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专利摘要

光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。
驱动梁(7)具备压电部(12)。
在压电部(12)中,利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。
形成为:随着接近与锚定件(11)连接的一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短,且形成为:随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短。

专利状态

基础信息

专利号
CN201780088680.9
申请日
2017-12-01
公开日
2021-07-20
公开号
CN110462485B
主分类号
/B/B81/ 作业;运输
标准类别
微观结构技术
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

绀野伸显 平田善明 伊藤恭彦

申请人

三菱电机株式会社

申请人地址

日本东京

专利摘要

光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。
驱动梁(7)具备压电部(12)。
在压电部(12)中,利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。
形成为:随着接近与锚定件(11)连接的一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短,且形成为:随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧,压电体(15)的X轴方向上的长度变短。

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