一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统及方法，包括同时置于刻蚀机的刻蚀腔中的耦合梁式谐振器和温度补偿传感器，耦合梁式谐振器和温度补偿传感器的刻蚀信号数据采集分别通过一个闭环振荡电路完成，两个闭环振荡电路将刻蚀信号数据发送至上位机进行数据处理，并通过上位机进行图形化的显示，上位机与刻蚀机的刻蚀信号数据共享；耦合梁式谐振器包括连接杆，连接杆的两端分别和谐振梁中部内侧连接，谐振梁的上下两端均由锚点形成固支，每个谐振梁外侧连接有梳齿装置，梳齿装置外端由锚点形成固支；连接杆中部两侧悬挂有刻蚀方板，刻蚀方板用作刻蚀区域；本发明检测系统具有结构简单、成本低、检测精度高，能够精确控制硅、氧化硅等刻蚀深度等优点。

韦学勇 任子明 徐柳 王曙东

西安交通大学

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统及方法，包括同时置于刻蚀机的刻蚀腔中的耦合梁式谐振器和温度补偿传感器，耦合梁式谐振器和温度补偿传感器的刻蚀信号数据采集分别通过一个闭环振荡电路完成，两个闭环振荡电路将刻蚀信号数据发送至上位机进行数据处理，并通过上位机进行图形化的显示，上位机与刻蚀机的刻蚀信号数据共享；耦合梁式谐振器包括连接杆，连接杆的两端分别和谐振梁中部内侧连接，谐振梁的上下两端均由锚点形成固支，每个谐振梁外侧连接有梳齿装置，梳齿装置外端由锚点形成固支；连接杆中部两侧悬挂有刻蚀方板，刻蚀方板用作刻蚀区域；本发明检测系统具有结构简单、成本低、检测精度高，能够精确控制硅、氧化硅等刻蚀深度等优点。