本发明公开了微型轴承核心元件超精密柔性化学机械抛光装置及方法。
核心元件包括内套圈、保持架、滚动体、外套圈。
抛光装置包括元件自转模块、外套圈转向模块、元件夹持模块、抛光液池旋转模块、支架。
其中，元件夹持模块针对性提供内套圈夹具、保持架夹具、滚动体夹具、外套圈夹具。
抛光方法包括安装调试抛光装置、配制柔性化学机械抛光液、设置抛光工艺参数、测量表面质量并反馈。
柔性化学机械抛光液包括非牛顿流体、0.01‑40wt％的研磨颗粒、0‑10wt％的氧化剂、0‑10wt％的金属络合剂、0‑5wt％的金属缓蚀剂、以及余量的水，pH值2.0‑10.0。
本发明通过优化化学反应和力流变效应机械力的协同作用，能够实现核心元件表面超精密低损伤加工以及复杂曲面保形加工，且绿色环保。

江亮 吕冰海 仲夏 黄朝蓬 刘进伟 钱林茂

西南交通大学 浙江工业大学

610031 四川省成都市金牛区二环路北一段111号

本发明公开了微型轴承核心元件超精密柔性化学机械抛光装置及方法。
核心元件包括内套圈、保持架、滚动体、外套圈。
抛光装置包括元件自转模块、外套圈转向模块、元件夹持模块、抛光液池旋转模块、支架。
其中，元件夹持模块针对性提供内套圈夹具、保持架夹具、滚动体夹具、外套圈夹具。
抛光方法包括安装调试抛光装置、配制柔性化学机械抛光液、设置抛光工艺参数、测量表面质量并反馈。
柔性化学机械抛光液包括非牛顿流体、0.01‑40wt％的研磨颗粒、0‑10wt％的氧化剂、0‑10wt％的金属络合剂、0‑5wt％的金属缓蚀剂、以及余量的水，pH值2.0‑10.0。
本发明通过优化化学反应和力流变效应机械力的协同作用，能够实现核心元件表面超精密低损伤加工以及复杂曲面保形加工，且绿色环保。