光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。
驱动梁(7)具备压电部(12)。
在压电部(12)中,利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。
形成为:随着接近与锚定件(11)连接的一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短,且形成为:随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短。
绀野伸显 平田善明 伊藤恭彦
三菱电机株式会社
日本东京
光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。
驱动梁(7)具备压电部(12)。
在压电部(12)中,利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。
形成为:随着接近与锚定件(11)连接的一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短,且形成为:随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短。