本发明公开了一种电容式压力传感器，适用于传感器领域，包括衬底和盖板，衬底包括顶层、底层和绝缘层，底层的下表面上开设有凹槽，盖板罩盖凹槽，以使凹槽形成真空空腔，以及，使凹槽的槽底形成压敏薄膜，顶层上开设有可动叉指电容和固定叉指电容，其相互交错等距离排列，可动叉指电容通过位于其正下方的绝缘层贴合压敏薄膜，固定叉指电容正下方的绝缘层悬空位于底层和固定叉指电容之间。
本发明实施例还公开了一种电容式压力传感器的制备方法、压力测量装置，当压敏薄膜受力发生形变时，可使可动叉指电容相对于固定叉指电容之间的正对面积的改变，进而电容值发生改变，具有良好的线性输出，同时，真空密封性好，可避免真空空腔内电极的引出。

赵湛 刘振宇 杜利东 方震

中国科学院电子学研究所

100190 北京市海淀区北四环西路19号

本发明公开了一种电容式压力传感器，适用于传感器领域，包括衬底和盖板，衬底包括顶层、底层和绝缘层，底层的下表面上开设有凹槽，盖板罩盖凹槽，以使凹槽形成真空空腔，以及，使凹槽的槽底形成压敏薄膜，顶层上开设有可动叉指电容和固定叉指电容，其相互交错等距离排列，可动叉指电容通过位于其正下方的绝缘层贴合压敏薄膜，固定叉指电容正下方的绝缘层悬空位于底层和固定叉指电容之间。
本发明实施例还公开了一种电容式压力传感器的制备方法、压力测量装置，当压敏薄膜受力发生形变时，可使可动叉指电容相对于固定叉指电容之间的正对面积的改变，进而电容值发生改变，具有良好的线性输出，同时，真空密封性好，可避免真空空腔内电极的引出。