底座二，所述底座一的顶部中间位置与所述底座二的顶部中间位置分别均开设有凹槽，两个所述凹槽之间通过传输带连接，所述传输带的上方且位于所述底座一的顶端设置有烘干室，所述传输带的上方且位于所述底座二的顶端设置有壳体；其中，所述壳体的顶端均匀设置有若干冷风送风装置，所述壳体内侧且位于所述底座二的顶端均匀设置有若干温度传感器，所述温度传感器的上方且位于所述壳体的内壁上均匀设置有若干活动装置。有益效果：一方面扩大了的冷风的吹拂面积；同时，在壳体内进行降温处理，降低了冷风与室外温度的温度交换，进而提高晶圆的降温效率”，该晶圆烘干装置在进行晶圆烘干操作时，无法实现双面均匀烘干处理，导致晶圆底部与传输带接触的部位难以接收到烘干操作，使得装置的烘干效率较低；3、对比文件cn212370521u公开了快速均匀的晶圆烘干装置，“包括固定烘干外箱，所述固定烘干外箱的内部设有移动烘干架，所述移动烘干架的一侧竖直内壁上固定安装有第一晶圆托板，所述移动烘干架的另一侧竖直内壁上固定安装有第二晶圆托板，所述移动烘干架靠近第一晶圆托板的一侧壁底部位置开设有第一进风口，所述移动烘干架靠近第二晶圆托板一侧壁顶部位置开设有第一出风口，所述固定烘干外箱的一侧外壁底部位置固定安装有热风机，所述固定烘干外箱的内表面开设有烘干腔，所述第一晶圆托板与第二晶圆托板结构一致。本实用新型可以实现多组晶圆的快速均匀烘干处理，烘干效果好，不占用大
量地面空间，烘干效率高，省时省力，提高工作效率”，该烘干装置在进行晶圆烘干处理时，无法有效统计晶圆的实际良品率，大致晶圆烘干后质量好坏数据难以统计获取；4、对比文件cn209820039u公开了一种晶圆烘干槽，“包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。本实用新型一种晶圆烘干槽，结构简便，减少加热时间，可以有效的提高运行效率”，该烘干装置在烘干时未能实现胀包不良品的识别和标记，导致后续需要进行二次检测，增加不必要的检测工作。
技术实现要素：
4.本发明的目的在于提供一种新型晶圆表面烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架，所述烘干框架正面和背面均安装有横档，两组所述横档相互远离的表面安装有检测框和标记框架，且标记框架位于检测框的一侧，前方所述横档的顶部安装有输送风机，且输送风机位于标记框架的一侧；所述输送风机的背面安装有连接框架，所述输送风机的顶部安装有红外温度计，所述连接框架的底壁安装有中空的金属管，所述金属管的内部安装有三组等距布置的导气管，所述导气管的表面安装有电子阀，所述电子阀与红外温度计电性连接，所述导气管的顶部嵌合连接有液氮管，且液氮管的顶部与连接框架的顶壁贴合；所述标记框架的顶部安装有等距布置的计数器。
6.优选的，所述烘干框架的内壁安装有二号红外加热板，所述烘干框架的顶壁四角均安装有电动伸缩筒，所述电动伸缩筒的底部连接有一号红外加热板，所述烘干框架的正面安装有温度控制器，所述温度控制器的表面安装有控制按钮和温度检测器，且温度检测器位于控制按钮的上方，所述温度检测器与一号红外加热板、二号红外加热板电性连接。
7.优选的，所述烘干框架的正面安装有一号显示屏，所述一号显示屏的安装数量与计数器的安装数量相等，所述烘干框架的正面安装有二号显示屏，且二号显示屏位于一号显示屏的下方，且二号显示屏与一号显示屏电性连接，所述一号显示屏与计数器一一电性连接，所述二号显示屏位于温度控制器的侧上方。
8.优选的，所述标记框架的底部安装有等距布置的电动伸缩杆，且电动伸缩杆的安装数量和安装位置与计数器一一对应，所述电动伸缩杆的底部安装有延伸杆，所述延伸杆的底部设有出口，所述出口的内壁安装有刷条，且刷条的长度小于出口的直径。
9.优选的，所述延伸杆的顶壁安装有电推杆，所述电推杆的尾端连接有标记板，且标记板为上下堆叠布置，所述标记板包括有隔离膜、铁块和胶接块，所述隔离膜的底部连接有铁块，所述铁块的底部连接有胶接块，所述胶接块的底部与另一组标记板中隔离膜的顶部连接，所述胶接块底部的圆心位置设有胶接区，且胶接区的边缘与刷条的尾端重合。
10.优选的，所述横档的尾端底部嵌合连接有支杆，所述支杆的尾端连接有废料收集框，所述废料收集框的背面一侧连接有常料收集框，所述常料收集框的背面安装有挡板，所述挡板的内部设有贯穿的透气孔。
11.优选的，所述检测框的底部设有等距布置的超声波测距仪，且超声波测距仪的安装位置和安装数量与电动伸缩杆一一对应，所述超声波测距仪与电动伸缩杆、电推杆一一电性连接。
12.优选的，所述横档相互靠近的表面通过轴承安装有传送转辊，所述传送转辊的表面安装有传送网带，所述横档的正面连接有驱动电机，且驱动电机位于烘干框架远离输送风机的一侧，所述驱动电机的输出端与其中一组传送转辊的一端连接。
13.优选的，所述二号红外加热板位于传送网带的中间。
14.优选的，该烘干装置的操作步骤如下：s1、在使用该烘干装置为晶圆提供表面烘干处理前，可先确定晶圆的实际厚度，之后启动电动伸缩筒，使得一号红外加热板与传送网带之间的距离与二号红外加热板与传送网带之间的距离相等，在此前提下，启动驱动电机，可确保传送网带表面输送的晶圆可经过烘干框架时，可受到上下相等的加热烘干处理，继而确保晶圆表面受到均匀的烘干处理；s2、之后在传送网带传送作用下，晶圆位移至检测框的下方，此时超声波测距仪可对晶圆表面有无发生胀包现象进行相应的检测，若发生胀包，此时晶圆表面隆起，超声波测距仪检测到的晶圆表面距离与超声波测距仪底部表面之间的距离小于正常状态下的晶圆测距距离，此时超声波测距仪向与之对应电性连接的电动伸缩杆发送信号，以便及时标记，区分晶圆胀包废料与正常料品；s3、电动伸缩杆启动后，带动延伸杆向下延展，此时电推杆同步下移，可带动与之连接的标记板向下移动，随即最下方的一组标记板穿过刷条通过出口露出延伸杆的内部，掉落的标记板中的胶接区对准晶圆的表面进而粘附在晶圆的表面，以此实现标记效果；s4、晶圆继续运动，位移至输送风机位置处，此时红外温度计可检测晶圆上方空气的温度，进而为启动电子阀的启动提供依据，与此同时，输送风机吹出的风力对传送网带表面的晶圆产生推送筛选效果，在发生胀包被标记板标记的晶圆表面，通过胶接区粘附的铁块可增加晶圆的重量，继而风力恒定的情况下，质量正常的晶圆在风力作用下吹送偏离传送网带的表面，进而掉落在常料收集框的内部，而胀包的晶圆则在铁块的配重作用下通过传送网带正常输送至废料收集框中，实现物料的分类收集；s5、在风力推送常料转移至常料收集框的过程中，挡板和透气孔的设置，可使得输送风机吹出风力对输送的晶圆予以拦截，避免正常晶圆的跌落；s6、在标记过程中，电推杆每启动一次，对应位置连接的计数器会进行一次计数操作，在延伸杆内部标记板安装数量恒定的情况下，单次计数后的结果通过一号显示屏显示，通过检查一号显示屏表面计数数量的大小，可对传送网带表面输送的不同列次的晶圆质量予以检测，并通过二号显示屏将一号显示屏中的各组计数结果合计，判断烘干处理的晶圆中发生胀包的晶圆数量，进而得到晶圆的胀包率数据，实现相应的烘干检测效果。
15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：1、本发明通过安装有输送风机、连接框架、金属管、导气管、电子阀、液氮管和红外温度计，启动输送风机，其吹出的风力保持恒定，可对传送网带表面被标记和未被标记的晶圆根据标记后的重量实现筛选区分效果，其次，通过红外温度计检测晶圆上方空气的温度，进而根据空气温度值来判定开启电子阀数目多少的依据，开启电子阀后液氮管内部的液氮转移至导气管内部，与输送风机吹出风力相配合，实现调节式降温处理。
16.2、本发明通过安装有烘干框架、电动伸缩筒、一号红外加热板、二号红外加热板和温度控制器，启动电动伸缩筒，使得一号红外加热板与二号红外加热板与晶圆之间的距离相等，继而确保晶圆表面受到均匀的烘干处理，与此同时，可根据烘干需求，通过温度来控制器实现相应的温度控制目的。
17.3、本发明通过安装有计数器、一号显示屏和二号显示屏，在标记过程中，电推杆每启动一次，对应位置连接的计数器会进行一次计数操作，计数结果通过一号显示屏显示，可对传送网带表面输送的不同列次的晶圆质量予以检测，并通过二号显示屏将一号显示屏中的各组计数结果合计，判断烘干处理的晶圆中发生胀包的晶圆数量，进而得到晶圆的胀包率数据。
18.4、本发明通过安装有电推杆、标记板、铁块、胶接块和胶接区，电推杆启动后，将最下方的一组标记板挤压，使其穿过刷条通过出口露出延伸杆的内部，当标记板中胶接块底部表面的胶接区粘附在晶圆表面后，铁块同步连接在晶圆表面，以此实现增重标记，以便后续筛选区分。
附图说明
19.图1为本发明的整体结构示意图；图2为本发明的输送风机和连接框架以及红外温度计安装结构示意图；图3为本发明的金属管、导气管、电子阀和液氮管安装结构示意图；图4为本发明的检测框和超声波测距仪安装结构示意图；图5为本发明的烘干框架、一号红外加热板、二号红外加热板和电动伸缩筒安装结构示意图；图6为本发明的标记框架安装结构示意图；图7为本发明的延伸杆和电推杆、标记板安装结构示意图；图8为本发明的标记板组装结构示意图。
20.图中：1、驱动电机；101、传送网带；102、横档；103、传送转辊；2、输送风机；201、连接框架；202、金属管；203、导气管；204、电子阀；205、液氮管；206、红外温度计；3、检测框；301、超声波测距仪；4、烘干框架；401、电动伸缩筒；402、一号红外加热板；403、二号红外加热板；404、温度控制器；5、标记框架；501、延伸杆；502、刷条；503、出口；504、电动伸缩杆；6、电推杆；601、标记板；602、隔离膜；603、铁块；604、胶接块；605、胶接区；7、废料收集框；701、常料收集框；702、挡板；703、透气孔；8、计数器；801、一号显示屏；802、二号显示屏。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的
方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
24.实施例一请参阅图1-图3，本发明提供的一种实施例：一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架4和输送风机2，烘干框架4正面和背面均安装有横档102，前方横档102的顶部安装有输送风机2，且输送风机2位于标记框架5的一侧；输送风机2的背面安装有连接框架201，输送风机2的顶部安装有红外温度计206，连接框架201的底壁安装有中空的金属管202，金属管202的内部安装有三组等距布置的导气管203，导气管203的表面安装有电子阀204，电子阀204与红外温度计206电性连接，导气管203的顶部嵌合连接有液氮管205，且液氮管205的顶部与连接框架201的顶壁贴合；具体的，启动输送风机2，其吹出的风力保持恒定，可对传送网带101表面被标记和未被标记的晶圆根据标记后的重量实现筛选区分效果，进而辅助装置实现烘干后胀包晶圆的区分工作；其次，在晶圆经过烘干处理后，晶圆表面残留有热量，会对上方的空气实现加热效果，因此当晶圆转移至输送风机2位置时，可通过红外温度计206检测晶圆上方空气的温度，进而根据空气温度值来判定开启电子阀204数目多少的依据；在温度较高时，可同时开启三组电子阀204，使得液氮管205内部的液氮转移至导气管203内部，液氮在导气管203内部汽化吸热，进而使得金属管202内部温度降低，输送风机2吹出的风力通过连接框架201内部冷却后金属管202之间的空隙吹出，实现吹送筛选的同时也可对晶圆表面进行降温处理，避免后续堆积收集时热量积聚破坏晶圆质量。
25.实施例二请参阅图5，本发明提供的一种实施例：一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架4，烘干框架4的内壁安装有二号红外加热板403，烘干框架4的顶壁四角均安装有电动伸缩筒401，电动伸缩筒401的底部连接有一号红外加热板402，烘干框架4的正面安装有温度控制器404，温度控制器404的表面安装有控制按钮和温度检测器，且温度检测器位于控制按钮的上方，温度检测器与一号红外加热板402、二号红外加热板403电性连接，二号红外加热板403位于传送网带101的中间。
26.具体的，启动电动伸缩筒401，使得一号红外加热板402与传送网带101之间的距离与二号红外加热板403与传送网带101之间的距离相等，在此前提下，启动驱动电机1，可确保传送网带101表面输送的晶圆可经过烘干框架4时，可受到上下相等的加热烘干处理，继而确保晶圆表面受到均匀的烘干处理；与此同时，可根据烘干需求，通过温度检测器检测烘干框架4内部空腔中的温度，进而为通过控制按钮调整一号红外加热板402和二号红外加热板403的实际加热功率调整判断依据，实现相应的温度控制目的。
27.实施例三请参阅图1，本发明提供的一种实施例：一种新型晶圆表面烘干装置，包括计数器8，标记框架5的顶部安装有等距布置的计数器8，烘干框架4的正面安装有一号显示屏801，一号显示屏801的安装数量与计数器8的安装数量相等，烘干框架4的正面安装有二号显示屏802，且二号显示屏802位于一号显示屏801的下方，且二号显示屏802与一号显示屏801电性连接，一号显示屏801与计数器8一一电性连接，二号显示屏802位于温度控制器404的侧上方。
28.具体的，由于传送网带101表面晶圆放置为列次排布，每列次排放的晶圆其生产批次可能存在差异，故而可在后续操作中通过一号显示屏801了解传送网带101表面不同列次件晶圆的胀包数据；在标记过程中，电推杆6每启动一次，对应位置连接的计数器8会进行一次计数操作，在延伸杆501内部标记板601安装数量恒定的情况下，单次计数后的结果通过一号显示屏801显示，通过检查一号显示屏801表面计数数量的大小，可对传送网带101表面输送的不同列次的晶圆质量予以检测，并通过二号显示屏802将一号显示屏801中的各组计数结果合计，判断烘干处理的晶圆中发生胀包的晶圆数量，进而得到晶圆的胀包率数据，实现相应的烘干检测效果。
29.实施例四请参阅图4、图6、图7和图8，本发明提供的一种实施例：一种新型晶圆表面烘干装置，包括检测框3、标记框架5和电推杆6，两组横档102相互远离的表面安装有检测框3和标记框架5，且标记框架5位于检测框3的一侧，标记框架5的底部安装有等距布置的电动伸缩杆504，且电动伸缩杆504的安装数量和安装位置与计数器8一一对应，电动伸缩杆504的底部安装有延伸杆501，延伸杆501的底部设有出口503，出口503的内壁安装有刷条502，且刷条502的长度小于出口503的直径。
30.延伸杆501的顶壁安装有电推杆6，电推杆6的尾端连接有标记板601，且标记板601为上下堆叠布置，标记板601包括有隔离膜602、铁块603和胶接块604，隔离膜602的底部连接有铁块603，铁块603的底部连接有胶接块604，胶接块604的底部与另一组标记板601中隔离膜602的顶部连接，胶接块604底部的圆心位置设有胶接区605，且胶接区605的边缘与刷条502的尾端重合。
31.检测框3的底部设有等距布置的超声波测距仪301，且超声波测距仪301的安装位置和安装数量与电动伸缩杆504一一对应，超声波测距仪301与电动伸缩杆504、电推杆6一一电性连接。
32.具体的，当晶圆位移至检测框3的下方，超声波测距仪301可检测江源表面是否发生胀包现象，当传送网带101表面某一列次的晶圆发生胀包现象时，超声波测距仪301可向电动伸缩杆504和电推杆6发送启动信号，此时电动伸缩杆504和电推杆6同步向下延伸；由于检测框3与标记框架5之间存在横向距离差，而电动伸缩杆504盒电推杆6下移推送过程存在有纵向距离差，因此根据驱动电机1的输出转速可调整超声波测距仪301发送启动信号的时间值，以此使得超声波测距仪301检测出胀包的晶圆运动至电动伸缩杆504下方时，电动伸缩杆504正好带动延伸杆501贴合晶圆的表面，以实现标记操作的精准性；电推杆6启动后，将最下方的一组标记板601挤压，使其穿过刷条502通过出口503
露出延伸杆501的内部，剩余的标记板601由于电推杆6推动作用不足被刷条502拦截，继续留在延伸杆501的内部；当标记板601中胶接块604底部表面的胶接区605粘附在晶圆表面后，铁块603同步连接在晶圆表面，以此实现增重标记，以便后续筛选区分；隔离膜602的使用，可避免上方标记板601中胶接区605与下方标记板601粘接，以便实现更好的出料效果。
33.横档102的尾端底部嵌合连接有支杆，支杆的尾端连接有废料收集框7，废料收集框7的背面一侧连接有常料收集框701，常料收集框701的背面安装有挡板702，挡板702的内部设有贯穿的透气孔703。
34.横档102相互靠近的表面通过轴承安装有传送转辊103，传送转辊103的表面安装有传送网带101，横档102的正面连接有驱动电机1，且驱动电机1位于烘干框架4远离输送风机2的一侧，驱动电机1的输出端与其中一组传送转辊103的一端连接。
35.具体的，在风力恒定的情况下，质量正常的晶圆在风力作用下吹送偏离传送网带101的表面，进而掉落在常料收集框701的内部，而胀包的晶圆则在铁块603的配重作用下通过传送网带101正常输送至废料收集框7中，实现物料的分类收集；在风力推送常料转移至常料收集框701的过程中，挡板702和透气孔703的设置，可使得输送风机2吹出风力对输送的晶圆予以拦截，避免正常晶圆的跌落。
36.启动驱动电机1，即可带动与之连接的传送转辊103转动，继而带动传送网带101转动，为本烘干装置顺利进行晶圆传送提供动力输送。
37.该烘干装置的操作步骤如下：s1、在使用该烘干装置为晶圆提供表面烘干处理前，可先确定晶圆的实际厚度，之后启动电动伸缩筒401，使得一号红外加热板402与传送网带101之间的距离与二号红外加热板403与传送网带101之间的距离相等，在此前提下，启动驱动电机1，可确保传送网带101表面输送的晶圆可经过烘干框架4时，可受到上下相等的加热烘干处理，继而确保晶圆表面受到均匀的烘干处理；s2、之后在传送网带101传送作用下，晶圆位移至检测框3的下方，此时超声波测距仪301可对晶圆表面有无发生胀包现象进行相应的检测，若发生胀包，此时晶圆表面隆起，超声波测距仪301检测到的晶圆表面距离与超声波测距仪301底部表面之间的距离小于正常状态下的晶圆测距距离，此时超声波测距仪301向与之对应电性连接的电动伸缩杆504发送信号，以便及时标记，区分晶圆胀包废料与正常料品；s3、电动伸缩杆504启动后，带动延伸杆501向下延展，此时电推杆6同步下移，可带动与之连接的标记板601向下移动，随即最下方的一组标记板601穿过刷条502通过出口503露出延伸杆501的内部，掉落的标记板601中的胶接区605对准晶圆的表面进而粘附在晶圆的表面，以此实现标记效果；s4、晶圆继续运动，位移至输送风机2位置处，此时红外温度计206可检测晶圆上方空气的温度，进而为启动电子阀204的启动提供依据，与此同时，输送风机2吹出的风力对传送网带101表面的晶圆产生推送筛选效果，在发生胀包被标记板601标记的晶圆表面，通过胶接区605粘附的铁块603可增加晶圆的重量，继而风力恒定的情况下，质量正常的晶圆在风力作用下吹送偏离传送网带101的表面，进而掉落在常料收集框701的内部，而胀包的晶
圆则在铁块603的配重作用下通过传送网带101正常输送至废料收集框7中，实现物料的分类收集；s5、在风力推送常料转移至常料收集框701的过程中，挡板702和透气孔703的设置，可使得输送风机2吹出风力对输送的晶圆予以拦截，避免正常晶圆的跌落；s6、在标记过程中，电推杆6每启动一次，对应位置连接的计数器8会进行一次计数操作，在延伸杆501内部标记板601安装数量恒定的情况下，单次计数后的结果通过一号显示屏801显示，通过检查一号显示屏801表面计数数量的大小，可对传送网带101表面输送的不同列次的晶圆质量予以检测，并通过二号显示屏802将一号显示屏801中的各组计数结果合计，判断烘干处理的晶圆中发生胀包的晶圆数量，进而得到晶圆的胀包率数据，实现相应的烘干检测效果。
38.工作原理：在使用该烘干装置为晶圆提供表面烘干处理前，可先确定晶圆的实际厚度，之后启动电动伸缩筒401，使得一号红外加热板402与传送网带101之间的距离与二号红外加热板403与传送网带101之间的距离相等，在此前提下，启动驱动电机1，可确保传送网带101表面输送的晶圆可经过烘干框架4时，可受到上下相等的加热烘干处理，继而确保晶圆表面受到均匀的烘干处理；之后在传送网带101传送作用下，晶圆位移至检测框3的下方，此时超声波测距仪301可对晶圆表面有无发生胀包现象进行相应的检测，若发生胀包，此时晶圆表面隆起，超声波测距仪301检测到的晶圆表面距离与超声波测距仪301底部表面之间的距离小于正常状态下的晶圆测距距离，此时超声波测距仪301向与之对应电性连接的电动伸缩杆504发送信号，以便及时标记，区分晶圆胀包废料与正常料品；电动伸缩杆504启动后，带动延伸杆501向下延展，此时电推杆6同步下移，可带动与之连接的标记板601向下移动，随即最下方的一组标记板601穿过刷条502通过出口503露出延伸杆501的内部，掉落的标记板601中的胶接区605对准晶圆的表面进而粘附在晶圆的表面，以此实现标记效果；晶圆继续运动，位移至输送风机2位置处，此时红外温度计206可检测晶圆上方空气的温度，进而为启动电子阀204的启动提供依据，与此同时，输送风机2吹出的风力对传送网带101表面的晶圆产生推送筛选效果，在发生胀包被标记板601标记的晶圆表面，通过胶接区605粘附的铁块603可增加晶圆的重量，继而风力恒定的情况下，质量正常的晶圆在风力作用下吹送偏离传送网带101的表面，进而掉落在常料收集框701的内部，而胀包的晶圆则在铁块603的配重作用下通过传送网带101正常输送至废料收集框7中，实现物料的分类收集；在标记过程中，电推杆6每启动一次，对应位置连接的计数器8会进行一次计数操作，在延伸杆501内部标记板601安装数量恒定的情况下，单次计数后的结果通过一号显示屏801显示，通过检查一号显示屏801表面计数数量的大小，可对传送网带101表面输送的不同列次的晶圆质量予以检测，并通过二号显示屏802将一号显示屏801中的各组计数结果合计，判断烘干处理的晶圆中发生胀包的晶圆数量，进而得到晶圆的胀包率数据，实现相应的烘干检测效果。对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论
从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。