本发明公开了一种空腔式压力传感器及其制备方法，该传感器包括银应变片、空腔结构和柔性薄膜。
其制备方法包括：用打孔机将薄膜打孔形成孔洞，在聚酰胺酸固化层上光刻感光干膜并利用银氨法生长图形化的银层作为金属应变片，最后用聚酰亚胺薄膜密封孔洞从而形成空腔结构。
本发明相比于传统工艺而言，不需要键合或者刻蚀来形成空腔，因而制备工艺简便、成本低及灵敏度高，并且具有柔性，能够实现更广泛领域的应用。

姚文静 张健 李佳 黄淳 石雅琳 康玲

华东师范大学

200241 上海市闵行区东川路500号

本发明公开了一种空腔式压力传感器及其制备方法，该传感器包括银应变片、空腔结构和柔性薄膜。
其制备方法包括：用打孔机将薄膜打孔形成孔洞，在聚酰胺酸固化层上光刻感光干膜并利用银氨法生长图形化的银层作为金属应变片，最后用聚酰亚胺薄膜密封孔洞从而形成空腔结构。
本发明相比于传统工艺而言，不需要键合或者刻蚀来形成空腔，因而制备工艺简便、成本低及灵敏度高，并且具有柔性，能够实现更广泛领域的应用。