根据本发明的示例性方面，提供了一种装置。
该装置包括：微机电MEMS电容器，该MEMS电容器包括两个板和位于两个板之间的间隙；气体输送器，该气体输送器被配置成使气体流过该间隙；以及读出电路，该读出电路被配置为测量MEMS电容器的电容。

P·科普嫩 T·西岚帕 马克库·于利拉米

芬兰国家技术研究中心股份公司

芬兰埃斯波

根据本发明的示例性方面，提供了一种装置。
该装置包括：微机电MEMS电容器，该MEMS电容器包括两个板和位于两个板之间的间隙；气体输送器，该气体输送器被配置成使气体流过该间隙；以及读出电路，该读出电路被配置为测量MEMS电容器的电容。