本发明提出一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法，包括依次堆叠的帕尔贴制冷器及湿度敏感电容，将MEMS敏感电容与帕尔贴制冷器集成，从而通过帕尔贴制冷器控制敏感电容的温度，可以近似获得相对湿度为0和100%时的电容输出值。
进而对湿度传感器的输出进行校正。
整个校正过程简单，并且可以由外部电路控制自动完成，提高传感器的测量精度，降低校正成本。

李维平 李军伟 董旭光 兰之康

南京高华科技股份有限公司

210049 江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号

本发明提出一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法，包括依次堆叠的帕尔贴制冷器及湿度敏感电容，将MEMS敏感电容与帕尔贴制冷器集成，从而通过帕尔贴制冷器控制敏感电容的温度，可以近似获得相对湿度为0和100%时的电容输出值。
进而对湿度传感器的输出进行校正。
整个校正过程简单，并且可以由外部电路控制自动完成，提高传感器的测量精度，降低校正成本。